ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာ လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ ဖုန်စုပ်အဆင့်သည် နောက်ခံအခြေအနေတစ်ခုသာမက လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှု၊ ဖလင်အရည်အသွေးနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထပ်ခါတလဲလဲဖြစ်မှုကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် အခြေခံကန့်သတ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။
Inစက်မှုလုပ်ငန်းအဆင့် PVD နှင့် အငွေ့ပျံခြင်းအပေါ်ယံလွှာစနစ်များ,မလုံလောက်သော သို့မဟုတ် မတည်ငြိမ်သော လေဟာနယ်အခြေအနေများသည် အပေါ်ယံလွှာချို့ယွင်းချက်များ၊ ထွက်နှုန်းအတက်အကျနှင့် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုပြဿနာများ၏ အရင်းခံအကြောင်းရင်း ဖြစ်လာလေ့ရှိသည်။
ဤဆောင်းပါးသည် စက်ပစ္စည်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အင်ဂျင်နီယာရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် အလွှာခံတည်ငြိမ်မှုအပေါ် မတူညီသောလေဟာနယ်အပိုင်းအခြားများ၏ အမှန်တကယ်၊ အသုံးချအဆင့်သက်ရောက်မှုကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာထားသည်။
၁။ တည်ငြိမ်သော အလွှာပါးများ စုပုံခြင်း၏ အခြေခံအဖြစ် ဖုန်စုပ်စက်အဆင့်
ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာတွင်၊ ဖုန်စုပ်ပတ်ဝန်းကျင်သည် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါတို့ကို ထိန်းချုပ်သည်-
ကျန်ရှိနေသောဓာတ်ငွေ့ဖွဲ့စည်းမှု၊ အငွေ့ပျံသွားသော သို့မဟုတ် ဖြန်းထားသော အမှုန်အမွှားများ၏ ပျမ်းမျှလွတ်လပ်သောလမ်းကြောင်း၊ ပလာစမာတည်ငြိမ်မှု၊ အလွှာကြီးထွားမှုအတွင်း မျက်နှာပြင်ညစ်ညမ်းမှု
လေဟာနယ်အဆင့် လျော့ကျလာသည်နှင့်အမျှ (ဖိအားမြင့်တက်လာသည်)၊ ဓာတ်ငွေ့အဆင့် တိုက်မိနိုင်ခြေသည် သိသိသာသာ မြင့်တက်လာပြီး ဖလင်သိပ်သည်းဆ၊ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုနှင့် ကပ်ငြိမှုတို့ကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။
ထို့ကြောင့်၊ vacuum level သည် သီးခြား parameter မဟုတ်ပါ - ၎င်းသည် deposition လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံး၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ နယ်နိမိတ်အခြေအနေများကို သတ်မှတ်ပေးသည်။
၂။ လေဟာနယ် အကွာအဝေး နည်းပါးခြင်း- အရင်းအမြစ်တွင် မတည်ငြိမ်မှု
လေဟာနယ်နည်းသောအပိုင်းအခြား (ပုံမှန်အားဖြင့် >10⁻² mbar) တွင် အပေါ်ယံလွှာလုပ်ငန်းစဉ်သည် မွေးရာပါ မတည်ငြိမ်မှုအန္တရာယ်များနှင့် ရင်ဆိုင်ရသည်-
အပေါ်ယံလွှာမျိုးစိတ်များ၏ တိုတောင်းသော ပျမ်းမျှလွတ်လပ်သောလမ်းကြောင်း
အငွေ့ပျံသွားသော အက်တမ်များ သို့မဟုတ် ဖြန်းထားသော အမှုန်များသည် ကျန်ရှိသော ဓာတ်ငွေ့မော်လီကျူးများနှင့် မကြာခဏ တိုက်မိလေ့ရှိပြီး အောက်ပါတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
ဦးတည်ရာသယ်ယူပို့ဆောင်ရေး လျှော့ချခြင်း
ඔප දැමීම ထိရောက်မှု နိမ့်ကျခြင်း
အထူအပါးထိန်းချုပ်မှုညံ့ဖျင်းခြင်း
မသန့်ရှင်းမှုပါဝင်မှု မြင့်မားခြင်း
ရေငွေ့၊ အောက်ဆီဂျင်နှင့် ဟိုက်ဒရိုကာဗွန်များသည် တက်ကြွစွာရှိနေသောကြောင့်-
အောက်ဆီဒေးရှင်းဖြစ်စေသော သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းနေသော ဖလင်များ
လျှပ်စစ်၊ အလင်း သို့မဟုတ် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ ယိုယွင်းပျက်စီးခြင်း
မတည်ငြိမ်သော ပလာစမာအခြေအနေများ (PVD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်)
ဓာတ်ငွေ့ပြန့်ကျဲမှု မြင့်တက်လာခြင်းသည် ပလာစမာသိပ်သည်းဆနှင့် တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေပြီး တသမတ်တည်း ထုတ်လွှတ်မှုအပြုအမူကို ထိန်းသိမ်းရန် ခက်ခဲစေသည်။
ဤလေဟာနယ်အပိုင်းအခြားတွင်၊ အပေါ်ယံလွှာရလဒ်များသည် အနည်းငယ်သော အတက်အကျများကို အလွန်အမင်းထိခိုက်လွယ်သောကြောင့် လုပ်ငန်းစဉ်ကို ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်စေရန် အလွန်ခက်ခဲစေသည်။
၃။ အလတ်စား ဖုန်စုပ်စက် အကွာအဝေး- အခြေခံ လုပ်ငန်းစဉ် ဖြစ်နိုင်ခြေ၊ အကန့်အသတ်ရှိသော တည်ငြိမ်မှု
အလယ်အလတ်ဖုန်စုပ်အားအပိုင်းအခြား (ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 10⁻³ မှ 10⁻⁴ mbar) ကို စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာအတွက် အနည်းဆုံးကန့်သတ်ချက်အဖြစ် မကြာခဏ သတ်မှတ်လေ့ရှိသည်။
ဒီအဆင့်မှာ-
အမှုန်သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးသည် ပိုမိုဦးတည်လာပါသည်
ပလာစမာဖြင့် မီးညှိခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းကို ရရှိနိုင်ပါသည်
အခြေခံရုပ်ရှင်ဖွဲ့စည်းခြင်းဖြစ်နိုင်သည်
သို့သော်၊ ထုတ်လုပ်မှုရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုသည် အကန့်အသတ်ရှိနေဆဲဖြစ်သည်-
ကျန်ရှိနေသောဓာတ်ငွေ့များသည် ဖလင်ဖွဲ့စည်းမှုကို သိသိသာသာလွှမ်းမိုးနေဆဲဖြစ်သည်။
အပေါ်ယံလွှာဂုဏ်သတ္တိများသည် အသုတ်လိုက် ကွဲပြားမှုကို သိသာထင်ရှားစွာ ပြသသည်
ထုတ်လုပ်မှုကြာမြင့်စွာလုပ်ဆောင်ခြင်းသည် တဖြည်းဖြည်း ယိုယွင်းပျက်စီးသွားတတ်သည်
ဤဖုန်စုပ်အားအကွာအဝေးသည် အလှဆင်အပေါ်ယံလွှာများ သို့မဟုတ် လိုအပ်ချက်နည်းသော အသုံးချမှုများအတွက် လက်ခံနိုင်သော်လည်း မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည် သို့မဟုတ် မြင့်မားသော တသမတ်တည်းလိုအပ်ချက်များအတွက် မလုံလောက်ပါ။
၄။ မြင့်မားသော လေဟာနယ် အကွာအဝေး- စစ်မှန်သော လုပ်ငန်းစဉ် တည်ငြိမ်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေခြင်း
အခြေခံဖိအားသည် မြင့်မားသောလေဟာနယ်အပိုင်းအခြား (ပုံမှန်အားဖြင့် ≤10⁻⁵ mbar) သို့ရောက်ရှိသောအခါ၊ အပေါ်ယံလွှာတည်ငြိမ်မှုသည် အခြေခံအားဖြင့် တိုးတက်ကောင်းမွန်လာသည်။
အဓိက အားသာချက်များ ပါဝင်သည်-
တိုးချဲ့ထားသော ပျမ်းမျှလွတ်လပ်သောလမ်းကြောင်း
အပေါ်ယံလွှာအမှုန်များသည် အရင်းအမြစ်မှ အောက်ခံမျက်နှာပြင်သို့ ballistically ရွေ့လျားပြီး-
ခန့်မှန်းနိုင်သော ထုတ်ယူမှုနှုန်းထားများ
အထူတူညီမှု ပိုမိုကောင်းမွန်လာခြင်း
တည်ငြိမ်သောထောင့်ဖြန့်ဖြူးမှု
အလွှာကြီးထွားမှုအတွင်း အနည်းဆုံးညစ်ညမ်းမှု
အောက်ဆီဂျင်နှင့် အစိုဓာတ်ပမာဏ လျော့နည်းလာခြင်းကြောင့် အောက်ပါတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေပါတယ်-
သိပ်သည်းပြီး သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ဖလင်များ
မျက်နှာချင်းဆိုင် ချိတ်ဆက်မှု အားကောင်းခြင်း
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် လုပ်ဆောင်ချက်ဆိုင်ရာ စွမ်းဆောင်ရည် ပိုမိုကောင်းမွန်လာခြင်း
တည်ငြိမ်သော ပလာစမာ အပြုအမူ
PVD စနစ်များတွင်၊ ထိန်းချုပ်ထားသော ဓာတ်ငွေ့မိတ်ဆက်မှုသည် သန့်ရှင်းသော လေဟာနယ်နောက်ခံတွင် ဖြစ်ပေါ်ပြီး-
တိကျသော ပလာစမာသိပ်သည်းဆထိန်းချုပ်မှု
ထပ်ခါတလဲလဲ ထုတ်လွှတ်နိုင်သော အခြေအနေများ
ယုံကြည်စိတ်ချရသော လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များ
ဤအဆင့်တွင် အပေါ်ယံလွှာတည်ငြိမ်မှုသည် အတွေ့အကြုံထက် ထိန်းချုပ်နိုင်လာပြီး ရေရှည်၊ ထပ်ခါတလဲလဲ ထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။
၅။ အလွန်မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်စက်နှင့် အဆင့်မြင့်အသုံးချမှုများတွင် ၎င်း၏အခန်းကဏ္ဍ
optical multilayers၊ တိကျသောလုပ်ဆောင်ချက်ဆိုင်ရာ အပေါ်ယံလွှာများနှင့် အဆင့်မြင့်အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အသုံးချမှုအချို့အတွက်၊ အလွန်မြင့်မားသောလေဟာနယ်အခြေအနေများသည် ကွဲပြားမှုရင်းမြစ်များကို ပိုမိုလျှော့ချပေးသည်။
စံစက်မှုထုတ်လုပ်မှုအတွက် အမြဲတမ်းမလိုအပ်သော်လည်း၊ အလွန်မြင့်မားသောဖုန်စုပ်စက်မှု-
မျက်နှာပြင်ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးသည်
ဖလင်မျက်နှာပြင်၏ ပြတ်သားမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်
ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် တသမတ်တည်းရှိမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်
အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်၏ တန်ဖိုးသည် အမြန်နှုန်းတွင် မဟုတ်ဘဲ လုပ်ငန်းစဉ် တိကျမှုနှင့် ခန့်မှန်းနိုင်မှုတွင် တည်ရှိသည်။
၆။ ဖုန်စုပ်အားတည်ငြိမ်မှုနှင့် ပကတိဖုန်စုပ်အားအဆင့်
လက်တွေ့ထုတ်လုပ်မှုတွင်၊ လေဟာနယ်တည်ငြိမ်မှုသည် ပကတိလေဟာနယ်အဆင့်ကဲ့သို့ပင် အရေးကြီးပါသည်။
မြင့်မားသော လေဟာနယ်သို့ ရောက်ရှိနိုင်သော စနစ်တစ်ခုပင် အောက်ပါအခြေအနေများတွင် ထိခိုက်နိုင်သည်-
ပန့်မတည်ငြိမ်မှု၊ အခန်းပစ္စည်းများမှ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်း၊ အပူကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော ဖိအားအတက်အကျ။
ဤအချက်များသည် အောက်ပါတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်- ပလာစမာ ရွေ့လျားမှု၊ စုပုံမှုနှုန်း အတက်အကျ၊ ဖလင်ဂုဏ်သတ္တိ မညီညွတ်မှု
ထို့ကြောင့် အပေါ်ယံလွှာတည်ငြိမ်မှုသည် အောက်ပါတို့အပါအဝင် ကောင်းမွန်စွာဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဖုန်စုပ်စက်စနစ်ပေါ်တွင် မူတည်ပါသည်- သင့်လျော်သော ပန့်ဖွဲ့စည်းပုံ၊ ထိရောက်သော အခန်းအေးပေးစနစ်၊ ထိန်းချုပ်ထားသော လုပ်ငန်းစဉ်အစီအစဉ်
၇။ နိဂုံးချုပ်- ဖုန်စုပ်စက်အဆင့်သည် အပေါ်ယံလွှာတည်ငြိမ်မှု၏ အထက်ကန့်သတ်ချက်ကို သတ်မှတ်ပေးသည်
ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာတွင်၊ လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို ဖုန်စုပ်အခြေအနေများက အဆုံးစွန်အားဖြင့် ကန့်သတ်ထားသည်။
လေဟာနယ်အဆင့်မြင့်မားခြင်း- မထိန်းချုပ်နိုင်သော ကိန်းရှင်များကို လျှော့ချပါ။ တည်ငြိမ်သော လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များကို ချဲ့ထွင်ပါ။ ပြန်လည်ထုတ်လုပ်နိုင်သော အရည်အသွေးမြင့် အပေါ်ယံလွှာများကို ဖွင့်ပါ။
မြင့်မားသောအထွက်နှုန်း၊ ရေရှည်တသမတ်တည်းရှိမှုနှင့် တိုးချဲ့နိုင်သောထုတ်လုပ်မှုကို ရည်မှန်းသော ထုတ်လုပ်သူများအတွက်၊ vacuum level ကို စနစ်သတ်မှတ်ချက်တစ်ခုအဖြစ်သာမက အဓိကအင်ဂျင်နီယာ parameter အဖြစ် သဘောထားသင့်သည်။
တည်ငြိမ်သော ဖုန်စုပ်ပတ်ဝန်းကျင်သည် ရွေးချယ်စရာတစ်ခု မဟုတ်ပါ - ၎င်းသည် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာနည်းပညာ၏ အခြေခံအုတ်မြစ်ဖြစ်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဇန်နဝါရီလ ၈ ရက်