କାହିଁକି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବ୍ୟବହାର କରିବେ?
ପ୍ରଦୂଷଣ ରୋକିବା: ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ, ବାୟୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗ୍ୟାସର ଅନୁପସ୍ଥିତି ଜମା ହୋଇଥିବା ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଗ୍ୟାସ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବାରୁ ବାଧା ଦିଏ, ଯାହା ଫିଲ୍ମକୁ ଦୂଷିତ କରିପାରେ।
ଉନ୍ନତ ଆଡ଼ସେସନ୍: ବାୟୁର ଅଭାବର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଫିଲ୍ମଟି ବାୟୁ ପକେଟ୍ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଇଣ୍ଟରଷ୍ଟିସିଆଲ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ବିନା ସିଧାସଳଖ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଲାଗି ରହିଥାଏ ଯାହା ବନ୍ଧନକୁ ଦୁର୍ବଳ କରିପାରେ।
ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା: ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଅବସ୍ଥା ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ଉତ୍ତମ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଅଧିକ ସମାନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚମାନର ଫିଲ୍ମ ମିଳିଥାଏ।
ନିମ୍ନ-ତାପମାନରେ ଜମା: କିଛି ପଦାର୍ଥ ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଗ୍ୟାସର ସମ୍ମୁଖକୁ ଆସିଲେ ପଚିଯିବ କିମ୍ବା ଜମା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବ। ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ, ଏହି ପଦାର୍ଥଗୁଡ଼ିକ କମ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ଜମା ହୋଇପାରିବ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପ୍ରକାରଭେଦ
ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD)
ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ: ସାମଗ୍ରୀକୁ ଶୂନ୍ୟ ସ୍ଥାନରେ ଗରମ କରାଯାଏ ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏହା ବାଷ୍ପୀଭବନ ହୋଇଯାଏ ଏବଂ ତା’ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ।
କ୍ଷତବିକ୍ଷତ: ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନ ବିମ୍ ଏକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ବାହାରକୁ ବାହାରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇଯାଏ।
ପଲ୍ସଡ୍ ଲେଜର ଡିପୋଜିସନ୍ (PLD): ଟାର୍ଗେଟରୁ ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତିଯୁକ୍ତ ଲେଜର ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯାହା ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ।
ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD)
ନିମ୍ନ ଚାପ CVD (LPCVD): କମ୍ ଚାପରେ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରାଯାଇ ତାପମାତ୍ରାକୁ କମ କରାଯାଏ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରାଯାଏ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା-ଉନ୍ନତ CVD (PECVD): ପାରମ୍ପରିକ CVD ତୁଳନାରେ କମ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ସକ୍ରିୟ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ବ୍ୟବହାର କରେ।
ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା (ALD)
ALD ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକାରର CVD ଯାହା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ଗୋଟିଏ ସମୟରେ ଗୋଟିଏ ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା କରେ, ଯାହା ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ଗଠନ ଉପରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ଉପକରଣ
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର: ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ଯେଉଁଠାରେ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଘଟେ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି ଏବଂ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ।
ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଧାରକ: ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କୁ ସ୍ଥାନରେ ରଖିବା ପାଇଁ।
ବାଷ୍ପୀଭବନ କିମ୍ବା ଛିଟିକିବା ଉତ୍ସ: ବ୍ୟବହୃତ PVD ପଦ୍ଧତି ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ: ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକରେ ଶକ୍ତି ପ୍ରୟୋଗ କରିବା ପାଇଁ କିମ୍ବା PECVDରେ ପ୍ଲାଜମା ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ।
ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ: ସବ୍ଷ୍ଟେଟ୍ ଗରମ କରିବା କିମ୍ବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ।
ମନିଟରିଂ ସିଷ୍ଟମ: ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମର ଘନତା, ସମାନତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗୁଣ ମାପିବା ପାଇଁ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣର ପ୍ରୟୋଗ
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ: ଲେନ୍ସ, ଦର୍ପଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ପ୍ରତିଫଳିତ-ପ୍ରତିଫଳିତ, ପ୍ରତିଫଳିତ କିମ୍ବା ଫିଲ୍ଟର ଆବରଣ ପାଇଁ।
ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ: ଅଳଙ୍କାର, ଘଣ୍ଟା ଏବଂ ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ପାର୍ଟସ୍ ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଉତ୍ପାଦ ପାଇଁ।
କଠିନ ଆବରଣ: କଟିଂ ଉପକରଣ, ଇଞ୍ଜିନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଚିକିତ୍ସା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ।
ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଆବରଣ: ଧାତୁ, ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ କିମ୍ବା କାଚ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟରେ କ୍ଷୟ କିମ୍ବା ପ୍ରବେଶକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ।
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଆବରଣ: ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍, ସୌର କୋଷ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣର ଲାଭ
ସଠିକତା: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ଗଠନ ଉପରେ ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ସମାନତା: ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ଜଟିଳ ଆକୃତି ଏବଂ ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ଉପରେ ସମାନ ଭାବରେ ରଖାଯାଇପାରିବ।
ଦକ୍ଷତା: ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅତ୍ୟନ୍ତ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ହୋଇପାରିବ ଏବଂ ଅଧିକ ପରିମାଣର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ପରିବେଶ ଅନୁକୂଳତା: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସାଧାରଣତଃ କମ୍ ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ଅନ୍ୟ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ କମ୍ ଅପଚୟ ଉତ୍ପାଦନ କରେ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୧୫-୨୦୨୪