Депонирањето на тенок филм е фундаментален процес што се користи во полупроводничката индустрија, како и во многу други области на науката и инженерството за материјали. Вклучува создавање на тенок слој материјал на подлога. Депонираните филмови можат да имаат широк опсег на дебелини, од само неколку атомски слоеви до дебелина од неколку микрометри. Овие филмови можат да послужат за многу намени, како што се електрични спроводници, изолатори, оптички премази или заштитни бариери.
Еве ги главните методи што се користат за нанесување на тенок филм:
Физичко таложење на пареа (PVD)
Распрскување: Зрак со висока енергија се користи за отстранување на атоми од целниот материјал, кои потоа се таложат на подлогата.
Испарување:** Материјалот се загрева во вакуум додека не испари, а потоа пареата се кондензира на подлогата.
Таложење на атомски слој (ALD)
ALD е техника каде што филмот се одгледува на подлога, еден атомски слој одеднаш. Таа е строго контролирана и може да создаде многу прецизни и конформни филмови.
Молекуларна зрачна епитаксија (MBE)
MBE е техника на епитаксијален раст каде што зраци од атоми или молекули се насочени кон загреана подлога за да формираат кристален тенок филм.
Предности на нанесување на тенок филм
Подобрена функционалност: Филмовите можат да обезбедат нови својства на подлогата, како што се отпорност на гребење или електрична спроводливост.
Намалена потрошувачка на материјал: Овозможува создавање сложени уреди со минимална потрошувачка на материјал, намалувајќи ги трошоците.
Прилагодување: Филмовите можат да се прилагодат за да имаат специфични механички, електрични, оптички или хемиски својства.
Апликации
Полупроводнички уреди: Транзистори, интегрирани кола и микроелектромеханички системи (MEMS).
Оптички премази: Антирефлективни и високорефлективни премази на леќи и сончеви ќелии.
Заштитни премази: За спречување на корозија или абење на алатките и машините.
Биомедицински апликации: Облоги на медицински импланти или системи за испорака на лекови.
Изборот на техника на депозиција зависи од специфичните барања на апликацијата, вклучувајќи го видот на материјалот што треба да се депонира, посакуваните својства на филмот и ограничувањата на трошоците.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 15 август 2024 година