Nínú àwọn ìlànà ìbòrí ìgbálẹ̀, ìpele ìgbálẹ̀ kìí ṣe ipò ìpìlẹ̀ lásán, ṣùgbọ́n ó jẹ́ ìlànà pàtàkì tí ó ń pinnu ìdúróṣinṣin ilana, dídára fíìmù, àti àtúnṣe ìṣelọ́pọ́.
Inawọn eto PVD ati awọn ọna fifi omi evaporation ṣe iwọn ile-iṣẹ,Àwọn ipò ìfọ́mọ́ tí kò tó tàbí tí kò dúró ṣinṣin sábà máa ń jẹ́ ìdí pàtàkì fún àbùkù ìbòrí, ìyípadà nínú èso, àti àwọn ìṣòro ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́.
Àpilẹ̀kọ yìí ṣe àgbéyẹ̀wò ipa gidi, ipele ohun elo ti awọn sakani vacuum oriṣiriṣi lori iduroṣinṣin ibora lati oju-iwoye ẹrọ ati imọ-ẹrọ ilana.
1. Ipele Vacuum gẹgẹbi Ipilẹ ti Iduro Tinrin-Film ti o duro ṣinṣin
Nínú ìbòrí afẹ́fẹ́, àyíká afẹ́fẹ́ náà ni ó ń ṣàkóso ní pàtàkì:
Àkójọpọ̀ gáàsì tó kù; ipa ọ̀nà tí kò ní ààlà fún àwọn èròjà tí a ti gbẹ tàbí tí a ti fọ́n jáde; Ìdúróṣinṣin pílásmù; Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ nígbà tí fíìmù náà ń dàgbà
Bí ìpele ìfàmọ́ra bá ń dínkù (títẹ̀ ń pọ̀ sí i), ìṣeéṣe ìkọlù gáàsì-ìpele gaasi yóò pọ̀ sí i gidigidi, èyí tí yóò ní ipa taara lórí ìwọ̀n fíìmù, ìṣọ̀kan, àti ìsopọ̀.
Nítorí náà, ìpele ìfàmọ́ra kìí ṣe àkójọpọ̀ tí a yà sọ́tọ̀—ó ń ṣàlàyé àwọn ipò ààlà ti ara ti gbogbo ìlànà ìfipamọ́.
2. Ipò ìfọ́mọ́ra kékeré: Àìfararọ ní Orísun
Nínú ìwọ̀n ìfàmọ́ra tí ó kéré (nígbà gbogbo >10⁻² mbar), ìlànà ìbòrí náà dojúkọ àwọn ewu àìdúróṣinṣin tí ó wà nínú rẹ̀:
Ọ̀nà kúkúrú tí kò ní ìtumọ̀ kankan ti àwọn ẹ̀yà ìbòrí
Àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde tàbí àwọn èròjà tí a ti tú jáde máa ń ní ìkọlù nígbàkúgbà pẹ̀lú àwọn mọ́líkúùlù gáàsì tí ó kù, èyí tí ó ń yọrí sí:
Gbigbe itọsọna ti o dinku
Lilo idogo kekere
Iṣakoso sisanra ti ko dara
Ìdásílẹ̀ àìmọ́ gíga
Ooru omi, atẹgun, ati awọn hydrocarbons ṣi n ṣiṣẹ, ti o mu ki:
Àwọn fíìmù tí ó ti ní oxidized tàbí tí ó ti bàjẹ́
Àwọn ohun ìní iná mànàmáná, opitika, tàbí ẹ̀rọ tí ó bàjẹ́
Awọn ipo pilasima ti ko duro ṣinṣin (fun awọn ilana PVD)
Pípọ̀ síi nínú fífọ́nká gáàsì ń ba ìwúwo àti ìṣọ̀kan plasma jẹ́, èyí sì ń mú kí ó ṣòro láti máa ṣe ìtújáde déédéé.
Nínú ìpele ìfàmọ́ra yìí, àwọn àbájáde ìbòrí máa ń ní ìmọ̀lára púpọ̀ sí àwọn ìyípadà díẹ̀, èyí tí ó mú kí ó ṣòro láti ṣe àtúnṣe ilana náà.
3. Ibiti Aarin Afẹ́fẹ́: Iṣeeṣe Ilana Ipilẹ, Iduroṣinṣin Lopin
A sábà máa ń kà ìwọ̀n ìbòrí tó kéré jùlọ fún ìbòrí ìbòrí ilé iṣẹ́ (tó tó 10⁻³ sí 10⁻⁴ mbar).
Ni ipele yii:
Gbigbe awọn patiku di itọsọna diẹ sii
Ina ati itọju pilasima ṣee ṣe
Ṣíṣe fíìmù ipilẹ ṣee ṣe
Sibẹsibẹ, lati oju-iwoye iṣelọpọ, iduroṣinṣin ilana wa ni idiwọ:
Àwọn gáàsì tó ṣẹ́kù ṣì ń nípa lórí ìṣètò fíìmù náà gidigidi
Àwọn ànímọ́ ìbòrí fi ìyàtọ̀ tí a lè rí hàn nínú ipele-sí-ìpele
Awọn iṣiṣẹ iṣelọpọ gigun jẹ eyiti o ni itara si yiyọ diẹdiẹ.
Irufẹ ìfọṣọ yii le jẹ itẹwọgba fun awọn aṣọ ọṣọ tabi awọn ohun elo ti o kere, ṣugbọn ko to fun awọn ibeere iṣẹ-ṣiṣe giga tabi ibamu giga.
4. Ibiti Ogbon Giga: Mu Iduroṣinṣin Ilana Otitọ ṣiṣẹ
Nígbà tí ìfúnpá ìpìlẹ̀ bá dé ibi gíga tí a ti ń fi èéfín sí (nígbà gbogbo ≤10⁻⁵ mbar), ìdúróṣinṣin ìbòrí ń sunwọ̀n síi ní pàtàkì.
Awọn anfani pataki ni:
Ọ̀nà ọ̀fẹ́ tí a fẹ̀ sí i
Àwọn pátákì ìbòrí ń rìn láti orísun sí orísun, èyí sì ń rí i dájú pé:
Awọn oṣuwọn idogo ti a le sọ tẹlẹ
Iṣọkan sisanra ti o dara si
Pínpín igun tí ó dúró ṣinṣin
Ibajẹ kekere lakoko idagbasoke fiimu
Atẹgun ati ipele ọrinrin ti o dinku yoo fa awọn nkan wọnyi:
Àwọn fíìmù tó nípọn, tó mọ́ tónítóní
Ìsopọ̀ tó lágbára láàárín ojú
Ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe ẹrọ ati iṣẹ-ṣiṣe
Ìwà pilasima tí ó dúró ṣinṣin
Nínú àwọn ètò PVD, ìṣàfihàn gaasi tí a ṣàkóso máa ń wáyé lórí ààyè ìgbàlejò mímọ́, èyí tí ó fúnni láyè láti:
Iṣakoso iwuwo pilasima gangan
Awọn ipo itusilẹ ti a le tun ṣe
Awọn ferese ilana ti o gbẹkẹle
Ní ìpele yìí, ìdúróṣinṣin ìbòrí di ohun tí a lè ṣàkóso dípò ìṣe-ẹ̀rọ, èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́-ṣíṣe ìgbà pípẹ́, tí a lè tún ṣe.
5. Agbara ìfọṣọ giga ati ipa rẹ ninu Awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju
Fún àwọn ohun èlò gíga kan—bíi àwọn ìpele opitika tó pọ̀, àwọn ìbòrí iṣẹ́ tó péye, àti àwọn ẹ̀rọ itanna tó ti ní ìlọsíwájú—àwọn ipò ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ tún dín àwọn orísun ìyàtọ̀ kù.
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé kìí ṣe gbogbo ìgbà ló yẹ fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ilé iṣẹ́ tó wọ́pọ̀, afẹ́fẹ́ tó ga jùlọ:
Ó dín ìbàjẹ́ ojú kù
Mu ki wiwo fiimu naa dara si
Mu igbẹkẹle igba pipẹ ati iduroṣinṣin dara si
Iye ìgbálẹ̀ gíga kìí ṣe ní iyára, ṣùgbọ́n ní ìṣedéédé àti àsọtẹ́lẹ̀.
6. Iduroṣinṣin ìgbálẹ̀ àti Ìpele ìgbálẹ̀ pípé
Nínú iṣẹ́ ṣíṣe, ìdúróṣinṣin ìgbálẹ̀ jẹ́ pàtàkì bíi ìpele ìgbálẹ̀ pípé.
Paapaa eto ti o le de ibi giga le jiya lati:
Àìdúróṣinṣin pípèsè omi; Gíga gbígbóná láti inú àwọn ohun èlò yàrá; Ìyípadà ìfúnpá tí ooru ń fà;
Àwọn okùnfà wọ̀nyí ló máa ń fa: Ìyípadà nínú ìṣàn ẹ̀jẹ̀; Ìyípadà nínú ìwọ̀n ìṣàfihàn; Àìbáramu nínú ohun ìní fíìmù
Nítorí náà, ìdúróṣinṣin ìbòrí da lórí ètò ìgbálẹ̀ tí a ṣe dáradára, pẹ̀lú: Ìṣètò fifa omi tó tọ́; Ìṣètò yàrá tó muná dóko; Ìtẹ̀lé ìlànà tí a ṣàkóso
7. Ìparí: Ìpele ìfọṣọ túmọ̀ sí ààlà gíga ti ìdúróṣinṣin àwọ̀
Nínú ìbòrí ìgbálẹ̀, ìdúróṣinṣin ilana ni a fi opin si nipasẹ awọn ipo ìgbálẹ̀.
Àwọn ìpele ìfọ́mọ́ tó ga jù: Dín àwọn oníyípadà tí a kò lè ṣàkóso kù; Fí àwọn fèrèsé ìlànà tó dúró ṣinṣin kún un; Mú kí àwọn ìbòrí tó lè tún ṣe jáde, tó sì ní agbára gíga ṣiṣẹ́
Fún àwọn olùpèsè tí wọ́n ń lépa ìdàgbàsókè gíga, ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́, àti ìṣẹ̀dá tí ó gbòòrò, a gbọ́dọ̀ wo ìpele ìfàsẹ́yìn gẹ́gẹ́ bí paramita ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì, kìí ṣe àlàyé ètò lásán.
Ayika ìgbálẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin kì í ṣe àṣàyàn—ó jẹ́ ìpìlẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ìgbálẹ̀ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
–Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́ẹrọ ti a fi bo igbaleolupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-08-2026