ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର କେବଳ ଏକ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଅବସ୍ଥା ନୁହେଁ, ବରଂ ଏକ ମୌଳିକ ପାରାମିଟର ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା, ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ ସିଧାସଳଖ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ।
Inଶିଳ୍ପ-ସ୍ତରର PVD ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ,ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ କିମ୍ବା ଅସ୍ଥିର ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଅବସ୍ଥା ପ୍ରାୟତଃ ଆବରଣ ତ୍ରୁଟି, ଉତ୍ପାଦନରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସମସ୍ୟାର ମୂଳ କାରଣ ହୋଇଯାଏ।
ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧଟି ଉପକରଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ଦୃଷ୍ଟିକୋଣରୁ ଆବରଣ ସ୍ଥିରତା ଉପରେ ବିଭିନ୍ନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସରର ବାସ୍ତବ, ପ୍ରୟୋଗ-ସ୍ତରୀୟ ପ୍ରଭାବକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରେ।
1. ସ୍ଥିର ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ଜମାର ମୂଳଦୁଆ ଭାବରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ମୁଖ୍ୟତଃ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରେ:
ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ ଗଠନ; ବାଷ୍ପୀଭୂତ କିମ୍ବା ଛିଟିକି ପଡ଼ିଥିବା କଣିକାର ସାଧାରଣ ମୁକ୍ତ ପଥ; ପ୍ଲାଜମା ସ୍ଥିରତା; ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ସମୟରେ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ
ଯେହେତୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ହ୍ରାସ ପାଏ (ଚାପ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ), ଗ୍ୟାସ୍-ଫେଜ୍ ଧକ୍କାର ସମ୍ଭାବନା ତୀବ୍ର ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଫିଲ୍ମ ଘନତା, ସମାନତା ଏବଂ ଆବଦ୍ଧତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ତେଣୁ, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସ୍ତର ଏକ ପୃଥକ ପାରାମିଟର ନୁହେଁ - ଏହା ସମଗ୍ର ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଭୌତିକ ସୀମା ଅବସ୍ଥାକୁ ପରିଭାଷିତ କରେ।
୨. ନିମ୍ନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର: ଉତ୍ସରେ ଅସ୍ଥିରତା
ନିମ୍ନ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ପରିସର (ସାଧାରଣତଃ >10⁻² mbar) ରେ, ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଅସ୍ଥିରତା ବିପଦର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ:
ଆବରଣ ପ୍ରଜାତିଗୁଡ଼ିକର ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ମଧ୍ୟମ ମୁକ୍ତ ପଥ
ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁ କିମ୍ବା ଛିଟିକି ପଡ଼ିଥିବା କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ ଅଣୁ ସହିତ ବାରମ୍ବାର ଧକ୍କା ପାଆନ୍ତି, ଯାହା ଫଳରେ:
ହ୍ରାସିତ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶକ ପରିବହନ
ନିମ୍ନ ଜମା ଦକ୍ଷତା
ଦୁର୍ବଳ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ଉଚ୍ଚ ଅଶୁଦ୍ଧତା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତିକରଣ
ଜଳୀୟବାଷ୍ପ, ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନ ସକ୍ରିୟ ରହିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ:
ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ଡ କିମ୍ବା ଦୂଷିତ ଫିଲ୍ମ
ଅବନତ ବୈଦ୍ୟୁତିକ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍, କିମ୍ବା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଧର୍ମ
ଅସ୍ଥିର ପ୍ଲାଜମା ଅବସ୍ଥା (PVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ)
ବର୍ଦ୍ଧିତ ଗ୍ୟାସ ବିଚ୍ଛୁରନ ପ୍ଲାଜମା ଘନତ୍ୱ ଏବଂ ସମାନତାକୁ ବାଧା ଦିଏ, ଯାହା ଫଳରେ ସ୍ଥିର ନିର୍ଗମନ ଆଚରଣ ବଜାୟ ରଖିବା କଷ୍ଟକର ହୋଇପଡ଼େ।
ଏହି ଶୂନ୍ୟ ପରିସରରେ, ଆବରଣ ଫଳାଫଳଗୁଡ଼ିକ ସାମାନ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତି ହାସଲ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ।
3. ମଧ୍ୟମ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର: ମୌଳିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମ୍ଭାବ୍ୟତା, ସୀମିତ ସ୍ଥିରତା
ମଧ୍ୟମ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର (ପ୍ରାୟ 10⁻³ ରୁ 10⁻⁴ mbar) କୁ ପ୍ରାୟତଃ ଶିଳ୍ପ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପାଇଁ ସର୍ବନିମ୍ନ ସୀମା ଭାବରେ ବିବେଚନା କରାଯାଏ।
ଏହି ସ୍ତରରେ:
କଣିକା ପରିବହନ ଅଧିକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶକ ହୁଏ
ପ୍ଲାଜମା ଇଗ୍ନିସନ୍ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ହାସଲ କରାଯାଇପାରିବ
ମୌଳିକ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ସମ୍ଭବ
ତଥାପି, ଉତ୍ପାଦନ ଦୃଷ୍ଟିକୋଣରୁ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ସୀମିତ ରହିଛି:
ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଏବେ ବି ଫିଲ୍ମ ରଚନାକୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ଆବରଣ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ବ୍ୟାଚ୍-ଟୁ-ବ୍ୟାଚ୍ ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟଯୋଗ୍ୟ କରେ
ଦୀର୍ଘ ଉତ୍ପାଦନ ଧାରା ଧୀରେ ଧୀରେ ହ୍ରାସ ପାଇବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ।
ଏହି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ କିମ୍ବା କମ୍ ଚାହିଦା ଥିବା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଗ୍ରହଣୀୟ ହୋଇପାରେ, କିନ୍ତୁ ଏହା ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ-ସଂଗତିର ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ନୁହେଁ।
୪. ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର: ପ୍ରକୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତାକୁ ସକ୍ଷମ କରିବା
ଯେତେବେଳେ ମୂଳ ଚାପ ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସର (ସାଧାରଣତଃ ≤10⁻⁵ mbar) ରେ ପହଞ୍ଚିଯାଏ, ସେତେବେଳେ ଆବରଣ ସ୍ଥିରତା ମୌଳିକ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ ହୁଏ।
ପ୍ରମୁଖ ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ରହିଛି:
ବିସ୍ତାରିତ ମଧ୍ୟମ ମୁକ୍ତ ପଥ
ଆବରଣ କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ସରୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବାଲିଷ୍ଟିକ୍ ଭାବରେ ଯାତ୍ରା କରନ୍ତି, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତି:
ପୂର୍ବାନୁମାନଯୋଗ୍ୟ ଜମା ହାର
ଉନ୍ନତ ଘନତା ଏକରୂପତା
ସ୍ଥିର କୋଣୀୟ ବଣ୍ଟନ
ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ସମୟରେ ସର୍ବନିମ୍ନ ପ୍ରଦୂଷଣ
ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ସ୍ତର ହ୍ରାସ ଫଳରେ:
ଘନ, ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ବିଶିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ
ଦୃଢ଼ ଆନ୍ତଃମୁଖ ବନ୍ଧନ
ଉନ୍ନତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ସ୍ଥିର ପ୍ଲାଜମା ଆଚରଣ
PVD ସିଷ୍ଟମରେ, ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ ଏକ ସଫା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପୃଷ୍ଠଭୂମିରେ ଘଟେ, ଯାହା ଅନୁମତି ଦିଏ:
ସଠିକ୍ ପ୍ଲାଜମା ଘନତ୍ୱ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ ଡିସଚାର୍ଜ ଅବସ୍ଥା
ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱିଣ୍ଡୋଜ୍
ଏହି ସ୍ତରରେ, ଆବରଣ ସ୍ଥିରତା ଅନୁଭବମୂଳକ ନୁହେଁ ବରଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟ ହୋଇଯାଏ, ଯାହା ଦୀର୍ଘକାଳୀନ, ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
୫. ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ପ୍ରୟୋଗରେ ଏହାର ଭୂମିକା
କିଛି ଉଚ୍ଚ-ସ୍ତରୀୟ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ - ଯେପରିକି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମଲ୍ଟିଲେୟର୍, ପ୍ରିସିସନ୍ ଫଙ୍କସନ୍ ଆବରଣ, ଏବଂ ଉନ୍ନତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ - ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥା ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତା ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଆହୁରି ହ୍ରାସ କରେ।
ଯଦିଓ ମାନକ ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସର୍ବଦା ଆବଶ୍ୟକ ନୁହେଁ, ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ:
ମୁହଁର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରେ
ଫିଲ୍ମ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ତୀକ୍ଷ୍ଣତା ବୃଦ୍ଧି କରେ
ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ
ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଭେକ୍ୟୁମର ମୂଲ୍ୟ ଗତିରେ ନୁହେଁ, ବରଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ ପୂର୍ବାନୁମାନଯୋଗ୍ୟତାରେ ରହିଛି।
୬. ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ଥିରତା ବନାମ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର
ବ୍ୟବହାରିକ ଉତ୍ପାଦନରେ, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସ୍ଥିରତା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସ୍ତର ପରି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ ପହଞ୍ଚିପାରୁଥିବା ଏକ ସିଷ୍ଟମ ମଧ୍ୟ ନିମ୍ନଲିଖିତ ସମସ୍ୟାରୁ ପୀଡିତ ହୋଇପାରେ:
ପମ୍ପିଂ ଅସ୍ଥିରତା; ଚାମ୍ବର ସାମଗ୍ରୀରୁ ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗତ ହେବା; ତାପ-ପ୍ରେରିତ ଚାପର ଉତ୍ଥାନ-ପତନ;
ଏହି କାରଣଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ଵାରା: ପ୍ଲାଜମା ଡ୍ରିଫ୍ଟ; ଜମା ହାରରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ; ଫିଲ୍ମ ଗୁଣଧର୍ମ ଅସଙ୍ଗତି
ତେଣୁ, ଆବରଣ ସ୍ଥିରତା ଏକ ଭଲ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯେଉଁଥିରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:ଉପଯୁକ୍ତ ପମ୍ପ ବିନ୍ୟାସ; ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଚାମ୍ବର କଣ୍ଡିସନିଂ; ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ରମ
୭. ନିଷ୍କର୍ଷ: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ଆବରଣ ସ୍ଥିରତାର ଉପର ସୀମାକୁ ପରିଭାଷିତ କରେ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣରେ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଶେଷରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରତିବନ୍ଧିତ ହୋଇଥାଏ।
ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟ ସ୍ତର: ଅନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଚଳକଗୁଡ଼ିକୁ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ; ସ୍ଥିର ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ବିସ୍ତାର କରନ୍ତୁ; ପୁନଃଉତ୍ପାଦନଯୋଗ୍ୟ, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରନ୍ତୁ
ଉଚ୍ଚ ଅମଳ, ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସ୍କେଲେବଲ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଲକ୍ଷ୍ୟ ରଖୁଥିବା ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ପାଇଁ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରକୁ କେବଳ ଏକ ସିଷ୍ଟମ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ନୁହେଁ, ବରଂ ଏକ ମୁଖ୍ୟ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ପାରାମିଟର ଭାବରେ ବିବେଚନା କରାଯିବା ଉଚିତ।
ଏକ ସ୍ଥିର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ଏକ ବିକଳ୍ପ ନୁହେଁ - ଏହା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ମୂଳଦୁଆ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲାଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୦୮-୨୦୨୬