Hawsha dahaarka faakuumka, heerka faakuumka ma aha oo kaliya xaalad asal ah, laakiin waa halbeeg aasaasi ah oo si toos ah u go'aamiya xasilloonida habka, tayada filimka, iyo soo celinta wax soo saarka.
InNidaamyada dahaarka PVD-ga iyo uumiga ee warshadaha,Xaaladaha faakuumka oo aan ku filnayn ama aan degganayn ayaa badanaa noqda sababta ugu weyn ee cilladaha dahaarka, isbeddelka wax soo saarka, iyo arrimaha kalsoonida muddada-dheer.
Maqaalkani wuxuu falanqeynayaa saameynta dhabta ah ee heerka codsiga ee noocyada kala duwan ee faaruqinta ee ku aaddan xasilloonida dahaarka laga soo bilaabo dhinaca qalabka iyo injineernimada habka.
1. Heerka faakuumka oo ah aasaaska Kaydinta Filimada Khafiifka ah ee Xasilloon
Dahaarka faakuumka, deegaanka faakuumka ayaa inta badan xakameeya:
Halabuurka gaaska haraaga ah; Wadada caadiga ah ee xorta ah ee walxaha uumi baxa ama ku shubma; Xasiloonida Balaasmaha; Wasakhowga dusha sare inta lagu jiro koritaanka filimka
Marka heerka faakuumka uu hoos u dhaco (cadaadiska oo kordha), suurtagalnimada isku dhaca wejiga gaaska ayaa si weyn u kordha, taasoo si toos ah u saameysa cufnaanta filimka, isku-midnimada, iyo isku-dhejinta.
Sidaa darteed, heerka faakuumka ma aha halbeeg gooni ah - wuxuu qeexayaa xaaladaha xuduudaha jireed ee habka dhigista oo dhan.
2. Kala duwanaansho faakuum oo hooseeya: Xasillooni la'aan ka jirta isha
Heerka faakuumka hooseeya (badanaa >10⁻² mbar), habka dahaarka wuxuu wajahayaa khataro xasillooni darro oo soo jireen ah:
Jid gaaban oo xor ah oo noocyada dahaadhka ah
Atamyada uumi baxa ama walxaha buufiska leh waxay la kulmaan isku dhacyo soo noqnoqda oo ay la galaan molecules-ka gaaska haraaga ah, taasoo keenta:
Gaadiidka jihada oo la dhimay
Waxtarka dhigaalka oo hooseeya
Xakamaynta dhumucda liidata
Isku-darka wasakhda sare
Uumiga biyaha, ogsijiinta, iyo haydaro-kaarboonadu way firfircoon yihiin, taasoo keenta:
Filimada oksijiinta leh ama wasakhaysan
Sifooyinka korontada, indhaha, ama farsamada ee xumaaday
Xaaladaha plasma-da ee aan degganayn (ee loogu talagalay hababka PVD)
Kala firdhinta gaaska oo sii kordheysa waxay carqaladeysaa cufnaanta balaasmaha iyo isku midnimada, taasoo adkeyneysa in la ilaaliyo hab-dhaqanka dheecaanka oo joogto ah.
Noocyadan faakuumka ah, natiijooyinka dahaarka ayaa aad ugu nugul isbeddellada yaryar, taasoo ka dhigaysa ku celcelinta habka mid aad u adag in la gaaro.
3. Kala duwanaanshaha Faakuumka Dhexdhexaadka ah: Suurtagalnimada Habka Aasaasiga ah, Xasillooni Xaddidan
Kala duwanaanshaha faakuumka dhexdhexaadka ah (qiyaastii 10⁻³ ilaa 10⁻⁴ mbar) ayaa badanaa loo arkaa heerka ugu hooseeya ee dahaarka faakuumka warshadaha.
Heerkan:
Gaadiidka walxaha ayaa noqda mid jiho badan leh
Daadinta iyo dayactirka plasma waa la gaari karaa
Samaynta filim aasaasi ah waa suurtagal
Si kastaba ha ahaatee, marka laga eego dhinaca wax soo saarka, xasilloonida geeddi-socodka ayaa weli xaddidan:
Gaasaska haraaga ah ayaa wali si weyn u saameeya halabuurka filimka.
Astaamaha dahaadhka waxay muujinayaan kala duwanaansho la dareemi karo oo dufcad-ilaa-dufcad ah
Socodka wax soo saarka dheer ayaa u nugul hoos u dhaca tartiib tartiib ah
Kala duwanaanshahan faakiyuumka ah waxaa laga yaabaa in la aqbalo dahaarka qurxinta ama codsiyada baahida yar, laakiin kuma filna shuruudaha waxqabadka sare ama joogtada sare.
4. Kala-duwanaanshaha Faakuumka Sare: Awoodsiinta Xasiloonida Habka Runta ah
Marka cadaadiska salka uu gaaro heerka sare ee faakuumka (badanaa ≤10⁻⁵ mbar), xasilloonida dahaarka ayaa si aasaasi ah u soo hagaagta.
Faa'iidooyinka ugu muhiimsan waxaa ka mid ah:
Waddo xor ah oo la dheereeyey oo dhexdhexaad ah
Walxaha dahaarka ayaa si ballist ah uga soo guura isha ilaa substrate-ka, iyagoo hubinaya:
Heerarka dhigaalka ee la saadaalin karo
Midaysanaan dhumuc leh oo la hagaajiyay
Qaybinta xagal deggan
Wasakhowga ugu yar inta lagu jiro koritaanka filimka
Heerarka oksijiinta iyo qoyaanka oo yaraada waxay keenaan:
Filimaan cufan oo saafi ah
Xidhiidh xooggan oo is-dhexgal ah
Waxqabadka farsamada iyo shaqada oo la hagaajiyay
Dhaqanka plasma-ga ee deggan
Nidaamyada PVD, soo-gelinta gaaska la xakameeyey waxay ka dhacdaa asal nadiif ah oo faakiyuum ah, taasoo u oggolaanaysa:
Xakamaynta cufnaanta plasma-ga saxda ah
Xaaladaha sii deynta ee soo noqnoqota
Daaqadaha habka lagu kalsoonaan karo
Heerkan, xasilloonida dahaarka ayaa noqota mid la xakamayn karo halkii laga ahaan lahaa mid la taaban karo, taasoo suurtogalinaysa wax soo saar muddo dheer ah oo la soo celin karo.
5. Faakuumka Aad u Sareeya iyo Doorka uu ku leeyahay Codsiyada Sare
Codsiyada heerka sare ah qaarkood—sida lakabyo badan oo indhaha ah, dahaarka shaqada ee saxda ah, iyo elektaroonigga horumarsan—xaaladaha faaruqinta aadka u sarreeya ayaa sii yareeya ilaha kala duwanaanshaha.
In kasta oo aan had iyo jeer looga baahnayn wax soo saarka warshadaha caadiga ah, faakuumka aadka u sarreeya:
Waxay yareysaa wasakheynta wajiga
Waxay kordhisaa muuqaalka muuqaalka filimka
Waxay hagaajisaa isku halaynta iyo joogtaynta muddada dheer
Qiimaha faakuumka aadka u sarreeya kuma jiro xawaaraha, laakiin wuxuu ku jiraa saxnaanta habka iyo saadaalinta.
6. Xasiloonida faakuumka iyo Heerka Faakuumka oo Dhammaystiran
Wax soo saarka wax ku oolka ah, xasilloonida faakuumka ayaa muhiim u ah sida heerka faakuumka buuxa.
Xitaa nidaam awood u leh inuu gaaro faaruq sare wuxuu la kulmi karaa:
Xasillooni la'aan bamgareynta; Gaaska ka baxaya agabka qolka; Isbeddellada cadaadiska ee uu keeno kulaylka;
Arrimahani waxay keenaan: Kala-guurka Plasma; Isbedelka heerka dhigista; Is-waafaqla'aanta hantida filimka
Sidaa darteed, xasilloonida dahaarka waxay ku xiran tahay nidaam faakiyuum oo si fiican loo nashqadeeyay, oo ay ku jiraan: Qaabeynta bamka saxda ah; Qaboojinta qolka oo wax ku ool ah; Taxanaha habka la xakameeyey
7. Gunaanad: Heerka faakuumka wuxuu qeexayaa Xadka Sare ee Xasilloonida dahaarka
Dahaarka faakuumka, xasilloonida habka ugu dambeyntii waxaa xaddidaya xaaladaha faakuumka.
Heerarka faakuumka oo sareeya: Yaree doorsoomayaasha aan la xakamayn karin; Ballaari daaqadaha habka deggan; Awood u yeelo dahaarka dib loo soo saari karo oo tayo sare leh
Soo-saareyaasha ujeedadoodu tahay wax-soo-saar sare, isku-xirnaan muddo-dheer ah, iyo wax-soo-saar la miisaami karo, heerka faakiyuumka waa in loola dhaqmaa sidii halbeeg injineernimo oo asaasi ah, oo aan ahayn oo keliya qeexidda nidaamka.
Deegaan faakiyuum deggan maaha ikhtiyaar - waa aasaaska tignoolajiyada lagu kalsoonaan karo ee dahaarka faakiyuumka.
–Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Jan-08-2026