ການແນະນໍາການເຄືອບສູນຍາກາດ

ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ?
ການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ: ໃນສູນຍາກາດ, ການຂາດອາກາດແລະອາຍແກັສອື່ນໆປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອຸປະກອນການຕົກຄ້າງຈາກປະຕິກິລິຍາກັບອາຍແກັສໃນບັນຍາກາດ, ເຊິ່ງອາດຈະປົນເປື້ອນຮູບເງົາ.
ການປັບປຸງການຍຶດຕິດ: ການຂາດອາກາດຫມາຍຄວາມວ່າຮູບເງົາຕິດກັບ substrate ໂດຍກົງໂດຍບໍ່ມີຖົງອາກາດຫຼືອາຍແກັສ interstitial ອື່ນໆທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຜູກພັນອ່ອນແອລົງ.
ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ: ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດອະນຸຍາດໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ດີກວ່າໃນຂະບວນການ deposition, ສົ່ງຜົນໃຫ້ຮູບເງົາມີເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບສູງຂຶ້ນ.
ການຊຶມເສົ້າໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າ: ວັດສະດຸບາງຊະນິດຈະເສື່ອມສະຫຼາຍ ຫຼືປະຕິກິລິຍາໃນອຸນຫະພູມທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການຊຶມເຊື້ອ ຖ້າພວກມັນຖືກອາຍແກັສໃນບັນຍາກາດ. ໃນສູນຍາກາດ, ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຖືກຝາກໄວ້ໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.
ປະເພດຂອງຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ
ການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD)
ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນ: ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສູນຍາກາດຈົນກ່ວາມັນລະເຫີຍແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ condenses ສຸດ substrate ໄດ້.
Sputtering: ລໍາລຽງທາດໄອອອນທີ່ມີພະລັງງານສູງຈະລະເບີດວັດຖຸເປົ້າໝາຍ, ເຮັດໃຫ້ປະລໍາມະນູຖືກຂັບໄລ່ອອກ ແລະ ຝາກໄວ້ໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນ.
Pulsed Laser Deposition (PLD): ລຳແສງເລເຊີທີ່ມີກຳລັງແຮງສູງແມ່ນໃຊ້ເພື່ອລະບາຍວັດສະດຸອອກຈາກເປົ້າໝາຍ, ເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ condenses ຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ.
ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD)
ຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ CVD (LPCVD): ປະຕິບັດໃນຄວາມກົດດັນທີ່ຫຼຸດລົງກັບອຸນຫະພູມຕ່ໍາແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): ໃຊ້ plasma ເພື່ອກະຕຸ້ນປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາກວ່າ CVD ແບບດັ້ງເດີມ.
ການຖິ້ມຊັ້ນປະລໍາມະນູ (ALD)
ALD ແມ່ນປະເພດຂອງ CVD ທີ່ຝາກຮູບເງົາໄວ້ຫນຶ່ງຊັ້ນປະລໍາມະນູ, ສະຫນອງການຄວບຄຸມທີ່ດີເລີດກ່ຽວກັບຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາແລະອົງປະກອບ.

ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ
ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ອົງປະກອບຕົ້ນຕໍທີ່ຂະບວນການເຄືອບເກີດຂຶ້ນ.
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ: ເພື່ອສ້າງແລະຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ.
Substrate Holder: ເພື່ອຖື substrate ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການເຄືອບ.
ແຫຼ່ງການລະເຫີຍ ຫຼື Sputtering: ແມ່ນຂຶ້ນກັບວິທີການ PVD ທີ່ໃຊ້.
ການສະຫນອງພະລັງງານ: ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ພະລັງງານກັບແຫຼ່ງການລະເຫີຍຫຼືສໍາລັບການສ້າງ plasma ໃນ PECVD.
ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ສໍາລັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ substrates ຫຼືການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂະບວນການ.
ລະບົບການຕິດຕາມ: ເພື່ອວັດແທກຄວາມຫນາ, ຄວາມສອດຄ່ອງ, ແລະຄຸນສົມບັດອື່ນໆຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດ
ການເຄືອບ Optical: ສໍາລັບການຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ການສະທ້ອນ, ຫຼືການເຄືອບການກັ່ນຕອງກ່ຽວກັບເລນ, ກະຈົກ, ແລະອົງປະກອບ optical ອື່ນໆ.
ການເຄືອບຕົກແຕ່ງ: ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງເຄື່ອງປະດັບ, ໂມງ, ແລະຊິ້ນສ່ວນລົດໃຫຍ່.
ການເຄືອບແຂງ: ເພື່ອປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ແລະຄວາມທົນທານຂອງເຄື່ອງມືຕັດ, ອົງປະກອບຂອງເຄື່ອງຈັກ, ແລະອຸປະກອນທາງການແພດ.
ການເຄືອບສິ່ງກີດຂວາງ: ເພື່ອປ້ອງກັນການກັດກ່ອນຫຼືການຊຶມເຂົ້າໄປໃນໂລຫະ, ພາດສະຕິກ, ຫຼືແກ້ວ.
ການເຄືອບເອເລັກໂຕຣນິກ: ສໍາລັບການຜະລິດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ, ຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆ.
ຂໍ້ດີຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດ
ຄວາມຊັດເຈນ: ການເຄືອບສູນຍາກາດອະນຸຍາດໃຫ້ຄວບຄຸມຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຮູບເງົາແລະອົງປະກອບ.
ຄວາມເປັນເອກະພາບ: ຮູບເງົາສາມາດຖືກຝາກໄວ້ໄດ້ເທົ່າທຽມກັນໃນຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນແລະພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່.
ປະສິດທິພາບ: ຂະບວນການສາມາດອັດຕະໂນມັດສູງແລະເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດປະລິມານສູງ.
ຄວາມເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ: ການເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະໃຊ້ສານເຄມີໜ້ອຍກວ່າ ແລະຜະລິດສິ່ງເສດເຫຼືອໜ້ອຍກວ່າວິທີການເຄືອບອື່ນໆ.

- ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ໄດ້​ຖືກ​ປ່ອຍ​ອອກ​ມາ​ຈາກ​ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua