Kodėl naudoti dulkių siurblį?
Užteršimo prevencija: Vakuume oro ir kitų dujų nebuvimas neleidžia nusodinimo medžiagai reaguoti su atmosferos dujomis, kurios galėtų užteršti plėvelę.
Pagerintas sukibimas: Dėl oro trūkumo plėvelė tiesiogiai prilimpa prie pagrindo be oro kišenių ar kitų intersticinių dujų, kurios galėtų susilpninti sukibimą.
Plėvelės kokybė: vakuuminės sąlygos leidžia geriau kontroliuoti nusodinimo procesą, todėl plėvelės yra vienodesnės ir aukštesnės kokybės.
Žemos temperatūros nusodinimas: Kai kurios medžiagos, veikiamos atmosferos dujų, suirtų arba reaguotų esant nusodinimui reikalingai temperatūrai. Vakuume šios medžiagos gali būti nusodinamos žemesnėje temperatūroje.
Vakuuminio dengimo procesų tipai
Fizikinis garų nusodinimas (PVD)
Terminis garinimas: medžiaga kaitinama vakuume, kol išgaruoja, o tada kondensuojasi ant pagrindo.
Purškimas: didelės energijos jonų pluoštas bombarduoja tikslinę medžiagą, todėl atomai išmetami ir nusėda ant pagrindo.
Impulsinis lazerinis nusodinimas (PLD): Didelės galios lazerio spindulys naudojamas medžiagai išgarinti iš taikinio, kuri vėliau kondensuojasi ant pagrindo.
Cheminis garų nusodinimas (CVD)
Žemo slėgio CVD (LPCVD): atliekamas sumažintame slėgyje, siekiant sumažinti temperatūrą ir pagerinti plėvelės kokybę.
Plazma sustiprinta CVD (PECVD): naudoja plazmą cheminėms reakcijoms aktyvuoti žemesnėje temperatūroje nei tradicinis CVD.
Atominio sluoksnio nusodinimas (ALD)
ALD yra CVD tipas, kurio metu plėvelės nusodinamos po vieną atominį sluoksnį, taip užtikrinant puikią plėvelės storio ir sudėties kontrolę.
Įranga, naudojama vakuuminiam dengimui
Vakuuminė kamera: pagrindinis komponentas, kuriame vyksta dengimo procesas.
Vakuuminiai siurbliai: skirti sukurti ir palaikyti vakuuminę aplinką.
Pagrindo laikiklis: skirtas laikyti pagrindą vietoje dengimo proceso metu.
Garavimo arba dulkinimo šaltiniai: priklausomai nuo naudojamo PVD metodo.
Maitinimo šaltiniai: skirti energijai tiekti į garinimo šaltinius arba plazmai generuoti PECVD sistemoje.
Temperatūros kontrolės sistemos: skirtos pagrindų šildymui arba proceso temperatūros valdymui.
Stebėjimo sistemos: skirtos matuoti nusodintos plėvelės storį, vienodumą ir kitas savybes.
Vakuuminio dengimo taikymas
Optinės dangos: skirtos neatspindinčioms, atspindinčioms arba filtruojančioms dangoms ant lęšių, veidrodžių ir kitų optinių komponentų.
Dekoratyvinės dangos: skirtos įvairiems gaminiams, įskaitant papuošalus, laikrodžius ir automobilių dalis.
Kietos dangos: skirtos pagerinti pjovimo įrankių, variklio komponentų ir medicinos prietaisų atsparumą dilimui ir ilgaamžiškumą.
Apsauginės dangos: skirtos apsaugoti nuo korozijos ar prasiskverbimo ant metalinių, plastikinių ar stiklinių pagrindų.
Elektroninės dangos: skirtos integrinių grandynų, saulės elementų ir kitų elektroninių prietaisų gamybai.
Vakuuminio dengimo privalumai
Tikslumas: vakuuminis padengimas leidžia tiksliai kontroliuoti plėvelės storį ir sudėtį.
Vienodumas: Plėveles galima tolygiai padengti sudėtingomis formomis ir dideliais plotais.
Efektyvumas: Procesas gali būti labai automatizuotas ir tinka didelio masto gamybai.
Ekologiškumas: Vakuuminis dengimas paprastai naudoja mažiau cheminių medžiagų ir gamina mažiau atliekų nei kiti dengimo būdai.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugpjūčio 15 d.