د ویکیوم کوټینګ پروسو کې، د ویکیوم کچه یوازې د شالید حالت نه دی، بلکې یو بنسټیز پیرامیټر دی چې په مستقیم ډول د پروسې ثبات، د فلم کیفیت، او د تولید تکرار وړتیا ټاکي.
Inد صنعتي کچې PVD او تبخیر کوټینګ سیسټمونه,ناکافي یا بې ثباته خلا شرایط ډیری وختونه د کوټینګ نیمګړتیاو، د حاصلاتو بدلون، او د اوږدمهاله اعتبار مسلو اصلي لامل کیږي.
دا مقاله د تجهیزاتو او پروسې انجینرۍ له نظره د کوټینګ ثبات باندې د مختلفو خلا رینجونو ریښتینې، د غوښتنلیک کچې اغیزې تحلیل کوي.
۱. د ویکیوم کچه د مستحکم پتلي فلم زیرمو د بنسټ په توګه
په ویکیوم کوټینګ کې، د ویکیوم چاپیریال په عمده توګه کنټرولوي:
د ګازو پاتې شوني جوړښت؛ د تبخیر شوي یا توی شوي ذراتو اوسط آزاد لاره؛ د پلازما ثبات؛ د فلم ودې پرمهال د سطحې ککړتیا
لکه څنګه چې د خلا کچه کمیږي (فشار زیاتیږي)، د ګاز-مرحلې ټکرونو احتمال په چټکۍ سره لوړیږي، چې په مستقیم ډول د فلم کثافت، یووالي، او چپکولو اغیزه کوي.
له همدې امله، د خلا کچه یو جلا شوی پیرامیټر نه دی - دا د ټولې زیرمه کولو پروسې فزیکي سرحد شرایط تعریفوي.
۲. د خلا ټیټ حد: په سرچینه کې بې ثباتي
په ټیټ ویکیوم رینج کې (معمولا >10⁻² mbar)، د پوښښ پروسه د بې ثباتۍ له ذاتي خطرونو سره مخ ده:
د پوښښ ډولونو لنډ اوسط آزاد لاره
تبخیر شوي اتومونه یا توی شوي ذرات د پاتې ګازو مالیکولونو سره په مکرر ډول ټکر کوي، چې پایله یې دا ده:
د سمتي ترانسپورت کمښت
د زیرمو ټیټ موثریت
د ضخامت کمزوری کنټرول
د لوړې ناپاکۍ شاملول
د اوبو بخار، اکسیجن، او هایدروکاربنونه فعال پاتې کیږي، چې په پایله کې یې:
اکسیډیز شوي یا ککړ شوي فلمونه
د بریښنایی، نظری، یا میخانیکي ځانګړتیاوو کمښت
د پلازما بې ثباته شرایط (د PVD پروسو لپاره)
د ګازو زیات خپریدل د پلازما کثافت او یووالي ګډوډوي، چې د دوامداره خارجیدو چلند ساتل ستونزمن کوي.
په دې خلا لړ کې، د پوښښ پایلې د کوچنیو بدلونونو سره خورا حساسې دي، چې د پروسې تکرار وړتیا ترلاسه کول خورا ستونزمن کوي.
۳. د خلا منځنۍ لړۍ: د پروسې اساسي امکان، محدود ثبات
د منځنۍ خلا حد (تقریبا 10⁻³ څخه تر 10⁻⁴ mbar) ډیری وختونه د صنعتي خلا پوښښ لپاره لږترلږه حد ګڼل کیږي.
په دې کچه:
د ذراتو لیږد ډیر سمتي کیږي
د پلازما سوځول او ساتنه د لاسته راوړلو وړ ده
د فلم بنسټیز جوړښت ممکن دی
په هرصورت، د تولید له نظره، د پروسې ثبات محدود پاتې دی:
پاتې ګازونه لاهم د فلم جوړښت باندې د پام وړ اغیزه لري
د پوښ کولو ځانګړتیاوې د یو بل سره د پام وړ توپیر ښیې
د تولید اوږده لړۍ د تدریجي بدلون سره مخ ده
دا د خلا لړۍ ممکن د سینګار کوټینګونو یا ټیټ تقاضا غوښتنلیکونو لپاره د منلو وړ وي، مګر دا د لوړ فعالیت یا لوړ تسلسل اړتیاو لپاره کافي نه ده.
۴. د لوړ خلا حد: د ریښتینې پروسې ثبات فعالول
کله چې د اساس فشار لوړ ویکیوم حد ته ورسیږي (معمولا ≤10⁻⁵ mbar)، د کوټینګ ثبات په بنسټیز ډول ښه کیږي.
مهمې ګټې په لاندې ډول دي:
غځول شوی منځنۍ ازاده لاره
د پوښښ ذرات په بالیستیک ډول له سرچینې څخه تر سبسټریټ پورې سفر کوي، ډاډ ترلاسه کوي چې:
د اټکل وړ زیرمه کولو نرخونه
د ضخامت یوشانوالی ښه شوی
مستحکم زاویه ویش
د فلم د ودې په جریان کې لږترلږه ککړتیا
د اکسیجن او رطوبت کمښت د دې لامل کیږي:
غليظ، لوړ پاکوالي فلمونه
قوي بین الافغاني اړیکه
ښه میخانیکي او فعال فعالیت
د پلازما مستحکم چلند
په PVD سیسټمونو کې، کنټرول شوي ګاز معرفي په پاک ویکیوم پس منظر کې ترسره کیږي، چې اجازه ورکوي:
د پلازما د کثافت دقیق کنټرول
د تکرار وړ خارجیدو شرایط
د باور وړ پروسې کړکۍ
په دې کچه، د کوټینګ ثبات د تجربوي پرځای د کنټرول وړ کیږي، چې اوږدمهاله، تکرار وړ تولید فعالوي.
۵. الټرا-های ویکیوم او په پرمختللو غوښتنلیکونو کې یې رول
د ځینو لوړ پای غوښتنلیکونو لپاره - لکه آپټیکل څو پوړونه، دقیق فعال کوټینګونه، او پرمختللي برقیات - د لوړ لوړ خلا شرایط د تغیر سرچینې نور هم کموي.
که څه هم د معیاري صنعتي تولید لپاره تل اړین نه وي، خورا لوړ خلا:
د مخ د ککړتیا کچه کموي
د فلم انٹرفیس ګړندیتوب لوړوي
د اوږدې مودې اعتبار او ثبات ته وده ورکوي
د الټرا-های ویکیوم ارزښت په سرعت کې نه، بلکې د پروسې په دقت او وړاندوینې کې دی.
۶. د خلا ثبات د مطلق خلا کچه په مقابل کې
په عملي تولید کې، د خلا ثبات د مطلق خلا کچې په څیر مهم دی.
حتی یو سیسټم چې لوړ خلا ته د رسیدو وړتیا لري کولی شي له لاندې څخه رنځ وړي:
د پمپ کولو بې ثباتي؛ د چیمبر موادو څخه بهر ګاز ایستل؛ د تودوخې له امله د فشار بدلونونه؛
دا عوامل د دې لامل کیږي: د پلازما ډرافټ؛ د زیرمو د کچې بدلون؛ د فلم د ملکیت ناانډولي
له همدې امله، د پوښ ثبات په ښه ډیزاین شوي ویکیوم سیسټم پورې اړه لري، په شمول د: مناسب پمپ ترتیب؛ د چیمبر اغیزمن کنډیشن؛ د پروسې کنټرول شوی ترتیب
۷. پایله: د خلا کچه د پوښښ ثبات لوړ حد تعریفوي
په ویکیوم کوټینګ کې، د پروسې ثبات په نهایت کې د ویکیوم شرایطو لخوا محدود کیږي.
د خلا لوړه کچه: د نه کنټرولیدونکو متغیراتو کمول؛ د پروسې باثباته کړکۍ پراخول؛ د تکثیر وړ، لوړ کیفیت لرونکي پوښښونه فعالول
د هغو تولیدونکو لپاره چې لوړ حاصل، اوږدمهاله ثبات، او د اندازې وړ تولید په لټه کې دي، د خلا کچه باید د انجینرۍ اصلي پیرامیټر په توګه وګڼل شي، نه یوازې د سیسټم مشخصات.
یو باثباته ویکیوم چاپیریال یو انتخاب نه دی - دا د باور وړ ویکیوم کوټینګ ټیکنالوژۍ بنسټ دی.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: جنوري-۰۸-۲۰۲۶