ڪوٽنگ جي عمل جي استحڪام تي ويڪيوم ليول جو عملي اثر

ويڪيوم ڪوٽنگ جي عملن ۾، ويڪيوم ليول صرف هڪ پس منظر جي حالت ناهي، پر هڪ بنيادي پيرا ميٽر آهي جيڪو سڌو سنئون عمل جي استحڪام، فلم جي معيار، ۽ پيداوار جي ورجائي جي قابليت جو تعين ڪري ٿو.

Inصنعتي پيماني تي پي وي ڊي ۽ بخارات ڪوٽنگ سسٽم,ناکافي يا غير مستحڪم ويڪيوم حالتون اڪثر ڪري ڪوٽنگ جي خرابين، پيداوار ۾ اتار چڙهاؤ، ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار جي مسئلن جو بنيادي سبب بڻجي وينديون آهن.

هي مضمون سامان ۽ پروسيس انجنيئرنگ جي نقطه نظر کان ڪوٽنگ جي استحڪام تي مختلف ويڪيوم رينجز جي حقيقي، ايپليڪيشن-سطح جي اثر جو تجزيو ڪري ٿو.

1. ويڪيوم ليول مستحڪم پتلي فلم جمع جي بنياد جي طور تي

ويڪيوم ڪوٽنگ ۾، ويڪيوم ماحول بنيادي طور تي ڪنٽرول ڪري ٿو:

باقي گئس جي جوڙجڪ؛ بخارات يا ڦاٽل ذرڙن جو سراسري آزاد رستو؛ پلازما جي استحڪام؛ فلم جي واڌ دوران مٿاڇري جي آلودگي

جيئن ويڪيوم ليول گهٽجي ٿو (دٻاءُ وڌي ٿو)، گئس-فيز ٽڪراءَ جو امڪان تيزي سان وڌي ٿو، جيڪو سڌو سنئون فلم جي کثافت، هڪجهڙائي، ۽ چپکڻ کي متاثر ڪري ٿو.
تنهن ڪري، ويڪيوم ليول هڪ الڳ ٿيل پيرا ميٽر نه آهي - اهو پوري جمع ڪرڻ جي عمل جي جسماني حد جي حالتن کي بيان ڪري ٿو.

2. گھٽ ويڪيوم رينج: ماخذ تي عدم استحڪام

گھٽ ويڪيوم رينج ۾ (عام طور تي >10⁻² mbar)، ڪوٽنگ جي عمل کي موروثي عدم استحڪام جي خطرن کي منهن ڏيڻو پوي ٿو:

ڪوٽنگ نسلن جو مختصر وچولي آزاد رستو
بخارات ۾ تبديل ٿيل ايٽم يا ڦاٽل ذرڙا باقي گئس جي ماليڪيولن سان بار بار ٽڪرائجن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾:

گهٽ ٿيل هدايتي ٽرانسپورٽ

گھٽ جمع ڪارڪردگي

ناقص ٿولهه ڪنٽرول

اعليٰ نجاست جي شموليت
پاڻي جي بخارات، آڪسيجن، ۽ هائيڊرو ڪاربن سرگرم رهن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾:

آڪسائيڊ ٿيل يا آلوده فلمون

خراب ٿيل بجلي، نظري، يا مشيني خاصيتون

غير مستحڪم پلازما حالتون (PVD عملن لاءِ)
گئس جي ڇِتِرڻ ۾ واڌ پلازما جي کثافت ۽ هڪجهڙائي کي خراب ڪري ٿي، جنهن جي ڪري مسلسل خارج ٿيڻ واري رويي کي برقرار رکڻ ڏکيو ٿي پوي ٿو.

هن ويڪيوم رينج ۾، ڪوٽنگ جا نتيجا معمولي اتار چڙهاؤ لاءِ انتهائي حساس هوندا آهن، جنهن جي ڪري عمل جي ورجائي جي صلاحيت حاصل ڪرڻ انتهائي ڏکيو ٿي ويندو آهي.

3. وچولي ويڪيوم رينج: بنيادي عمل جي ممڪنيت، محدود استحڪام

وچولي ويڪيوم رينج (تقريبن 10⁻³ کان 10⁻⁴ mbar) کي اڪثر صنعتي ويڪيوم ڪوٽنگ لاءِ گهٽ ۾ گهٽ حد سمجهيو ويندو آهي.

هن سطح تي:

ذرات جي آمدورفت وڌيڪ هدايتي ٿي ويندي آهي

پلازما اگنيشن ۽ سار سنڀال حاصل ڪرڻ لائق آهن.

بنيادي فلم ٺهڻ ممڪن آهي

جڏهن ته، پيداوار جي نقطي نظر کان، عمل جي استحڪام محدود رهي ٿي:

باقي گيسون اڃا تائين فلم جي جوڙجڪ تي خاص طور تي اثر انداز ٿين ٿيون

ڪوٽنگ جون خاصيتون بيچ کان بيچ ۾ قابل ذڪر تبديليون ڏيکارين ٿيون.

ڊگھي پيداوار جون ڊوڙون بتدريج خراب ٿيڻ جو شڪار آهن.

هي ويڪيوم رينج آرائشي ڪوٽنگن يا گهٽ گهربل ايپليڪيشنن لاءِ قابل قبول ٿي سگهي ٿو، پر اهو اعليٰ ڪارڪردگي يا اعليٰ مستقل مزاجي جي گهرجن لاءِ ڪافي نه آهي.

4. هاءِ ويڪيوم رينج: صحيح عمل جي استحڪام کي فعال ڪرڻ

جڏهن بنيادي دٻاءُ اعليٰ ويڪيوم رينج (عام طور تي ≤10⁻⁵ mbar) تي پهچي ٿو، ته ڪوٽنگ جي استحڪام بنيادي طور تي بهتر ٿي ويندي آهي.

اهم فائدن ۾ شامل آهن:

وڌايل وچولي آزاد رستو
ڪوٽنگ جا ذرڙا ماخذ کان سبسٽريٽ تائين بيلسٽڪ طور تي سفر ڪن ٿا، يقيني بڻائين ٿا:

متوقع جمع جي شرح

بهتر ٿلهي جي هڪجهڙائي

مستحڪم ڪوئلي ورڇ

فلم جي واڌ دوران گهٽ ۾ گهٽ آلودگي
آڪسيجن ۽ نمي جي گھٽتائي جي نتيجي ۾:

گهاٽي، اعليٰ پاڪائي واريون فلمون

مضبوط بين چهري وارو ڳنڍ

بهتر ميڪيڪل ۽ فنڪشنل ڪارڪردگي

مستحڪم پلازما رويي
پي وي ڊي سسٽم ۾، ڪنٽرول ٿيل گئس جو تعارف صاف ويڪيوم پس منظر تي ٿئي ٿو، جنهن جي اجازت ڏئي ٿي:

پلازما جي کثافت جو صحيح ڪنٽرول

ورجائي سگهڻ واري خارج ٿيڻ جون حالتون

قابل اعتماد عمل ونڊوز

هن سطح تي، ڪوٽنگ جي استحڪام تجرباتي جي بدران ڪنٽرول لائق ٿي ويندي آهي، جيڪا ڊگهي مدت، ورجائي سگهڻ واري پيداوار کي فعال بڻائي ٿي.

5. الٽرا هاءِ ويڪيوم ۽ ترقي يافته ايپليڪيشنن ۾ ان جو ڪردار

ڪجهه اعليٰ درجي جي ايپليڪيشنن لاءِ - جهڙوڪ آپٽيڪل ملٽي ليئرز، پريسيشن فنڪشنل ڪوٽنگز، ۽ جديد اليڪٽرانڪس - الٽرا هاءِ ويڪيوم حالتون متغير ذريعن کي وڌيڪ گهٽائي ڇڏينديون آهن.

جڏهن ته معياري صنعتي پيداوار لاءِ هميشه گهربل نه آهي، الٽرا هاءِ ويڪيوم:

انٽرفيشل آلودگي کي گھٽائي ٿو

فلم انٽرفيس جي تيزيءَ کي وڌائي ٿو

ڊگهي مدت جي اعتبار ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو

الٽرا هاءِ ويڪيوم جي قيمت رفتار ۾ نه، پر عمل جي درستگي ۽ اڳڪٿي ۾ آهي.

6. ويڪيوم استحڪام بمقابله مطلق ويڪيوم سطح

عملي پيداوار ۾، ويڪيوم استحڪام مطلق ويڪيوم سطح جيتري اهم آهي.

هڪ اهڙو نظام جيڪو اعليٰ خلا تائين پهچڻ جي قابل هجي، ان جو شڪار ٿي سگهي ٿو:

پمپنگ جي عدم استحڪام؛ چيمبر جي مواد مان گيس نڪرڻ؛ حرارتي دٻاءُ جي ڪري ٿيندڙ اتار چڙهاؤ؛

اهي عنصر هيٺ ڏنل سبب بڻجن ٿا: پلازما جي وهڪري؛ جمع جي شرح ۾ اتار چڙهاؤ؛ فلم جي ملڪيت ۾ عدم مطابقت

تنهن ڪري، ڪوٽنگ جي استحڪام هڪ سٺي نموني سان ٺهيل ويڪيوم سسٽم تي منحصر آهي، جنهن ۾ شامل آهن: مناسب پمپ ترتيب؛ مؤثر چيمبر ڪنڊيشننگ؛ ڪنٽرول ٿيل عمل جي ترتيب

7. نتيجو: ويڪيوم ليول ڪوٽنگ جي استحڪام جي مٿئين حد کي بيان ڪري ٿو

ويڪيوم ڪوٽنگ ۾، عمل جي استحڪام آخرڪار ويڪيوم حالتن جي ڪري محدود هوندي آهي.

وڌيڪ ويڪيوم ليول: بي قابو متغيرن کي گھٽايو؛ مستحڪم عمل ونڊوز کي وڌايو؛ ٻيهر پيدا ٿيندڙ، اعليٰ معيار جي ڪوٽنگن کي فعال ڪريو.

ٺاهيندڙن لاءِ جيڪي اعليٰ پيداوار، ڊگهي مدت جي مستقل مزاجي، ۽ اسڪيلبل پيداوار جو مقصد رکن ٿا، ويڪيوم ليول کي صرف هڪ سسٽم جي وضاحت نه پر هڪ بنيادي انجنيئرنگ پيرا ميٽر طور سمجهيو وڃي.

هڪ مستحڪم ويڪيوم ماحول ڪو آپشن ناهي - اهو قابل اعتماد ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جو بنياد آهي.

- هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم