Proces vákuového nanášania má prísne požiadavky na prostredie aplikácie. Hlavné požiadavky na vákuovú sanitáciu v prípade konvenčného vákuového procesu sú: na častiach alebo povrchu zariadenia vo vákuu sa nesmie hromadiť znečistenie, povrch vákuovej komory musí byť hladký a bez mäkkých tkanív, pórov a rohových medzier, takže zvar vo vákuovom stroji neovplyvní vákuum a vysokovákuový stroj nesmie používať olej ako mazivo. Bezolejový ultravysokový vákuový systém by mal zabrániť vplyvu olejových pár na čistotu, pracovný výkon alebo povrchové vlastnosti pracovného média. Ultravysokovýkuový kovový systém často používa ako konštrukčný materiál 1Cr18Ni9Ti. Laboratórium alebo dielňa, kde sa vákuový nanášací stroj používa, by sa mali udržiavať čisté a hygienické.
V procese vákuového nanášania je čistenie povrchu veľmi dôležité. V podstate pred vložením všetkých substrátov do vákuovej komory na nanášanie musia prejsť procesom predbežného čistenia, aby sa dosiahlo odmastenie, dekontaminácia a dehydratácia obrobku.
Hlavnými zdrojmi znečistenia povrchu pokovovaných dielov sú: prach, pot, mastnota, leštiaca pasta, olej, mazací olej a iné látky, ktoré priľnú počas spracovania, prepravy, balenia a iných procesov; plyn adsorbovaný a absorbovaný na povrchu dielov zariadenia; oxidový film vytvorený na povrchu dielov pokovovacieho stroja vo vlhkom vzduchu. Znečistenie z týchto zdrojov je možné odstrániť odmasťovaním alebo chemickým čistením.
Neskladujte vyčistené obrobky v atmosférickom prostredí. Aby sa znížila kontaminácia prachom a vyčistilo skladovanie obrobkov, často používajte na skladovanie obrobkov čistiace skrinky alebo uzavreté nádoby. Sklenený substrát je potrebné skladovať v čerstvo oxidovanej hliníkovej nádobe, ktorá môže znížiť adsorpciu uhľovodíkových pár. Pretože novo oxidované hliníkové nádoby prednostne adsorbujú uhľovodíky. Povrchy citlivé na vodnú paru alebo vysoko nestabilné sa zvyčajne skladujú vo vákuovej sušiarni.
Základné požiadavky na prostredie pri vákuovom nanášaní zahŕňajú najmä: vysokú čistotu vo vákuovej miestnosti, bezprašnosť v nanášacej miestnosti atď. V niektorých oblastiach je vlhkosť vzduchu relatívne vysoká, takže pred nanášaním je potrebné nielen vyčistiť komponenty v substráte a vákuovej komore, ale aj vykonať vypaľovanie a odplyňovanie. Okrem toho, aby sa zabránilo vniknutiu oleja do vákuovej komory, je potrebné venovať pozornosť aj opatreniam na spätný tok oleja a blokovanie oleja v difúznom čerpadle na dopĺňanie paliva.
Čas uverejnenia: 18. februára 2023