Вакуум бүрхүүлийн тухай танилцуулга

Яагаад вакуум хэрэглэдэг вэ?
Бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх: Вакуум орчинд агаар болон бусад хий байхгүй байх нь хуримтлагдах материалыг агаар мандлын хийтэй урвалд оруулахаас сэргийлж, хальсыг бохирдуулдаг.
Сайжруулсан наалдац: Агаарын дутагдал нь хальс нь агаарын халаас эсвэл бусад завсрын хийгүйгээр субстрат руу шууд наалддаг гэсэн үг юм.
Киноны чанар: Вакуум нөхцөл нь тунадасны процессыг илүү сайн хянах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр илүү жигд, илүү чанартай хальс үүсгэдэг.
Бага температурт хуримтлуулах: Зарим материалууд нь агаар мандлын хийнд өртөхөд шаардлагатай температурт задардаг эсвэл урвалд ордог. Вакуум орчинд эдгээр материалыг бага температурт байрлуулж болно.
Вакуум бүрэх процессын төрлүүд
Физик уурын хуримтлал (PVD)
Дулааны ууршилт: Материалыг вакуум орчинд уурших хүртэл халааж, дараа нь субстрат дээр конденсацлана.
Шүрших: Өндөр энергитэй ионы цацраг нь зорилтот материалыг бөмбөгдөж, атомуудыг салгаж, субстрат дээр байрлуулахад хүргэдэг.
Импульсийн лазерын хуримтлал (PLD): Өндөр хүчин чадалтай лазер туяа нь объектоос материалыг ууршуулж, дараа нь субстрат дээр өтгөрдөг.
Химийн уурын хуримтлал (CVD)
Бага даралтын CVD (LPCVD): Температурыг бууруулж, хальсны чанарыг сайжруулахын тулд багасгасан даралтаар гүйцэтгэдэг.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Уламжлалт ЗСӨ-өөс бага температурт химийн урвалыг идэвхжүүлэхийн тулд плазмыг ашигладаг.
Атомын давхаргын хуримтлал (ALD)
ALD нь нэг удаад нэг атомын давхаргыг хуримтлуулж, хальсны зузаан, найрлагыг маш сайн хянах боломжийг олгодог CVD-ийн төрөл юм.

Вакуум бүрээсэнд ашигласан тоног төхөөрөмж
Вакуум камер: Бүрэх процесс явагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг.
Вакуум насос: Вакуум орчныг бий болгох, хадгалахад зориулагдсан.
Субстрат эзэмшигч: Бүрэх явцад субстратыг бэхлэх зориулалттай.
Ууршилт эсвэл цацах эх үүсвэр: Ашигласан PVD аргаас хамаарна.
Эрчим хүчний хангамж: Ууршилтын эх үүсвэрт эрчим хүч хэрэглэх эсвэл PECVD-д плазм үүсгэх зориулалттай.
Температурын хяналтын систем: Субстратыг халаах эсвэл процессын температурыг хянах зориулалттай.
Хяналтын систем: Тунуулсан хальсны зузаан, жигд байдал болон бусад шинж чанарыг хэмжих.
Вакуум бүрхүүлийн хэрэглээ
Оптик бүрээс: Линз, толь болон бусад оптик эд ангиудад цацруулагч, цацруулагч эсвэл шүүлтүүрийн бүрхүүлд зориулагдсан.
Чимэглэлийн бүрээс: Үнэт эдлэл, цаг, автомашины эд анги зэрэг өргөн хүрээний бүтээгдэхүүнд зориулагдсан.
Хатуу бүрээс: Зүсэх хэрэгсэл, хөдөлгүүрийн эд анги, эмнэлгийн хэрэгслийн элэгдэлд тэсвэртэй, бат бөх чанарыг сайжруулах.
Хаалтны бүрээс: Металл, хуванцар эсвэл шилэн гадаргуу дээр зэврэлт, нэвчилтээс урьдчилан сэргийлэх.
Цахим бүрхүүл: Нэгдсэн хэлхээ, нарны зай болон бусад электрон төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхэд зориулагдсан.
Вакуум бүрхүүлийн давуу тал
Нарийвчлал: Вакуум бүрэх нь хальсны зузаан, найрлагыг нарийн хянах боломжийг олгодог.
Нэг төрлийн байдал: Киног нарийн төвөгтэй хэлбэр, том талбайд жигд байрлуулж болно.
Үр ашиг: Үйл явц нь өндөр автоматжуулсан бөгөөд их хэмжээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
Байгаль орчинд ээлтэй байдал: Вакуум бүрэх нь бусад бүрэх аргыг бодвол бага хэмжээний химийн бодис хэрэглэж, хог хаягдал бага гаргадаг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа