ຜົນກະທົບຕົວຈິງຂອງລະດັບສູນຍາກາດຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການເຄືອບ

ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ລະດັບສູນຍາກາດບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນເງື່ອນໄຂພື້ນຫລັງເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນພາລາມິເຕີພື້ນຖານທີ່ກຳນົດໂດຍກົງກ່ຽວກັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ຄຸນນະພາບຂອງຟິມ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳການຜະລິດ.

Inລະບົບການເຄືອບ PVD ແລະ ການລະເຫີຍໃນລະດັບອຸດສາຫະກຳ,ສະພາບສູນຍາກາດທີ່ບໍ່ພຽງພໍ ຫຼື ບໍ່ໝັ້ນຄົງມັກຈະກາຍເປັນສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານການເຄືອບ, ການປ່ຽນແປງຂອງຜົນຜະລິດ, ແລະບັນຫາຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ.

ບົດຄວາມນີ້ວິເຄາະຜົນກະທົບທີ່ແທ້ຈິງໃນລະດັບການນຳໃຊ້ຂອງລະດັບສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບຈາກມຸມມອງດ້ານອຸປະກອນ ແລະ ວິສະວະກຳຂະບວນການ.

1. ລະດັບສູນຍາກາດເປັນພື້ນຖານຂອງການຕົກຕະກອນຟິມບາງທີ່ໝັ້ນຄົງ

ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຄວບຄຸມຕົ້ນຕໍ:

ສ່ວນປະກອບຂອງອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອ; ເສັ້ນທາງເສລີສະເລ່ຍຂອງອະນຸພາກທີ່ລະເຫີຍ ຫຼື ກະຈາຍ; ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພລາສມາ; ການປົນເປື້ອນພື້ນຜິວໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງຟິມ

ເມື່ອລະດັບສູນຍາກາດຫຼຸດລົງ (ຄວາມກົດດັນເພີ່ມຂຶ້ນ), ຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປະທະກັນຂອງໄລຍະອາຍແກັສຈະເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ການຍຶດຕິດ.
ດັ່ງນັ້ນ, ລະດັບສູນຍາກາດຈຶ່ງບໍ່ແມ່ນພາລາມິເຕີທີ່ໂດດດ່ຽວ - ມັນກຳນົດເງື່ອນໄຂຂອບເຂດທາງກາຍະພາບຂອງຂະບວນການວາງຊັ້ນທັງໝົດ.

2. ຂອບເຂດສູນຍາກາດຕ່ຳ: ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຢູ່ທີ່ແຫຼ່ງກຳເນີດ

ໃນລະດັບສູນຍາກາດຕໍ່າ (ໂດຍປົກກະຕິ >10⁻² mbar), ຂະບວນການເຄືອບປະເຊີນກັບຄວາມສ່ຽງດ້ານຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງໂດຍທຳມະຊາດ:

ເສັ້ນທາງເສລີໂດຍສະເລ່ຍສັ້ນຂອງຊະນິດເຄືອບ
ອະຕອມທີ່ຖືກລະເຫີຍ ຫຼື ອະນຸພາກທີ່ຖືກກະຈາຍອອກຈະປະທະກັບໂມເລກຸນອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອຢູ່ເລື້ອຍໆ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່:

ການຂົນສົ່ງທິດທາງຫຼຸດລົງ

ປະສິດທິພາບການວາງຊັ້ນຕ່ຳກວ່າ

ການຄວບຄຸມຄວາມໜາບໍ່ດີ

ການລວມຕົວຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນສູງ
ໄອນ້ຳ, ອົກຊີເຈນ, ແລະ ໄຮໂດຄາບອນຍັງຄົງມີການເຄື່ອນໄຫວ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້:

ຟິມທີ່ຜຸພັງ ຫຼື ປົນເປື້ອນ

ຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າ, ທາງແສງ ຫຼື ທາງກົນຈັກທີ່ເສື່ອມໂຊມ

ສະພາບຂອງ plasma ທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງ (ສຳລັບຂະບວນການ PVD)
ການກະແຈກກະຈາຍຂອງອາຍແກັສທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນລົບກວນຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ plasma, ເຮັດໃຫ້ມັນຍາກທີ່ຈະຮັກສາພຶດຕິກຳການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ສອດຄ່ອງ.

ໃນລະດັບສູນຍາກາດນີ້, ຜົນຂອງການເຄືອບແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນຂອງຂະບວນການຍາກຫຼາຍ.

3. ລະດັບສູນຍາກາດປານກາງ: ຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຂະບວນການພື້ນຖານ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ຈຳກັດ

ຊ່ວງສູນຍາກາດຂະໜາດກາງ (ປະມານ 10⁻³ ຫາ 10⁻⁴ mbar) ມັກຖືກພິຈາລະນາເປັນຄ່າມາດຕະຖານຕໍ່າສຸດສຳລັບການເຄືອບສູນຍາກາດອຸດສາຫະກຳ.

ໃນລະດັບນີ້:

ການຂົນສົ່ງອະນຸພາກກາຍເປັນທິດທາງຫຼາຍຂຶ້ນ

ການຈູດ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາດ້ວຍ plasma ສາມາດເຮັດໄດ້

ການສ້າງຮູບເງົາພື້ນຖານແມ່ນເປັນໄປໄດ້

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຈາກທັດສະນະຂອງການຜະລິດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການຍັງມີຂໍ້ຈຳກັດ:

ອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອຍັງມີອິດທິພົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ອົງປະກອບຂອງຟິມ

ຄຸນສົມບັດການເຄືອບສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການປ່ຽນແປງທີ່ສັງເກດເຫັນໄດ້ຈາກຊຸດຕໍ່ຊຸດ

ການຜະລິດທີ່ຍາວນານມັກຈະມີການປ່ຽນແປງຊ້າໆ

ລະດັບສູນຍາກາດນີ້ອາດຈະເປັນທີ່ຍອມຮັບໄດ້ສໍາລັບການເຄືອບຕົກແຕ່ງຫຼືການນໍາໃຊ້ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຕໍ່າ, ແຕ່ມັນບໍ່ພຽງພໍສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການປະສິດທິພາບສູງຫຼືຄວາມສອດຄ່ອງສູງ.

4. ຊ່ວງສູນຍາກາດສູງ: ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ແທ້ຈິງ

ເມື່ອຄວາມດັນພື້ນຖານບັນລຸລະດັບສູນຍາກາດສູງ (ໂດຍປົກກະຕິ ≤10⁻⁵ mbar), ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຊັ້ນເຄືອບຈະດີຂຶ້ນຢ່າງຮາກຖານ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກປະກອບມີ:

ເສັ້ນທາງເສລີສະເລ່ຍທີ່ຂະຫຍາຍອອກ
ອະນຸພາກເຄືອບເດີນທາງຈາກແຫຼ່ງໄປຫາຊັ້ນຮອງພື້ນຢ່າງໄວ, ຮັບປະກັນວ່າ:

ອັດຕາການຝາກເງິນທີ່ຄາດເດົາໄດ້

ປັບປຸງຄວາມໜາສະເໝີພາບ

ການແຈກຢາຍມຸມທີ່ໝັ້ນຄົງ

ການປົນເປື້ອນໜ້ອຍທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຟິມ
ລະດັບອົກຊີເຈນ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ຫຼຸດລົງຈະສົ່ງຜົນໃຫ້:

ຟິມທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ການຜູກມັດລະຫວ່າງໜ້າຜິວທີ່ແຂງແຮງ

ປັບປຸງປະສິດທິພາບດ້ານກົນຈັກ ແລະ ໜ້າທີ່ໃຫ້ດີຂຶ້ນ

ພຶດຕິກຳຂອງ plasma ທີ່ໝັ້ນຄົງ
ໃນລະບົບ PVD, ການນຳອາຍແກັສທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ເກີດຂຶ້ນໃນພື້ນຫຼັງສູນຍາກາດທີ່ສະອາດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້:

ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງ plasma ທີ່ຊັດເຈນ

ເງື່ອນໄຂການປ່ອຍຄືນໄດ້

ປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້

ໃນລະດັບນີ້, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ແທນທີ່ຈະເປັນແບບປະສົບການ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການຜະລິດຊ້ຳໆໄດ້ໃນໄລຍະຍາວ.

5. ສູນຍາກາດສູງພິເສດ ແລະ ບົດບາດຂອງມັນໃນການນຳໃຊ້ຂັ້ນສູງ

ສຳລັບການນຳໃຊ້ລະດັບສູງບາງຢ່າງ — ເຊັ່ນ: ຫຼາຍຊັ້ນທາງແສງ, ການເຄືອບທີ່ເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງແມ່ນຍຳ, ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວໜ້າ — ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດສູງພິເສດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງການປ່ຽນແປງຕື່ມອີກ.

ໃນຂະນະທີ່ບໍ່ຈຳເປັນສະເໝີໄປສຳລັບການຜະລິດອຸດສາຫະກຳມາດຕະຖານ, ສູນຍາກາດສູງພິເສດ:

ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນລະຫວ່າງໃບໜ້າ

ເພີ່ມຄວາມຄົມຊັດຂອງໜ້າຈໍຟິມ

ປັບປຸງຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງໃນໄລຍະຍາວ

ຄຸນຄ່າຂອງສູນຍາກາດສູງພິເສດບໍ່ໄດ້ຢູ່ທີ່ຄວາມໄວ, ແຕ່ຢູ່ທີ່ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຂະບວນການ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຄາດເດົາໄດ້.

6. ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງສູນຍາກາດທຽບກັບລະດັບສູນຍາກາດຢ່າງແທ້ຈິງ

ໃນການຜະລິດຕົວຈິງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງສູນຍາກາດແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າກັບລະດັບສູນຍາກາດຢ່າງແທ້ຈິງ.

ເຖິງແມ່ນວ່າລະບົບທີ່ສາມາດເຂົ້າເຖິງສູນຍາກາດສູງກໍ່ສາມາດປະສົບກັບບັນຫາຕ່າງໆໄດ້:

ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງການສູບນ້ຳ; ການລະບາຍອາຍພິດອອກຈາກວັດສະດຸຂອງຫ້ອງ; ການຜັນຜວນຂອງຄວາມກົດດັນທີ່ເກີດຈາກຄວາມຮ້ອນ;

ປັດໄຈເຫຼົ່ານີ້ນຳໄປສູ່: ການເລື່ອນຂອງພລາສມາ; ຄວາມຜັນຜວນຂອງອັດຕາການຕົກຕະກອນ; ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງຄຸນສົມບັດຂອງຟິມ

ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບຈຶ່ງຂຶ້ນກັບລະບົບສູນຍາກາດທີ່ອອກແບບມາເປັນຢ່າງດີ, ລວມທັງ: ການຕັ້ງຄ່າປໍ້າທີ່ເໝາະສົມ; ການປັບປຸງຫ້ອງທີ່ມີປະສິດທິພາບ; ການຈັດລໍາດັບຂະບວນການທີ່ຄວບຄຸມ

7. ສະຫຼຸບ: ລະດັບສູນຍາກາດກຳນົດຂີດຈຳກັດສູງສຸດຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບ

ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໃນທີ່ສຸດແມ່ນຖືກຈຳກັດໂດຍເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດ.

ລະດັບສູນຍາກາດທີ່ສູງຂຶ້ນ: ຫຼຸດຜ່ອນຕົວແປທີ່ບໍ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້; ຂະຫຍາຍປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການທີ່ໝັ້ນຄົງ; ເຮັດໃຫ້ສາມາດຜະລິດສີເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ສາມາດຜະລິດຊ້ຳໄດ້.

ສຳລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ມຸ່ງເນັ້ນໃສ່ຜົນຜະລິດສູງ, ຄວາມສອດຄ່ອງໃນໄລຍະຍາວ, ແລະ ການຜະລິດທີ່ສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້, ລະດັບສູນຍາກາດຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດເປັນພາລາມິເຕີວິສະວະກຳຫຼັກ, ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຂໍ້ມູນຈຳເພາະຂອງລະບົບເທົ່ານັ້ນ.

ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດທີ່ໝັ້ນຄົງບໍ່ແມ່ນທາງເລືອກ - ມັນເປັນພື້ນຖານຂອງເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua