ۋاكۇئۇم دەرىجىسىنىڭ قاپلاش جەريانىنىڭ مۇقىملىقىغا بولغان ئەمەلىي تەسىرى

ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانلىرىدا، ۋاكۇئۇم دەرىجىسى پەقەت ئارقا كۆرۈنۈش شەرتىلا ئەمەس، بەلكى جەرياننىڭ مۇقىملىقى، پىلاستىنكا سۈپىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىشنىڭ تەكرارلىنىشىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدىغان ئاساسىي پارامېتىر.

Inسانائەت كۆلىمىدىكى PVD ۋە پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش سىستېمىسى,يېتەرلىك ئەمەس ياكى مۇقىمسىز ۋاكۇئۇم شارائىتى كۆپىنچە قاپلاش نۇقسانلىرى، مەھسۇلات مىقدارىنىڭ ئۆزگىرىشى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك مەسىلىلىرىنىڭ ئاساسلىق سەۋەبىگە ئايلىنىدۇ.

بۇ ماقالە ئۈسكۈنە ۋە جەريان قۇرۇلۇشى نۇقتىسىدىن، ھەر خىل ۋاكۇئۇم دائىرىسىنىڭ قاپلاش مۇقىملىقىغا بولغان ئەمەلىي قوللىنىشچانلىق دەرىجىسىدىكى تەسىرىنى تەھلىل قىلىدۇ.

1. ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى مۇقىم نېپىز پەردە چۆكمىسىنىڭ ئاساسى سۈپىتىدە

ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدا، ۋاكۇئۇم مۇھىتى ئاساسلىقى تۆۋەندىكىلەرنى كونترول قىلىدۇ:

قالدۇق گاز تەركىبى؛ پارغا ئايلانغان ياكى چېچىلىپ كەتكەن زەررىچىلەرنىڭ ئوتتۇرىچە ئەركىن يولى؛ پلازما مۇقىملىقى؛ پەردە ئۆسۈش جەريانىدا يۈزەكى بۇلغىنىش

ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى تۆۋەنلىگەندە (بېسىم ئاشقاندا)، گاز فازىسى سوقۇلۇش ئېھتىماللىقى زور دەرىجىدە ئېشىپ، پىلاستىنكىنىڭ زىچلىقى، بىردەكلىكى ۋە يېپىشىشچانلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
شۇڭا، ۋاكۇئۇم دەرىجىسى ئايرىم بىر پارامېتىر ئەمەس، بەلكى پۈتۈن چۆكمە جەريانىنىڭ فىزىكىلىق چېگرا شەرتلىرىنى بەلگىلەيدۇ.

2. تۆۋەن ۋاكۇئۇم دائىرىسى: مەنبەدىكى مۇقىمسىزلىق

تۆۋەن ۋاكۇئۇم دائىرىسىدە (ئادەتتە >10⁻² mbar)، قاپلاش جەريانى تەبىئىي مۇقىمسىزلىق خەۋپىگە دۇچ كېلىدۇ:

قاپلاش تۈرلىرىنىڭ قىسقا ئوتتۇرىچە ئەركىن يولى
پارغا ئايلانغان ئاتوملار ياكى چېچىلىپ كەتكەن زەررىچىلەر قالدۇق گاز مولېكۇلالىرى بىلەن دائىم سوقۇلۇشۇپ، تۆۋەندىكىدەك ئاقىۋەتلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ:

يۆنىلىشلىك توشۇشنىڭ ئازايتىلىشى

تۆۋەنرەك چۆكمە ئۈنۈمى

قېلىنلىقنى كونترول قىلىش ناچار

يۇقىرى ئارىلاشما قوشۇلغان
سۇ پارى، ئوكسىگېن ۋە كاربون سۇ بىرىكمىلىرى ئاكتىپ ھالەتتە تۇرىدۇ، نەتىجىدە تۆۋەندىكىدەك نەتىجىلەر كۆرۈلىدۇ:

ئوكسىدلانغان ياكى بۇلغانغان پىلاستىنكىلار

ئېلېكتر، ئوپتىكىلىق ياكى مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرنىڭ بۇزۇلۇشى

مۇقىمسىز پلازما شارائىتى (PVD جەريانلىرى ئۈچۈن)
گازنىڭ تارقىلىشىنىڭ كۆپىيىشى پلازما زىچلىقى ۋە بىردەكلىكىنى بۇزىدۇ، بۇنىڭ بىلەن مۇقىم قويۇپ بېرىش ھالىتىنى ساقلاش قىيىنلىشىدۇ.

بۇ ۋاكۇئۇم دائىرىسىدە، قاپلاش نەتىجىسى كىچىك تەۋرىنىشلەرگە ئىنتايىن سەزگۈر بولۇپ، جەرياننىڭ تەكرارلىنىشىنى ئىنتايىن قىيىنلاشتۇرىدۇ.

3. ئوتتۇرا ۋاكۇئۇم دائىرىسى: ئاساسىي جەرياننىڭ ئەمەلىيلىكى، چەكلىك مۇقىملىق

ئوتتۇراھال ۋاكۇئۇم دائىرىسى (تەخمىنەن 10⁻³ دىن 10⁻⁴ mbar غىچە) سانائەت ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈچۈن ئەڭ تۆۋەن چەك دەپ قارىلىدۇ.

بۇ دەرىجىدە:

زەررىچە توشۇش يۆنىلىشى تېخىمۇ يۇقىرى بولىدۇ

پلازما ئوت ئالدۇرۇش ۋە ئاسراشنى ئەمەلگە ئاشۇرغىلى بولىدۇ

ئاساسىي فىلىم شەكىللەندۈرۈش مۇمكىن

قانداقلا بولمىسۇن، ئىشلەپچىقىرىش نۇقتىسىدىن قارىغاندا، جەرياننىڭ مۇقىملىقى يەنىلا چەكلىمىلىك بولۇپ قالىدۇ:

قالدۇق گازلار يەنىلا پىلاستىنكا تەركىبىگە زور تەسىر كۆرسىتىدۇ

قاپلاش خۇسۇسىيىتى تۈركۈم بويىچە كۆرۈنەرلىك پەرقنى كۆرسىتىدۇ

ئۇزۇن ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرى ئاستا-ئاستا ئۆزگىرىشكە مايىل

بۇ ۋاكۇئۇم دائىرىسى بېزەكلىك سىرلاش ياكى تۆۋەن تەلەپ قىلىنىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىشى مۇمكىن، ئەمما يۇقىرى ئۈنۈملۈك ياكى يۇقىرى تۇراقلىقلىق تەلىپى ئۈچۈن يېتەرلىك ئەمەس.

4. يۇقىرى ۋاكۇئۇم دائىرىسى: ھەقىقىي جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى ئىشقا ئاشۇرۇش

ئاساسىي بېسىم يۇقىرى ۋاكۇئۇم دائىرىسىگە (ئادەتتە ≤10⁻⁵ mbar) يەتكەندە، قاپلاش مۇقىملىقى ئاساسەن ياخشىلىنىدۇ.

ئاساسلىق ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

كېڭەيتىلگەن ئوتتۇرىچە ئەركىن يول
قاپلاش زەررىچىلىرى مەنبەدىن ئاساسىي قاتلامغىچە باللىستىك يول بىلەن يۆتكىلىپ، تۆۋەندىكىلەرنى كاپالەتلەندۈرىدۇ:

مۆلچەرلىگىلى بولىدىغان ئامانەت قويۇش نىسبىتى

قېلىنلىقنىڭ بىردەكلىكى ياخشىلاندى

مۇقىم بۇلۇڭلۇق تەقسىملىنىش

پىلاستىنكا ئۆسۈش جەريانىدا ئەڭ ئاز بۇلغىنىش
ئوكسىگېن ۋە نەملىكنىڭ تۆۋەنلىشى تۆۋەندىكىدەك ئالامەتلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ:

قويۇق، يۇقىرى ساپلىقتىكى پىلاستىنكىلار

كۈچلۈك يۈز ئارا باغلىنىش

مېخانىكىلىق ۋە فۇنكسىيەلىك ئىقتىدار ياخشىلاندى

مۇقىم پلازما خاراكتېرى
PVD سىستېمىلىرىدا، كونترول قىلىنىدىغان گاز كىرىشى پاكىز ۋاكۇئۇم ئارقا كۆرۈنۈشىدە ئېلىپ بېرىلىدۇ، بۇ تۆۋەندىكىلەرگە يول قويىدۇ:

پلازما زىچلىقىنى ئېنىق كونترول قىلىش

تەكرارلىنىدىغان قويۇپ بېرىش شەرتلىرى

ئىشەنچلىك جەريان كۆزنەكلىرى

بۇ سەۋىيەدە، قاپلاش مۇقىملىقى ئەمەلىي ئەمەس، بەلكى كونترول قىلغىلى بولىدىغان بولۇپ، ئۇزۇن مۇددەتلىك، تەكرار ئىشلەپچىقىرىشقا شارائىت ھازىرلايدۇ.

5. ئۇلترا يۇقىرى چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ ۋە ئۇنىڭ ئىلغار قوللىنىشچان پروگراممىلاردىكى رولى

بەزى يۇقىرى دەرىجىلىك قوللىنىشچان پروگراممىلار، مەسىلەن، ئوپتىكىلىق كۆپ قەۋەتلىك، ئېنىق ئىقتىدارلىق قاپلاملار ۋە ئىلغار ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن، ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم شارائىتى ئۆزگىرىشچانلىق مەنبەلىرىنى تېخىمۇ ئازايتىدۇ.

ئادەتتىكى سانائەت ئىشلەپچىقىرىشى ئۈچۈن ھەمىشە تەلەپ قىلىنمىسىمۇ، ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم:

يۈز ئارا بۇلغىنىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ

فىلىم يۈزىنىڭ ئېنىقلىقىنى ئاشۇرىدۇ

ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك ۋە مۇقىملىقنى ياخشىلايدۇ

ئۇلترا يۇقىرى ۋاكۇئۇمنىڭ قىممىتى سۈرئەتتە ئەمەس، بەلكى جەرياننىڭ ئېنىقلىقى ۋە ئالدىن پەرەز قىلغىلى بولىدىغانلىقىدا.

6. ۋاكۇئۇم مۇقىملىقى بىلەن مۇتلەق ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىنىڭ پەرقى

ئەمەلىي ئىشلەپچىقىرىشتا، ۋاكۇئۇم مۇقىملىقى مۇتلەق ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىگە ئوخشاش مۇھىم.

ھەتتا يۇقىرى ۋاكۇئۇمغا يېتەلەيدىغان سىستېمامۇ تۆۋەندىكىدەك كېسەللىكلەرگە دۇچ كېلىشى مۇمكىن:

پومپىلاشنىڭ مۇقىمسىزلىقى؛ كامېرا ماتېرىياللىرىدىن گازنىڭ چىقىپ كېتىشى؛ ئىسسىقلىق سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان بېسىم ئۆزگىرىشى؛

بۇ ئامىللار تۆۋەندىكىلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ: پلازما يۆتكىلىشى؛ چۆكمە سۈرئىتىنىڭ ئۆزگىرىشى؛ پەردە خۇسۇسىيىتىنىڭ ماس كەلمەسلىكى

شۇڭا، قاپلاشنىڭ مۇقىملىقى ياخشى لايىھەلەنگەن ۋاكۇئۇم سىستېمىسىغا باغلىق، بۇلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: مۇۋاپىق پومپا سەپلىمىسى؛ ئۈنۈملۈك كامېرا تەڭشىشى؛ كونترول قىلىنىدىغان جەريان تەرتىپى

7. خۇلاسە: ۋاكۇئۇم دەرىجىسى قاپلاش مۇقىملىقىنىڭ يۇقىرى چېكىنى بەلگىلەيدۇ

ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدا، جەرياننىڭ مۇقىملىقى ئاخىرىدا ۋاكۇئۇم شارائىتى تەرىپىدىن چەكلىنىدۇ.

يۇقىرى ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى: كونترول قىلغىلى بولمايدىغان ئۆزگەرگۈچى مىقدارلارنى ئازايتىدۇ؛ مۇقىم جەريان كۆزنەكلىرىنى كېڭەيتىدۇ؛ قايتا ئىشلەتكىلى بولىدىغان، يۇقىرى سۈپەتلىك قاپلاشلارنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.

يۇقىرى مەھسۇلات مىقدارى، ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىق ۋە كېڭەيتكىلى بولىدىغان ئىشلەپچىقىرىشنى مەقسەت قىلغان ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈچۈن، ۋاكۇئۇم دەرىجىسى پەقەت سىستېما ئۆلچىمى ئەمەس، بەلكى يادرولۇق قۇرۇلۇش پارامېتىرى سۈپىتىدە قارىلىشى كېرەك.

مۇقىم ۋاكۇئۇم مۇھىتى تاللاش ئەمەس، ئۇ ئىشەنچلىك ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ ئاساسى.

– بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ