Mekhoa ea ho koahela ka vacuum, boemo ba vacuum ha se feela boemo ba nalane, empa ke paramethara ea motheo e khethollang ka kotloloho botsitso ba ts'ebetso, boleng ba filimi le ho pheta-phetoa ha tlhahiso.
Inlitsamaiso tsa PVD le tsa ho koahela mouoane tse sebelisoang indastering,Maemo a sa lekaneng kapa a sa tsitsang a vacuum hangata e ba sesosa sa mantlha sa diphoso tsa ho roala, ho feto-fetoha ha tlhahiso, le mathata a ho tshepahala ha nako e telele.
Sengoloa sena se sekaseka tshusumetso ya nnete, ya boemo ba tshebediso ya mefuta e fapaneng ya vacuum hodima botsitso ba ho roala ho latela pono ya disebediswa le boenjiniere ba tshebetso.
1. Boemo ba Vacuum e le Motheo oa ho Sireletsa Filimi e Tšesaane
Ha ho koaheloa ka vacuum, tikoloho ea vacuum e laola haholo-holo:
Sebopeho sa khase e setseng; Tsela e mahareng e lokolohileng ea likaroloana tse mouoane kapa tse tšolotsoeng; Botsitso ba plasma; Tšilafalo ea bokaholimo nakong ea kholo ea filimi
Ha boemo ba vacuum bo fokotseha (khatello e eketseha), monyetla oa ho thulana ha khase o eketseha haholo, e leng se amang ka ho toba boholo ba filimi, ho tšoana le ho khomarela.
Ka hona, boemo ba vacuum ha se parameter e arohaneng—e hlalosa maemo a moeli oa 'mele oa ts'ebetso eohle ea ho beha.
2. Sebaka se Tlase sa Vacuum: Ho se tsitse Mohloding
Sebakeng se tlase sa vacuum (hangata >10⁻² mbar), ts'ebetso ea ho roala e tobana le likotsi tsa tlhaho tsa ho se tsitse:
Tsela e khutšoanyane e lokolohileng ea mefuta ea ho koahela
Liathomo tse mouoane kapa likaroloana tse qhalaneng li thulana khafetsa le limolek'hule tsa khase tse setseng, e leng se lebisang ho:
Lipalangoang tse tsamaeang ka tsela e fokotsehileng
Bokgoni ba ho boloka thepa bo tlase
Taolo e mpe ea botenya
Ho kenyelletsoa ha litšila tse ngata
Mouoane oa metsi, oksijene le li-hydrocarbon li lula li sebetsa, e leng se fellang ka:
Lifilimi tse nang le oxidized kapa tse silafetseng
Thepa e senyehileng ea motlakase, ea optical, kapa ea mechini
Maemo a sa tsitsang a plasma (bakeng sa lits'ebetso tsa PVD)
Ho hasana ha khase ho eketsa ho sitisa ho teteana ha plasma le ho tšoana ha eona, e leng se etsang hore ho be thata ho boloka boits'oaro bo tsitsitseng ba ho ntša metsi.
Mofuteng ona oa vacuum, liphetho tsa ho roala li na le kutloelo-bohloko haholo ho liphetoho tse nyane, e leng se etsang hore ho be thata haholo ho li finyella.
3. Sebaka se Mahareng sa Vacuum: Mokhoa oa Motheo oa ho Etsahala, Botsitso bo Lekanyelitsoeng
Sebaka se mahareng sa vacuum (hoo e ka bang 10⁻³ ho isa ho 10⁻⁴ mbar) hangata se nkoa e le moeli o tlase bakeng sa ho penta vacuum ea indasteri.
Boemong bona:
Tsamaiso ea likaroloana e ba tataiso e eketsehileng
Ho hotetsa le ho hlokomela plasma hoa khoneha
Ho thehoa ha filimi ea motheo hoa khoneha
Leha ho le jwalo, ho ya ka pono ya tlhahiso, botsitso ba tshebetso bo ntse bo lekanyeditswe:
Likhase tse setseng li ntse li susumetsa haholo sebopeho sa filimi
Litšobotsi tsa ho koahela li bontša phapang e bonahalang ea sehlopha ho ea sehlopheng
Ho sebetsa ha nako e telele ha tlhahiso ho ka baka ho thella butle-butle
Letoto lena la vacuum le ka amoheleha bakeng sa ho roala mekhabiso kapa lits'ebetso tse sa hlokeheng haholo, empa ha lea lekana bakeng sa litlhoko tsa ts'ebetso e phahameng kapa tse tsitsitseng haholo.
4. Sebaka se Phahameng sa Vacuum: Ho Nolofatsa Botsitso ba Ts'ebetso ea 'Nete
Ha khatello ea motheo e fihla sebakeng se phahameng sa vacuum (hangata ≤10⁻⁵ mbar), botsitso ba ho roala bo ntlafala haholo.
Melemo ea bohlokoa e kenyelletsa:
Tsela e atolositsoeng ea mahala e tloaelehileng
Likaroloana tse koahelang li tsamaea ka bolo ho tloha mohloling ho ea ho substrate, ho netefatsa:
Litefiso tsa ho boloka tse ka boleloang esale pele
Botenya bo ntlafetseng bo lekana
Kabo e tsitsitseng ea angular
Tšilafalo e fokolang nakong ea kholo ea filimi
Ho fokotseha ha oksijene le maemo a mongobo ho fella ka:
Lifilimi tse teteaneng, tse hloekileng haholo
Kamano e matla ea li-interfacial
Tshebetso e ntlafetseng ya mechine le tshebetso
Boitšoaro bo tsitsitseng ba plasma
Litsamaisong tsa PVD, ho kenngoa ha khase e laoloang ho etsahala holim'a semelo se hloekileng sa vacuum, se lumellang:
Taolo e nepahetseng ea bongata ba plasma
Maemo a ho ntsha metsi a ka phetoang
Lifensetere tse tšepahalang tsa ts'ebetso
Boemong bona, botsitso ba ho koahela bo fetoha bo laolehang ho fapana le ho ba bo bonahalang, bo nolofalletsang tlhahiso ea nako e telele le e ka phetoang.
5. Vacuum e Phahameng ka ho Fetisisa le Karolo ea Eona Litšebelisong tse Tsoetseng Pele
Bakeng sa lits'ebetso tse itseng tsa maemo a holimo—joalo ka li-optical multilayer, li-coating tse sebetsang hantle, le lisebelisoa tsa elektroniki tse tsoetseng pele—maemo a vacuum a phahameng haholo a fokotsa mehloli ea ho feto-fetoha.
Le hoja e se kamehla ho hlokahalang bakeng sa tlhahiso e tloaelehileng ea indasteri, vacuum e phahameng haholo:
E fokotsa tšilafalo ea sefahleho
E ntlafatsa ho hlaka ha sebopeho sa filimi
E ntlafatsa ts'epo ea nako e telele le botsitso
Boleng ba vacuum e phahameng haholo ha bo hole le lebelo, empa bo holima ho nepahala ha ts'ebetso le ho bolela esale pele.
6. Botsitso ba Vacuum khahlanong le Boemo bo Felletseng ba Vacuum
Tlhahisong e sebetsang, botsitso ba vacuum bo bohlokoa joalo ka boemo bo felletseng ba vacuum.
Esita le sistimi e khonang ho fihlela vacuum e phahameng e ka ba le mathata a:
Ho se tsitse ha pompe; Ho ntsha peterole ho tswa ho thepa ya phaposi; Ho feto-fetoha ha kgatello ho bakwang ke mocheso;
Mabaka ana a lebisa ho: Ho kheloha ha plasma; Ho feto-fetoha ha sekhahla sa ho lahla; Ho se tsitse ha thepa ea filimi
Ka hona, botsitso ba ho roala bo itshetlehile ka sistimi e entsoeng hantle ya vacuum, ho kenyeletswa: Tlhophiso e nepahetseng ya pompo; Ho lokisa kamore ka katleho; Tatellano ya tshebetso e laolwang
7. Qetello: Boemo ba Vacuum bo Hlalosa Moeli o ka Holimo oa Botsitso ba ho Koahela
Ho koaheloa ha vacuum, botsitso ba ts'ebetso bo qetella bo thibetsoe ke maemo a vacuum.
Maemo a phahameng a vacuum: Fokotsa diphetoho tse sa laoleheng; Atolosa difensetere tse tsitsitseng tsa tshebetso; Nolofatsa dikobo tse ka hlahiswang hape, tsa boleng bo hodimo
Bakeng sa bahlahisi ba ikemiselitseng ho hlahisa chai e ngata, botsitso ba nako e telele, le tlhahiso e ka atolosoang, boemo ba vacuum bo lokela ho nkoa e le paramethara ea mantlha ea boenjiniere, eseng feela tlhaloso ea sistimi.
Tikoloho e tsitsitseng ea vacuum ha se khetho—ke motheo oa theknoloji e tšepahalang ea ho roala vacuum.
–Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Pherekhong-08-2026