Ka hopena kūpono o ka pae Vacuum ma ke kūpaʻa o ke kaʻina hana uhi

I nā kaʻina hana uhi hakahaka, ʻaʻole wale ka pae hakahaka he kūlana hope, akā he ana kumu e hoʻoholo pololei ai i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana, ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni, a me ka hana hou ʻana.

Innā ʻōnaehana uhi PVD a me ka hoʻoheheʻe ʻana o ka ea,ʻO nā kūlana hakahaka lawa ʻole a paʻa ʻole paha e lilo pinepine i kumu kumu o nā hemahema o ka uhi ʻana, ka loli o ka hua, a me nā pilikia hilinaʻi lōʻihi.

Kuhikuhi kēia ʻatikala i ka hopena maoli ma ka pae noi o nā ʻano hakahaka like ʻole ma ke kūpaʻa o ka uhi ʻana mai kahi kuanaʻike o nā lako hana a me ke kaʻina hana.

1. Pae Vacuum ma ke ʻano he kahua o ka waiho ʻana o ka ʻili lahilahi paʻa

I loko o ka uhi ʻana o ka vacuum, ʻo ke kaiapuni vacuum ka mea nui e kaohi:

ʻO ke koena o ke kinoea; ʻO ke ala manuahi maʻamau o nā ʻāpana i hoʻoheheʻe ʻia a i ʻole i pīpī ʻia; Paʻa plasma; Haumia ʻili i ka wā o ka ulu ʻana o ka ʻili

I ka emi ʻana o ka pae hakahaka (piʻi ke kaomi), piʻi nui ka likelika o nā kuʻi ʻana o ke kinoea-pae, e hoʻopilikia pololei ana i ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni, ke kūlike, a me ka hoʻopili ʻana.
No laila, ʻaʻole kahi palena hoʻokaʻawale ʻia ka pae hakahaka—ho'ākāka ia i nā kūlana palena kino o ke kaʻina hana waiho holoʻokoʻa.

2. Ka Pae Vacuum Haʻahaʻa: Ka Paʻa ʻole ma ke Kumu

Ma ka pae haʻahaʻa o ka vacuum (maʻamau >10⁻² mbar), ke kū nei ke kaʻina hana uhi i nā pilikia paʻa ʻole:

Ala pōkole manuahi awelika o nā ʻano uhi
Hoʻopilikia pinepine nā ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia a i ʻole nā ​​​​​​ʻāpana i pīpī ʻia me nā molekala kinoea i koe, e alakaʻi ana i:

Hoʻemi ʻia ka halihali kuhikuhi

Ka pono o ka waiho ʻana haʻahaʻa

Kaohi mānoanoa maikaʻi ʻole

Hoʻohui ʻia ʻana o ka haumia kiʻekiʻe
Noho ka mahu wai, ka oxygen, a me nā hydrocarbons i ka hana, e hopena ana i:

Nā kiʻiʻoniʻoni i hoʻomake ʻia a haumia paha

Nā waiwai uila, optical, a mechanical paha i hōʻino ʻia

Nā kūlana plasma paʻa ʻole (no nā kaʻina hana PVD)
ʻO ka hoʻonui ʻia ʻana o ka hoʻopuehu ʻana o ke kinoea e hoʻopilikia i ka nui o ka plasma a me ke kūlike, e paʻakikī ai ka mālama ʻana i ke ʻano hoʻokuʻu kūlike.

Ma kēia ʻano hana hoʻoheheʻe, he paʻakikī loa nā hopena o ka uhi ʻana i nā loli liʻiliʻi, e paʻakikī ai ka hana hou ʻana i ke kaʻina hana.

3. Ka laulā Vacuum waena: Ka hiki ke hana maʻamau, ka paʻa palena

ʻO ka pae vacuum waena (ma kahi o 10⁻³ a 10⁻⁴ mbar) ua manaʻo pinepine ʻia ʻo ia ka paepae haʻahaʻa loa no ka uhi ʻana i ka vacuum ʻoihana.

Ma kēia pae:

ʻOi aku ka pololei o ka lawe ʻana o nā ʻāpana

Hiki ke hoʻokō ʻia ka hoʻā ʻana a me ka mālama ʻana i ka plasma

Hiki ke hoʻokumu ʻia ke kiʻiʻoniʻoni maʻamau

Eia nō naʻe, mai kahi kuanaʻike hana, ua kaupalena ʻia ke kūpaʻa o ke kaʻina hana:

Hoʻopilikia nui nā kinoea i koe i ka haku mele ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni

Hōʻike nā waiwai uhi i ka ʻokoʻa ʻokoʻa o ka batch-to-batch

Hiki i nā holo hana lōʻihi ke hele mālie

Hiki ke ʻae ʻia kēia ʻano mīkini hoʻomaʻemaʻe no nā uhi hoʻonaninani a i ʻole nā ​​​​noi haʻahaʻa ke koi, akā ʻaʻole lawa ia no nā koi hana kiʻekiʻe a i ʻole ke kūlike kiʻekiʻe.

4. Ka Pae Vacuum Kiʻekiʻe: Ke Hoʻāla nei i ke Kūlana Paʻa o ke Kaʻina Hana

Ke hiki ke kaomi kumu i ka pae vacuum kiʻekiʻe (maʻamau ≤10⁻⁵ mbar), e holomua nui ana ke kūpaʻa o ka uhi ʻana.

ʻO nā pono nui:

Ala manuahi awelika i hoʻonui ʻia
Hele nā ​​ʻāpana uhi i ke ʻano balistical mai ke kumu a i ka substrate, e hōʻoiaʻiʻo ana:

Nā helu waiho ʻana i wānana ʻia

Hoʻomaikaʻi ʻia ka like ʻana o ka mānoanoa

Ka hoʻolaha kihi paʻa

Ka haumia liʻiliʻi i ka wā o ka ulu ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni
ʻO ka emi ʻana o ka oxygen a me ka makū e hopena i:

Nā kiʻiʻoniʻoni mānoanoa a maʻemaʻe hoʻi

Hoʻopaʻa ikaika i ka pilina interfacial

Hoʻomaikaʻi ʻia ka hana mechanical a me ka hana

Ke ʻano plasma paʻa
Ma nā ʻōnaehana PVD, hana ʻia ka hoʻolauna kinoea i kāohi ʻia ma kahi ʻano hakahaka maʻemaʻe, e ʻae ana:

Ka mana pololei o ka nui o ka plasma

Nā kūlana hoʻokuʻu hana hou ʻia

Nā puka makani kaʻina hana hilinaʻi

Ma kēia pae, lilo ka paʻa o ka uhi ʻana i mea hiki ke hoʻokele ʻia ma mua o ka empirical, e hiki ai ke hana hou ʻia i ka wā lōʻihi.

5. ʻO ka Vacuum Ultra-High a me kāna kuleana i nā noi holomua

No kekahi mau noi kiʻekiʻe—e like me nā multilayers optical, nā uhi hana pololei, a me nā mea uila holomua—hoʻemi hou aku nā kūlana vacuum kiʻekiʻe loa i nā kumu loli.

ʻOiai ʻaʻole pono mau no ka hana ʻoihana maʻamau, ʻo ka vacuum ultra-high:

Hoʻemi i ka haumia interfacial

Hoʻonui i ka ʻoi o ka pilina kiʻiʻoniʻoni

Hoʻomaikaʻi i ka hilinaʻi a me ke kūlike i ka wā lōʻihi

ʻAʻole ka waiwai o ka vacuum ultra-high i ka wikiwiki, akā, i ka pololei o ke kaʻina hana a me ka hiki ke wānana.

6. Paʻa Vacuum vs. Pae Vacuum Loa

I ka hana ʻana, he mea koʻikoʻi ka paʻa o ka hakahaka e like me ka pae hakahaka piha.

ʻOiai kahi ʻōnaehana i hiki ke hiki i ka vacuum kiʻekiʻe hiki ke ʻeha mai:

Ka paʻa ʻole o ka pamu ʻana; Ka hoʻopuka ʻana i ke kinoea mai nā mea o ke keʻena; Nā loli o ke kaomi i hoʻoulu ʻia e ka wela;

ʻO kēia mau mea e alakaʻi ai i: Ka holo ʻana o ka plasma; Ka loli ʻana o ka nui o ka waiho ʻana; Ka kūlike ʻole o ka waiwai kiʻiʻoniʻoni

No laila, hilinaʻi ke kūpaʻa o ka uhi ʻana i kahi ʻōnaehana vacuum i hoʻolālā maikaʻi ʻia, me: Hoʻonohonoho pamu kūpono; Hoʻoponopono lumi kūpono; Ka hoʻonohonoho ʻana i ke kaʻina hana i kāohi ʻia

7. Hopena: Ho'ākāka ka Pae Vacuum i ka Palena Kiʻekiʻe o ke Paʻa o ka Uhi ʻana

I loko o ka uhi ʻana i ka vacuum, ua kaupalena ʻia ke kūpaʻa o ke kaʻina hana e nā kūlana vacuum.

Nā pae hakahaka kiʻekiʻe: E hōʻemi i nā loli hiki ʻole ke kaohi ʻia; E hoʻonui i nā puka makani hana paʻa; E hiki ai ke hana hou ʻia, nā uhi kiʻekiʻe

No nā mea hana e makemake ana i ka loaʻa kālā kiʻekiʻe, ke kūlike lōʻihi, a me ka hana hiki ke hoʻonui ʻia, pono e mālama ʻia ka pae vacuum ma ke ʻano he palena ʻenekinia koʻikoʻi, ʻaʻole wale he kikoʻī ʻōnaehana.

ʻAʻole he koho kahi ʻano hakahaka paʻa—ʻo ia ke kumu o ka ʻenehana uhi hakahaka hilinaʻi.

–Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala enā lako hana uhi vacuummea hana Zhenhua Vacuum