Di pêvajoyên pêçandina vakûmê de, asta vakûmê ne tenê rewşek paşîn e, lê parametreyek bingehîn e ku rasterast aramiya pêvajoyê, kalîteya fîlimê û dubarekirina hilberînê diyar dike.
Insîstemên pêçandina PVD û buharkirinê yên di asta pîşesaziyê de,şert û mercên valahiyê yên nebaş an nearam pir caran dibin sedema bingehîn a kêmasiyên pêçanê, guherîna berdêlê, û pirsgirêkên pêbaweriya demdirêj.
Ev gotar bandora rastîn a asta serîlêdanê ya rêjeyên valahiyê yên cûda li ser îstîqrara pêçanê ji perspektîfa endezyariya amûr û pêvajoyê ve analîz dike.
1. Asta Valahîyê wekî Bingeha Depozîsyona Fîlma Tenik a Sabît
Di pêçandina valahiyê de, jîngeha valahiyê bi giranî kontrol dike:
Pêkhateya gaza mayî; Rêya azad a navînî ya perçeyên buharbûyî an jî yên belavbûyî; Sabîtîya plazmayê; Gemarbûna rûberê di dema mezinbûna fîlmê de
Her ku asta valahiyê kêm dibe (zext zêde dibe), îhtîmala pevçûnên qonaxa gazê bi tundî zêde dibe, ku rasterast bandorê li dendika fîlmê, yekrengî û zeliqandinê dike.
Ji ber vê yekê, asta valahiyê ne parametreyek îzole ye - ew şert û mercên sînorê fîzîkî yên tevahiya pêvajoya danînê diyar dike.
2. Rêzeya Valahiya Kêm: Bêîstîqrarî li Çavkaniyê
Di rêjeya valahiya nizm de (bi gelemperî >10⁻² mbar), pêvajoya pêçandinê bi xetereyên bêîstîqrariya xwerû re rû bi rû ye:
Rêya azad a navînî ya kurt a cureyên pêçandinê
Atomên buharbûyî an jî perçeyên belavbûyî gelek caran bi molekulên gaza mayî re li hev dikevin, ku ev dibe sedema:
Veguhestina rêwerî kêmkirî
Karîgeriya danîna kêmtir
Kontrola qalindahiya nebaş
Têkelbûna qirêjiya bilind
Buxara avê, oksîjen û hîdrokarbon çalak dimînin, di encamê de ev tişt çêdibin:
Fîlmên oksîdkirî an qirêj
Taybetmendiyên elektrîkî, optîkî, an mekanîkî yên xirabbûyî
Şert û mercên plazmayê yên nearam (ji bo pêvajoyên PVD)
Zêdebûna belavbûna gazê densiteya plazmayê û yekrengiyê têk dide, û dibe sedema dijwarbûna parastina tevgera dakêşana domdar.
Di vê rêjeya valahiyê de, encamên pêçandinê ji guherînên piçûk re pir hesas in, ku dubarekirina pêvajoyê pir dijwar dike.
3. Rêzeya Valahiya Navîn: Gengaziya Pêvajoya Bingehîn, Aramiya Sînorkirî
Rêzeya valahiya navîn (bi qasî 10⁻³ heta 10⁻⁴ mbar) pir caran wekî sînorê herî kêm ji bo boyaxkirina valahiya pîşesaziyê tê hesibandin.
Di vê astê de:
Veguhestina perçeyan rêwertir dibe
Pêvekirin û parastina plazmayê gengaz e
Avakirina fîlima bingehîn gengaz e
Lêbelê, ji perspektîfa hilberînê ve, aramiya pêvajoyê bi sînor dimîne:
Gazên mayî hîn jî bi girîngî bandorê li ser pêkhateya fîlmê dikin
Taybetmendiyên pêçandinê guherînek berbiçav di navbera koman de nîşan didin
Demên hilberîna dirêj meyldarê guhertina gav bi gav in
Ev rêjeya valahiyê dibe ku ji bo pêçanên xemilandî an serîlêdanên kêm-daxwaz qebûl be, lê ji bo hewcedariyên performansa bilind an jî domdariya bilind têrê nake.
4. Rêzeya Valahiya Bilind: Çalakkirina Aramiya Pêvajoyê ya Rastîn
Dema ku zexta bingehîn digihîje rêza valahiya bilind (bi gelemperî ≤10⁻⁵ mbar), aramiya pêçanê bi awayekî bingehîn baştir dibe.
Avantajên sereke ev in:
Riya navînî ya azad a dirêjkirî
Perçeyên pêçandinê bi awayekî balîstîk ji çavkaniyê ber bi substratê ve diçin, û misoger dikin:
Rêjeyên pêşbînîkirî yên depokirinê
Yekrengiya qalindahiyê ya çêtirkirî
Belavkirina goşeyî ya stabîl
Di dema mezinbûna fîlmê de qirêjiya herî kêm
Kêmbûna asta oksîjen û şilbûnê dibe sedema:
Fîlmên qalind û paqijiya bilind
Girêdana navrûyî ya bihêz
Performansa mekanîkî û fonksiyonel a baştirkirî
Reftara plazmayê ya stabîl
Di sîstemên PVD de, danasîna gaza kontrolkirî li ser paşxaneyek valahiyek paqij çêdibe, ku dihêle:
Kontrola dendika plazmayê ya rast
Mercên dubarekirina dakêşanê
Pencereyên pêvajoyê yên pêbawer
Di vê astê de, aramiya pêçanê ji empîrîk bêtir kontrolkirî dibe, ku hilberîna demdirêj û dubarekirî gengaz dike.
5. Valahiya Ultra-Bilind û Rola Wê di Serlêdanên Pêşketî de
Ji bo hin sepanên asta bilind - wekî pirqatên optîkî, pêçanên fonksiyonel ên rastîn, û elektronîkên pêşkeftî - şert û mercên valahiya pir-bilind çavkaniyên guherbariyê bêtir kêm dikin.
Her çend her gav ji bo hilberîna pîşesaziyê ya standard ne hewce be jî, valahiyek pir bilind:
Gemiya navrûyî kêm dike
Zêdekirina zelaliya navrûya fîlmê
Pêbawerî û domdariya demdirêj baştir dike
Nirxa valahiya ultra-bilind ne di leza de ye, lê di rastbûna pêvajoyê û pêşbînîkirinê de ye.
6. Aramiya Valahiyê li hember Asta Valahiyê ya Mutleq
Di çêkirina pratîkî de, îstîqrara valahiyê bi qasî asta valahiya mutleq girîng e.
Tewra pergalek ku dikare bigihîje valahiyek bilind jî dikare ji van sedeman cefayê bikişîne:
Nearamiya pompkirinê; Derketina gazê ji materyalên odeyê; Guhertinên zextê yên ji ber germê;
Ev faktor dibin sedema: Lerizîna plazmayê; Guherîna rêjeya depozîsyonê; Nelihevhatina taybetmendiyên fîlmê
Ji ber vê yekê, aramiya pêçanê bi pergaleke valahiyê ya baş-dîzaynkirî ve girêdayî ye, di nav de: Veavakirina pompê ya guncaw; Kondîsyonkirina odeyê ya bi bandor; Rêzkirina pêvajoyê ya kontrolkirî
7. Encam: Asta Valahîyê Sînorê Jorîn ê Aramiya Rûpûşê Diyar Dike
Di pêçandina valahiyê de, aramiya pêvajoyê di dawiyê de ji hêla şert û mercên valahiyê ve tê sînordarkirin.
Asta valahiya bilindtir: Guherbarên bêkontrol kêm bikin; Pencereyên pêvajoya stabîl berfireh bikin; Pêçanên bi kalîte û dubarekirî çalak bikin.
Ji bo hilberînerên ku armanca wan berhemdariya bilind, domdariya demdirêj, û hilberîna pîvanbar e, divê asta valahiyê wekî parametreyek endezyariyê ya bingehîn were hesibandin, ne tenê wekî taybetmendiya sîstemê.
Jîngeheke valahiyê ya stabîl ne vebijarkek e - ew bingeha teknolojiya pêçandina valahiyê ya pêbawer e.
- Ev gotar ji hêlaalavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: Çile-08-2026