He aha te whakamahi i te korehau?
Te aukati i te poke: I roto i te korehau, na te kore o te hau me etahi atu hau e kore e tauhohe nga rauemi waipara ki nga hau hau, ka poke te kiriata.
Pai ake te Adhesion: Ko te kore o te hau ko te tikanga ka piri tika te kiriata ki te tïpako kaore he pute hau me etahi atu hau interstitial e ngoikore ai te here.
Kounga Kiriata: Ko nga tikanga korehau e pai ake ai te whakahaere i nga mahi tukunga, ka nui ake te kakahu me te kounga teitei ake o nga kiriata.
Te Whakanoho Pawera-iti: Ko etahi o nga rawa ka pirau, ka tauhohe ranei ki nga mahana e hiahiatia ana mo te waipara mena ka pa ki nga hau hau. I roto i te korehau, ka taea te penapena i enei rauemi ki nga wera iti.
Nga Momo Tukatuka Whakakikorua Korehau
Kohu Kohu Tino (PVD)
Te Whakaetonga Ngawha: Ka whakamahanahia nga rawa ki roto i te korehau kia mimiti, katahi ka whakamatao ki te tïpako.
Te pupuhi: Ka pupuhi te kurupae katote kaha nui ki tetahi rawa i whaaia, ka panaia nga ngota ka tuku ki runga i te taputapu.
Pursed Laser Deposition (PLD): Ka whakamahia he kurupae taiaho kaha-kaha ki te whakangote i nga rawa mai i te whainga, katahi ka whakamatao ki te tïpako.
Te Whakapae Kohu Matū (CVD)
CVD Peetanga Iti (LPCVD): Ka mahia i te iti o te pehanga ki te whakaheke i te pāmahana me te whakapai ake i te kounga o te kiriata.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Ka whakamahi i te plasma ki te whakahohe i nga tauhohenga matū i nga pāmahana iti ake i te CVD tuku iho.
Whakatakotoranga Apa ngota (ALD)
Ko te ALD he momo CVD e whakatakoto ana i nga kiriata kotahi te paparanga ngota i ia wa, e pai ai te whakahaere i te matotoru me te hanganga o te kiriata.
Taputapu Whakamahia i roto i te paninga korehau
Korehau Chamber: Ko te waahanga matua kei reira te mahi whakakikorua.
Pumps korehau: Ki te hanga me te pupuri i te taiao korehau.
Kaipupuri Rahi: Hei pupuri i te tïpako i te wa e whakakikoruatia ana.
Te Whakaetonga, Nga Puna Mahinga ranei: I runga i te tikanga PVD i whakamahia.
Nga Taonga Hiko: Mo te tono hiko ki nga puna whakaetonga, mo te whakaputa plasma ranei i te PECVD.
Nga Pūnaha Mana Whakawera: Mo nga taputapu whakamahana, hei whakahaere ranei i te pāmahana tukanga.
Pūnaha Aroturuki: Hei ine i te matotoru, te riterite, me etahi atu taonga o te kiriata kua whakatakotoria.
Nga tono mo te paninga korehau
Whakapaipai Mata: Mo nga paninga whakaataata, whakaata, tātari ranei i runga i nga arotahi, whakaata, me etahi atu waahanga whatu.
Whakapaipai Whakapaipai: Mo te tini o nga hua, tae atu ki nga whakapaipai, nga mataaratanga, me nga waahanga miihini.
Ko nga Whakakikorua Maamaa: Hei whakapai ake i nga kakahu me te mau tonu ki nga taputapu tapahi, nga waahanga miihini, me nga taputapu rongoa.
Nga paninga arai: Hei aukati i te waikura, i te kuhu ranei ki runga i nga taputapu whakarewa, kirihou, karaihe ranei.
Ko nga Panui Hiko: Mo te hanga i nga waahanga whakauru, nga pūtau solar, me etahi atu taputapu hiko.
Painga o te paninga korehau
Tika: Ko te paninga korehau ka taea te whakahaere tika mo te matotoru kiriata me te hanganga.
Whakariterite: Ka taea te whakatakoto i nga kiriata ki runga i nga ahua uaua me nga waahi nui.
Te kaha: Ko te tukanga ka taea te mahi tino aunoa me te pai mo te whakaputa nui.
Te Whakahoahoa ki te Taiao: He iti ake nga matū e whakamahia ana e te paninga korehau, ka iti ake te para i era atu tikanga paninga.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Akuhata-15-2024