Процесс вакуумного покрытия предъявляет строгие требования к среде применения. Для обычного вакуумного процесса его основные требования к вакуумной санитарии следующие: на деталях или поверхности оборудования в вакууме нет накопленных источников загрязнения, поверхность вакуумной камеры гладкая и свободная от мягких тканей, пор и угловых пространств, поэтому сварка в вакуумной машине не повлияет на вакуум, а высоковакуумная машина не должна использовать масло в качестве смазки. Безмасляная сверхвысоковакуумная система должна избегать влияния паров масла на чистоту, рабочие характеристики или поверхностные характеристики рабочей среды. В сверхвысоковакуумной металлической системе в качестве конструкционного материала часто используется 1Cr18Ni9Ti. Лаборатория или цех, где находится вакуумная машина для покрытия, должны содержаться в чистоте и санитарии.
В процессе вакуумного покрытия очень важна очистка поверхности. По сути, перед загрузкой всех подложек в вакуумную камеру для нанесения покрытия они должны пройти процесс предварительной очистки для обезжиривания, дезактивации и дегидратации заготовки.
Основными источниками загрязнения поверхности покрытых деталей являются: пыль, пот, жир, полировальная паста, масло, смазочное масло и другие вещества, которые будут прилипать во время обработки, передачи, упаковки и других процессов; Газ, адсорбированный и абсорбированный на поверхности деталей оборудования; Оксидная пленка, образующаяся на поверхности деталей покрывающей машины во влажном воздухе. Для загрязнения из этих источников большинство из них можно удалить путем обезжиривания или химической очистки.
Не храните очищенные заготовки в атмосферной среде. Чтобы уменьшить загрязнение пылью и очистить место хранения заготовок, часто используйте шкафы для очистки или закрытые контейнеры для хранения заготовки. Стеклянную подложку необходимо хранить в свежеокисленном алюминиевом контейнере, который может уменьшить адсорбцию паров углеводородов. Поскольку свежеокисленные алюминиевые контейнеры будут преимущественно адсорбировать углеводороды. Поверхности, чувствительные к водяному пару или очень нестабильные, обычно хранятся в вакуумной сушильной печи.
Основные требования процесса вакуумного покрытия к окружающей среде в основном включают: высокую чистоту в вакуумной камере, отсутствие пыли в камере нанесения покрытия и т. д. В некоторых зонах влажность воздуха относительно высока, поэтому перед нанесением покрытия необходимо не только очистить компоненты в подложке и вакуумной камере, но и выполнить работы по обжигу и дегазации. Кроме того, для предотвращения попадания масла в вакуумную камеру необходимо также обратить внимание на меры по возврату масла и блокировке масла заправочного диффузионного насоса.
Время публикации: 18 февр. 2023 г.