진공 코팅 공정은 적용 환경에 대한 엄격한 요건을 충족해야 합니다. 기존 진공 공정의 경우, 진공 위생에 대한 주요 요건은 다음과 같습니다. 진공 내 장비의 부품이나 표면에 누적된 오염원이 없어야 하며, 진공 챔버 표면이 매끄럽고 연조직, 기공, 모서리 공간이 없어야 합니다. 따라서 진공 장비의 용접부가 진공에 영향을 미치지 않아야 하며, 고진공 장비는 윤활제로 오일을 사용하지 않아야 합니다. 오일프리 초고진공 시스템은 오일 증기가 작동 매체의 순도, 작업 성능 또는 표면 특성에 미치는 영향을 방지해야 합니다. 초고진공 금속 시스템은 종종 구조재로 1Cr18Ni9Ti를 사용합니다. 진공 코팅 장비가 설치된 실험실이나 작업장은 깨끗하고 위생적으로 유지되어야 합니다.
진공 코팅 공정에서 표면 세정 처리는 매우 중요합니다. 기본적으로 모든 기판을 코팅 진공 챔버에 넣기 전에 도금 전 세정 공정을 거쳐 작업물의 탈지, 오염 제거 및 탈수를 완료해야 합니다.
도금 부품 표면 오염의 주요 원인은 다음과 같습니다. 가공, 운송, 포장 및 기타 공정 중 먼지, 땀, 그리스, 연마 페이스트, 오일, 윤활유 및 기타 물질이 부착됩니다. 장비 부품 표면에 흡착 및 흡수되는 가스. 습한 공기 중에서 코팅 장비 부품 표면에 형성되는 산화막. 이러한 오염원은 대부분 탈지 또는 화학 세척으로 제거할 수 있습니다.
세척된 작업물은 대기 환경에 보관하지 마십시오. 먼지 오염을 줄이고 작업물 보관 공간을 깨끗하게 유지하려면 세척 캐비닛이나 밀폐 용기를 사용하여 작업물을 보관하십시오. 유리 기판은 탄화수소 증기의 흡착을 줄일 수 있도록 새로 산화된 알루미늄 용기에 보관해야 합니다. 새로 산화된 알루미늄 용기는 탄화수소를 우선적으로 흡착하기 때문입니다. 수증기에 민감하거나 매우 불안정한 표면은 일반적으로 진공 건조 오븐에 보관합니다.
진공 코팅 공정의 환경 관련 기본 요건은 주로 진공실의 높은 청결도, 코팅실의 무진공성 등을 포함합니다. 일부 지역의 경우 습도가 비교적 높기 때문에 도금 전에 기판과 진공실의 부품을 세척해야 할 뿐만 아니라 베이킹 및 탈기 작업도 수행해야 합니다. 또한, 오일이 진공실로 유입되는 것을 방지하기 위해 급유 확산 펌프의 오일 회수 및 오일 차단 조치에도 주의를 기울여야 합니다.
게시 시간: 2023년 2월 18일