Aisea e Fa'aaoga ai le Vacuum?
Puipuia le Fa'aleaga: I totonu o se masini gaogao, o le leai o se ea ma isi kasa e taofia ai mea fa'apipi'i mai le tali atu i kasa o le ea, e ono afaina ai le ata.
Faʻaleleia le Faʻapipiʻi: O le leai o se ea o lona uiga o le ata e pipii saʻo i le substrate e aunoa ma ni taga ea poʻo isi kasa vavalalata e mafai ona faʻavaivaia ai le fusi.
Ata Ata Ata: Tulaga gaogao e mafai ai ona sili atu le pulea o le faagasologa o le teuina, ma maua ai le tele o ata ma sili atu ona lelei.
Fa'amaulalo-Maualalo Li'u: O nisi mea e mafai ona pala pe fa'agaoioi i le vevela e mana'omia mo le tu'uina pe a fa'afefe i kasa o le ea. I totonu o se vacuum, e mafai ona teuina nei mea i le vevela maualalo.
Ituaiga o Fa'agasologa Fa'apipi'i Vacuum
Fa'ate'aina Ausa Faaletino (PVD)
Fa'asao vevela: E fa'avevela le mea i totonu o se vacuum se'ia o'o ina fa'a'a'a ma fa'a'ele'ele i luga ole mea'ai.
Sputtering: Ose ion beam maualuga le malosi e tu'i ai se mea fa'atatau, ma mafua ai ona fa'ate'a'ese atomu ma teu i luga o le mea'ai.
Pulsed Laser Deposition (PLD): E fa'aogaina le laisa leisa maualuga e fa'avela ai mea mai se taula'iga, ona fa'aputu ai lea i luga o le mea'ai.
Fa'afitia o Ausa Fa'ama'i (CVD)
Low Pressure CVD (LPCVD): Fa'atino i le fa'aitiitia o le mamafa e fa'aitiitia ai le vevela ma fa'aleleia atili le lelei o ata.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Fa'aaogā se plasma e fa'agaoioi ai gaioiga fa'ama'i ile vevela maualalo nai lo le CVD masani.
Fa'ato'a fa'aato'atoa (ALD)
O le ALD o se ituaiga o CVD e teu ai ata e tasi le vaega atomika i le taimi, e maua ai le pulea lelei i luga o le mafiafia o ata ma le tuufaatasiga.
Meafaigaluega Fa'aaogaina ile Vacuum Coating
Vacuum Chamber: O le vaega autu lea e fai ai le faʻagasologa o le ufiufi.
Vacuum Pumps: Fausia ma tausia le siosiomaga gaogao.
U'u Fa'apalapala: Fa'amauina le mea'ai i totonu i le taimi o le fa'auluina.
Evaporation po'o Sputtering Sources: Fa'alagolago ile PVD metotia fa'aoga.
Sapalai Malosiaga: Mo le faʻaogaina o le malosi i puna o le faʻafefe poʻo le gaosia o se plasma i le PECVD.
Faiga Pulea o le Temperature: Mo mea fa'avevela po'o le pulea o le vevela o le faagasologa.
Faiga Mata'ituina: Ia fuaina le mafiafia, tutusa, ma isi meatotino o le ata na teuina.
Fa'aaogāga o le fa'a'ofu'u'u
Va'aiga Fa'apitoa: Mo mea e fa'afefete ai le fa'afoliga, fa'afoliga, po'o le fa'amama fa'amama i tioata, fa'ata, ma isi vaega fa'apitoa.
Fa'aofuofu teuteu: Mo le tele o ituaiga o oloa, e aofia ai mea teuteu, uati, ma vaega ta'avale.
Ufiufi Malō: Ia fa'aleleia atili le fa'alavalava ma le tumau i luga o meafaigaluega tipi, vaega afi, ma masini fa'afoma'i.
Ufiufi Pa: E puipuia ai le pala po'o le sosolo i luga o u'amea, palasitika, po'o mea tioata.
Faʻapipiʻi Faʻaeletonika: Mo le gaosiga o fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia, sela sola, ma isi masini eletise.
Tulaga lelei o le faʻapipiʻi mama
Fa'asa'o: Fa'alavalava fa'amama e mafai ai ona fa'atonu sa'o le mafiafia o ata ma le fa'aputuga.
Tulaga tutusa: O ata e mafai ona teuina tutusa i luga o foliga lavelave ma vaega tetele.
Lelei: O le faʻagasologa e mafai ona faʻaogaina tele ma e talafeagai mo le gaosiga maualuga.
Siosiomaga Faauo: E masani ona fa'aogaina e le pa'u masima ni nai vaila'au laiti ma fa'aitiitia ai otaota nai lo isi metotia fa'apipi'i.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Aukuso-15-2024