De Vakuumbeschichtungsprozess huet streng Ufuerderungen un d'Applikatiounsëmfeld. Fir de konventionelle Vakuumprozess sinn seng Haaptufuerderunge fir d'Vakuumsanitatioun: et gëtt keng akkumuléiert Verschmotzungsquell op den Deeler oder der Uewerfläch vun der Ausrüstung am Vakuum, d'Uewerfläch vun der Vakuumkammer ass glat a fräi vu mëllen Tissu, Poren a Wénkelraim, sou datt d'Schweißnaht an der Vakuummaschinn de Vakuum net beaflosst, an d'Héichvakuummaschinn däerf keen Ueleg als Schmierstoff benotzen. Dat uelegfräit Ultra-Héichvakuumsystem soll den Afloss vun Uelegdamp op d'Rengheet, d'Aarbechtsleistung oder d'Uewerflächeneigenschaften vum Aarbechtsmedium vermeiden. Dat Ultra-Héichvakuummetallsystem benotzt dacks 1Cr18Ni9Ti als Strukturmaterial. De Laboratoire oder d'Atelier, wou d'Vakuumbeschichtungsmaschinn benotzt gëtt, soll propper an hygienesch gehale ginn.
Beim Vakuumbeschichtungsprozess ass d'Uewerflächenreinigung ganz wichteg. Am Fong musse all Substrater, ier se an d'Vakuumkammer vum Beschichtungsmaterial gelueden ginn, de Virbeschichtungsreinigungsprozess duerchlafen, fir d'Entfettung, d'Dekontaminatioun an d'Dehydratioun vum Werkstéck z'erreechen.
Déi Haaptquelle vun der Uewerflächenverschmotzung vu platéierten Deeler sinn: Stëbs, Schweess, Fett, Polierpaste, Ueleg, Schmierueleg an aner Substanzen, déi während der Veraarbechtung, dem Transport, der Verpackung an anere Prozesser hänke bleiwen; Gas, dat op der Uewerfläch vun den Ausrüstungsdeeler adsorbéiert an absorbéiert gëtt; den Oxidfilm, deen op der Uewerfläch vun den Deeler vun der Beschichtungsmaschinn a fiichter Loft geformt gëtt. Déi meescht vun de Verschmotzungen aus dëse Quelle kënnen duerch Entfettung oder chemesch Reinigung ewechgeholl ginn.
Späichert gereinegt Aarbechtsstécker net an der atmosphärescher Ëmwelt. Fir d'Stëbskontaminatioun ze reduzéieren an d'Aarbechtsstécker propper ze späicheren, benotzt dacks Botzschränke oder zoue Behälter fir d'Lagerung vum Aarbechtsstéck. De Glassubstrat muss an engem frësch oxidéierten Aluminiumbehälter gelagert ginn, wat d'Adsorptioun vu Kuelewaasserstoffdamp reduzéiere kann. Well frësch oxidéiert Aluminiumbehälter léiwer Kuelewaasserstoffer adsorbéieren. Uewerflächen, déi empfindlech op Waasserdamp reagéieren oder héich onstabil sinn, ginn normalerweis an engem Vakuumtrocknungsuewen gelagert.
Déi grondleeënd Ufuerderunge vum Vakuumbeschichtungsprozess un d'Ëmwelt sinn haaptsächlech: héich Rengheet am Vakuumraum, staubfräi am Beschichtungsraum, etc. A verschiddene Beräicher ass d'Loftfiichtegkeet relativ héich, dofir muss virum Beschichtungsprozess net nëmmen d'Komponenten am Substrat an an der Vakuumkammer gebotzt ginn, mä och d'Bak- an Entgasungsaarbechte gemaach ginn. Zousätzlech, fir ze verhënneren datt Ueleg an d'Vakuumkammer kënnt, ass et och néideg, op d'Uelegréckgab- an d'Uelegblockéierungsmoossname vun der Tankdiffusiounspompel opzepassen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 18. Februar 2023