Mumaitiro ekuputira vacuum, mwero wevacuum hausi mamiriro ekumashure chete, asi chinhu chakakosha chinosarudza zvakananga kugadzikana kwemaitiro, mhando yefirimu, uye kudzokorora kwekugadzirwa.
Inmasisitimu ekuputira ePVD nemapurasitiki emvura anokwira mumaindasitiri,Mamiriro evacuum asina kukwana kana asina kugadzikana anowanzova chikonzero chikuru chekukanganisa kwekuputira, kushanduka-shanduka kwemhedzisiro, uye matambudziko ekuvimbika kwenguva refu.
Chinyorwa chino chinoongorora kukanganiswa chaiko kwemhando dzakasiyana dzevacuum pakugadzirisa kugadzikana kwepakufukidza kubva pamaonero emidziyo nemaitiro ekugadzira.
1. Nhanho yeVacuum sehwaro hweStable Thin-Film Deposition
Mukuvhara vacuum, nzvimbo yekuvhara vacuum inonyanya kudzora:
Kuumbwa kwegasi rasara; Avhareji yenzira yakasununguka yezvikamu zvakapwanyika kana zvakasvipa; Kugadzikana kweplasma; Kusvibiswa kwepamusoro panguva yekukura kwefirimu
Sezvo mwero wevacuum uchidzikira (kumanikidzwa kunowedzera), mukana wekusangana kwegasi-phase unokwira zvakanyanya, zvichikanganisa zvakananga huwandu hwefirimu, kufanana, uye kunamira.
Saka, vacuum level haisi parameter yakazvimirira—inotsanangura mamiriro emuganho chaiwo ehurongwa hwese hwekuisa mvura.
2. Nzvimbo Yakaderera Yekubuda Mumhepo: Kusagadzikana Panobva Mvura
Munzvimbo ine vacuum yakaderera (kazhinji >10⁻² mbar), maitiro ekuputira anotarisana nenjodzi dzisina kugadzikana:
Nzira pfupi yakasununguka yemhando dzekuputira
Maatomu anobuda mumhepo kana kuti zvidimbu zvakapwanyika zvinosangana nekusangana kakawanda nemamorekuru egasi akasara, zvichikonzera:
Kutakurwa kwakaderera kwenzira
Kunyatsoshanda kwekudzikisa kwepasi
Kudzora ukobvu husina kunaka
Kusanganiswa kwekusvibiswa kwakanyanya
Utsi hwemvura, okisijeni, uye mahydrocarbon zvinoramba zvichishanda, zvichikonzera:
Mafirimu ane oxidized kana kuti akasvibiswa
Hunhu hwakaderera hwemagetsi, hwemaziso, kana hwemakanika
Mamiriro eplasma asina kugadzikana (emaitiro ePVD)
Kuwedzera kwekupararira kwemagasi kunokanganisa kuwanda kwemaplasma uye kufanana kwawo, zvichiita kuti zviome kuramba uchiburitsa magasi nguva dzose.
Muchikamu ichi che vacuum, mhedzisiro yekuputira inonzwa zvakanyanya kana paine kuchinja kudiki, zvichiita kuti kudzokorora kwemaitiro kuve kwakaoma zvikuru.
3. Nzvimbo yeVacuum yepakati: Kugona Kwekutanga Kwekuita, Kugadzikana Kushoma
Nzvimbo yepakati nepakati yekubvisa vacuum (inenge 10⁻³ kusvika 10⁻⁴ mbar) inowanzoonekwa senzvimbo yakaderera yekuputira vacuum mumaindasitiri.
Padanho iri:
Kutakurwa kwezvikamu kunova kwakanangana zvakanyanya
Kupisa nekuchengetedza plasma zvinogoneka
Kugadzirwa kwemafirimu ekutanga kunogoneka
Zvisinei, kubva pakuona kwekugadzira, kugadzikana kwemaitiro kunoramba kuripo:
Magasi akasara achiri kukanganisa zvakanyanya kuumbwa kwemafirimu
Hunhu hwekuputira hunoratidza musiyano unooneka pakati pezvikamu zviviri
Kugadzirwa kwenguva refu kunogona kukanganiswa zvishoma nezvishoma
Iyi vacuum range inogona kugamuchirwa pakushongedza kana kushandiswa kusingadiwi zvakanyanya, asi haina kukwana pazvinodiwa zvekushanda kwepamusoro kana kuti zvinoenderana zvakanyanya.
4. High Vacuum Range: Kugonesa Kugadzikana Kwechokwadi Kwemaitiro
Kana kumanikidzwa kwepasi kwasvika padanho repamusoro re vacuum (kazhinji ≤10⁻⁵ mbar), kugadzikana kwepakufukidza kunovandudzika zvakanyanya.
Zvakanakira zvikuru zvinosanganisira:
Nzira yakasununguka yakawedzerwa
Zvidimbu zvekuputira zvinofamba-famba kubva kunzvimbo kuenda kune imwe, zvichiita kuti:
Mitengo yekuisa mari inofanotaurwa
Kunatsiridza ukobvu hwakafanana
Kugoverwa kwakagadzikana kwekona
Kusvibiswa kushoma panguva yekukura kwefirimu
Kuderera kwemazinga eokisijeni nehunyoro zvinoguma ne:
Mafirimu akakora, akachena zvakanyanya
Kubatana kwakasimba kwehukama
Kuvandudzwa kwekushanda kwemakanika uye mashandiro
Maitiro eplasma akagadzikana
Muma PVD systems, kuisirwa kwegasi rinodzorwa kunoitika panzvimbo yakachena ye vacuum, zvichibvumira:
Kudzora huwandu hweplasma nemazvo
Mamiriro ekubuda anodzokororwa
Mahwindo ekugadzirisa akavimbika
Padanho iri, kugadzikana kwepakufukidza kunova kunodzoreka pane kuva kwekufungidzira, zvichiita kuti kugadzirwa kwenguva refu, kudzokororwe.
5. Kupisa kwakanyanya uye basa rayo mukushandisa kwepamusoro-soro
Kune mamwe mashandisirwo epamusoro-soro—akadai sema optical multilayer, ma coatings anoshanda nemazvo, uye ma elekthroniki epamusoro—mamiriro e vacuum akanyanya kukwira anoderedzawo manyuko akasiyana-siyana.
Kunyange zvazvo zvisingadiwi nguva dzose pakugadzirwa kwemaindasitiri, vacuum yakawanda kwazvo:
Inoderedza kusvibiswa kwemukati mehuso
Inovandudza kupinza kweinterface yefirimu
Inovandudza kuvimbika kwenguva refu uye kugara kwenguva refu
Kukosha kwe vacuum yakakwira zvakanyanya hakusi mukumhanya, asi mukunyatsorongeka kwemaitiro uye kufanotaura.
6. Kugadzikana kweVacuum vs. Chikamu Chevacuum Chakazara
Mukugadzira zvinhu, kugadzikana kwevacuum kwakakosha semazinga evacuum akazara.
Kunyangwe sisitimu inokwanisa kusvika pakakwirira inogona kutambura ne:
Kusagadzikana kwekupomba; Kubuda kwemhepo kubva muzvinhu zvemukamuri; Kuchinja-chinja kwesimba remhepo kunokonzerwa nekupisa;
Zvinhu izvi zvinotungamira ku: Kudonha kweplasma; Kuchinja-chinja kwehuwandu hwema "deposition rate"; Kusaenderana kwechimiro chefirimu
Saka, kugadzikana kwepakufukidza kunoenderana nehurongwa hwe vacuum hwakagadzirwa zvakanaka, kusanganisira: Kugadziriswa kwepombi kwakakodzera; Kugadziriswa kwekamuri kunoshanda; Kurongeka kwemaitiro akarongwa
7. Mhedziso: Vacuum Level Inotsanangura Muganho Wepamusoro weKugadzikana kweCoating
Mukuputira vacuum, kugadzikana kwemaitiro kunodzorwa nemamiriro evacuum.
Mazinga epamusoro evacuum: Deredza zvinhu zvisingadzoreki; Wedzera mahwindo ekugadzirisa akagadzikana; Shandisa machira anogona kudzokororwa, emhando yepamusoro
Kune vagadziri vane chinangwa chekugadzira zvinhu zvakawanda, kugara kwenguva refu, uye kugadzirwa kunogona kuwedzerwa, vacuum level inofanira kutorwa senzira huru yekugadzira zvinhu, kwete kungotarisa system specification chete.
Nzvimbo yakagadzikana yekuputira vacuum haisi sarudzo—ndiyo hwaro hwetekinoroji yekudzivirira vacuum yakavimbika.
–Chinyorwa ichi chakabudiswa namidziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Ndira-08-2026