Vakuumbeleggprosessen har strenge krav til bruksmiljøet. For den konvensjonelle vakuumprosessen er hovedkravene for vakuumsanering: det er ingen akkumulert forurensningskilde på deler eller overflater av utstyret i vakuumet, overflaten på vakuumkammeret er glatt og fri for bløtvev, porer og hjørnerom, slik at sveisingen i vakuummaskinen ikke vil påvirke vakuumet, og høyvakuummaskinen skal ikke bruke olje som smøremiddel. Det oljefrie ultrahøyvakuumsystemet bør unngå påvirkning av oljedamp på renheten, arbeidsytelsen eller overflateegenskapene til arbeidsmediet. Ultrahøyvakuummetallsystemet bruker ofte 1Cr18Ni9Ti som strukturmateriale. Laboratoriet eller verkstedet der vakuumbeleggmaskinen brukes, bør holdes rent og hygienisk.
I prosessen med vakuumbelegg er overflaterengjøring svært viktig. I utgangspunktet må alle substrater, før de lastes inn i vakuumkammeret for belegg, gjennomgå en rengjøringsprosess før belegget for å oppnå avfetting, dekontaminering og dehydrering av arbeidsstykket.
De viktigste kildene til overflateforurensning av belagte deler er: støv, svette, fett, poleringspasta, olje, smøreolje og andre stoffer som fester seg under bearbeiding, overføring, emballasje og andre prosesser; gass som absorberes på overflaten av utstyrsdeler; oksidfilm som dannes på overflaten av deler i beleggmaskinen i våt luft. Forurensning fra disse kildene kan mesteparten fjernes ved avfetting eller kjemisk rengjøring.
Ikke oppbevar rengjorte arbeidsstykker i atmosfærisk miljø. For å redusere støvforurensning og rengjøre oppbevaring av arbeidsstykker, bruk ofte rengjøringsskap eller lukkede beholdere for å oppbevare arbeidsstykket. Glasssubstratet må oppbevares i en nylig oksidert aluminiumsbeholder, noe som kan redusere adsorpsjonen av hydrokarbondamp. Fordi nylig oksiderte aluminiumsbeholdere fortrinnsvis vil adsorbere hydrokarboner. Overflater som er følsomme for vanndamp eller svært ustabile, oppbevares vanligvis i en vakuumtørkeovn.
De grunnleggende kravene til vakuumbeleggprosessen for miljøet inkluderer hovedsakelig: høy renhet i vakuumrommet, støvfritt beleggrom, osv. I noen områder er luftfuktigheten relativt høy, så før plating er det ikke bare nødvendig å rengjøre komponentene i substratet og vakuumkammeret, men også å utføre baking og avgassing. I tillegg, for å forhindre at olje kommer inn i vakuumkammeret, er det også nødvendig å være oppmerksom på oljeretur- og oljeblokkeringstiltakene til påfyllingsdiffusjonspumpen.
Publisert: 18. februar 2023