Kāpēc lietot putekļsūcēju?
Piesārņojuma novēršana: Vakuumā gaisa un citu gāzu neesamība neļauj nogulsnējamajam materiālam reaģēt ar atmosfēras gāzēm, kas varētu piesārņot plēvi.
Uzlabota saķere: Gaisa trūkums nozīmē, ka plēve tieši pielīp pie pamatnes bez gaisa kabatām vai citām starpslāņu gāzēm, kas varētu vājināt saķeri.
Plēves kvalitāte: Vakuuma apstākļi ļauj labāk kontrolēt nogulsnēšanas procesu, kā rezultātā tiek iegūtas vienmērīgākas un augstākas kvalitātes plēves.
Zemas temperatūras nogulsnēšanās: Daži materiāli sadalītos vai reaģētu nogulsnēšanai nepieciešamajā temperatūrā, ja tie tiktu pakļauti atmosfēras gāzēm. Vakuumā šos materiālus var nogulsnēt zemākā temperatūrā.
Vakuuma pārklāšanas procesu veidi
Fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD)
Termiskā iztvaikošana: Materiālu karsē vakuumā, līdz tas iztvaiko un pēc tam kondensējas uz substrāta.
Izsmidzināšana: augstas enerģijas jonu stars bombardē mērķa materiālu, izraisot atomu izmešanu un nogulsnēšanos uz substrāta.
Impulsa lāzera uzklāšana (PLD): Augstas jaudas lāzera stars tiek izmantots, lai iztvaicētu materiālu no mērķa, kas pēc tam kondensējas uz substrāta.
Ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD)
Zemspiediena CVD (LPCVD): tiek veikta pazeminātā spiedienā, lai pazeminātu temperatūru un uzlabotu plēves kvalitāti.
Plazmas pastiprināta CVD (PECVD): Izmanto plazmu, lai aktivizētu ķīmiskās reakcijas zemākā temperatūrā nekā tradicionālā CVD.
Atomu slāņošanās (ALD)
ALD ir CVD veids, kas uzklāj plēves pa vienam atomu slānim vienlaikus, nodrošinot lielisku plēves biezuma un sastāva kontroli.
Vakuuma pārklāšanā izmantotās iekārtas
Vakuuma kamera: galvenā sastāvdaļa, kurā notiek pārklāšanas process.
Vakuumsūkņi: Lai radītu un uzturētu vakuuma vidi.
Substrāta turētājs: Lai noturētu substrātu vietā pārklāšanas procesa laikā.
Iztvaikošanas vai izsmidzināšanas avoti: atkarībā no izmantotās PVD metodes.
Barošanas avoti: Enerģijas padevei iztvaikošanas avotiem vai plazmas ģenerēšanai PECVD tehnikā.
Temperatūras kontroles sistēmas: substrātu sildīšanai vai procesa temperatūras kontrolei.
Uzraudzības sistēmas: Lai mērītu uzklātās plēves biezumu, vienmērīgumu un citas īpašības.
Vakuuma pārklājuma pielietojumi
Optiskie pārklājumi: Pretatstarojošiem, atstarojošiem vai filtrējošiem pārklājumiem uz lēcām, spoguļiem un citiem optiskiem komponentiem.
Dekoratīvie pārklājumi: Plašam produktu klāstam, tostarp rotaslietām, pulksteņiem un automobiļu detaļām.
Cietie pārklājumi: Lai uzlabotu griezējinstrumentu, dzinēja detaļu un medicīnas ierīču nodilumizturību un ilgmūžību.
Barjerpārklājumi: Lai novērstu koroziju vai iesūkšanos uz metāla, plastmasas vai stikla virsmām.
Elektroniskie pārklājumi: integrēto shēmu, saules bateriju un citu elektronisko ierīču ražošanai.
Vakuuma pārklāšanas priekšrocības
Precizitāte: Vakuuma pārklāšana ļauj precīzi kontrolēt plēves biezumu un sastāvu.
Vienveidība: Plēves var vienmērīgi uzklāt uz sarežģītām formām un lielām platībām.
Efektivitāte: Procesu var automatizēt augstā līmenī, un tas ir piemērots liela apjoma ražošanai.
Videi draudzīgums: Vakuuma pārklāšanā parasti tiek izmantots mazāk ķimikāliju un rodas mazāk atkritumu nekā citās pārklāšanas metodēs.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 15. augusts