Hvorfor bruke en støvsuger?
Forebygging av forurensning: I vakuum hindrer fraværet av luft og andre gasser at avsetningsmaterialet reagerer med atmosfæriske gasser, noe som kan forurense filmen.
Forbedret vedheft: Mangelen på luft betyr at filmen fester seg direkte til underlaget uten luftlommer eller andre mellomliggende gasser som kan svekke bindingen.
Filmkvalitet: Vakuumforhold gir bedre kontroll over avsetningsprosessen, noe som resulterer i mer ensartede filmer av høyere kvalitet.
Lavtemperaturavsetning: Noen materialer ville dekomponere eller reagere ved temperaturene som kreves for avsetning hvis de ble utsatt for atmosfæriske gasser. I vakuum kan disse materialene avsettes ved lavere temperaturer.
Typer vakuumbeleggprosesser
Fysisk dampavsetning (PVD)
Termisk fordampning: Materialet varmes opp i vakuum til det fordamper og deretter kondenserer på underlaget.
Sputtering: En høyenergisk ionstråle bombarderer et målmateriale, noe som fører til at atomer blir kastet ut og avsatt på substratet.
Pulserende laseravsetning (PLD): En høyeffekts laserstråle brukes til å fordampe materiale fra et mål, som deretter kondenserer på underlaget.
Kjemisk dampavsetning (CVD)
Lavtrykks-CVD (LPCVD): Utføres ved redusert trykk for å senke temperaturene og forbedre filmkvaliteten.
Plasmaforsterket CVD (PECVD): Bruker plasma til å aktivere kjemiske reaksjoner ved lavere temperaturer enn tradisjonell CVD.
Atomlagsavsetning (ALD)
ALD er en type CVD som avsetter filmer ett atomlag om gangen, noe som gir utmerket kontroll over filmtykkelse og sammensetning.
Utstyr brukt i vakuumbelegg
Vakuumkammer: Hovedkomponenten der belegningsprosessen finner sted.
Vakuumpumper: For å skape og opprettholde et vakuummiljø.
Substratholder: For å holde underlaget på plass under belegningsprosessen.
Fordampning eller sputteringskilder: Avhengig av hvilken PVD-metode som brukes.
Strømforsyninger: For å tilføre energi til fordampningskildene eller for å generere plasma i PECVD.
Temperaturkontrollsystemer: For oppvarming av underlag eller kontroll av prosesstemperaturen.
Overvåkingssystemer: For å måle tykkelse, ensartethet og andre egenskaper til den avsatte filmen.
Anvendelser av vakuumbelegg
Optiske belegg: For antirefleksbelegg, reflekterende belegg eller filterbelegg på linser, speil og andre optiske komponenter.
Dekorative belegg: For et bredt spekter av produkter, inkludert smykker, klokker og bildeler.
Harde belegg: For å forbedre slitestyrke og holdbarhet på skjæreverktøy, motorkomponenter og medisinsk utstyr.
Barrierebelegg: For å forhindre korrosjon eller gjennomtrengning på metall-, plast- eller glassunderlag.
Elektroniske belegg: For produksjon av integrerte kretser, solceller og andre elektroniske enheter.
Fordeler med vakuumbelegg
Presisjon: Vakuumbelegg gir presis kontroll over filmtykkelse og sammensetning.
Jevnhet: Filmer kan legges jevnt over komplekse former og store områder.
Effektivitet: Prosessen kan automatiseres i stor grad og er egnet for produksjon i store mengder.
Miljøvennlighet: Vakuumbelegg bruker vanligvis færre kjemikalier og produserer mindre avfall enn andre beleggmetoder.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 15. august 2024