ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃបច្ចេកវិទ្យាវេចខ្ចប់ទំនើប TGV (Through Glass Via) កំពុងក្លាយជាដំណោះស្រាយភ្ជាប់ដ៏សំខាន់សម្រាប់ស្រទាប់កញ្ចក់បន្តិចម្តងៗ។ ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីគុណសម្បត្តិរបស់វាដូចជាការបាត់បង់ឌីអេឡិចត្រិចទាប ស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃម៉ាស៊ីន និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់រឹងមាំ TGV បានបង្ហាញពីដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះក្នុងការទំនាក់ទំនងអុបទិក MEMS ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងការតភ្ជាប់ល្បឿនលឿន ហើយឥឡូវនេះកំពុងពង្រីកខ្លួនទៅជាសេណារីយ៉ូកម្មវិធីកម្រិតខ្ពស់បន្ថែមទៀត។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការវិវត្តន៍នៃរចនាសម្ព័ន្ធ TGV ក៏នាំមកនូវបញ្ហាប្រឈមថ្មីៗក្នុងការផលិតផងដែរ៖ អង្កត់ផ្ចិតខ្សែបញ្ជូនតូចជាង ធរណីមាត្រស្មុគស្មាញជាង និងសមាមាត្រទិដ្ឋភាពកើនឡើងជាបន្តបន្ទាប់។ ជាពិសេស ក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃអង្កត់ផ្ចិតខ្សែបញ្ជូន 30 μm និងសមាមាត្រទិដ្ឋភាពលើសពី 10:1 ការសម្រេចបាននូវការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជឯកសណ្ឋាននៅខាងក្នុងខ្សែបញ្ជូនត្រូវបានទទួលស្គាល់ជាយូរមកហើយថាជាឧបសគ្គដ៏សំខាន់បំផុតមួយ។ ទោះបីជាមិនសូវឃើញនៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ដំណើរការក៏ដោយ ជំហាននេះកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវដំណើរការអគ្គិសនីរបស់ឧបករណ៍ និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។
បញ្ហាប្រឈមលេខ 1 បច្ចុប្បន្ននៅក្នុងថ្នាំកូត Micro-Via
នៅក្នុងដំណើរការ TGV និង TSV អង្កត់ផ្ចិតឆ្លងកាត់ធម្មតាអាចមានទំហំតូចដល់ 30 μm ជាមួយនឹងតម្រូវការសមាមាត្រទិដ្ឋភាពលើសពី 10:1។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌទាំងនេះ វិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតធម្មតាប្រឈមមុខនឹងដែនកំណត់មួយចំនួន៖
តំបន់ស្លាប់នៃការដាក់ស្រទាប់៖ ឥទ្ធិពលស្រមោលខ្លាំងតាមបណ្តោយជញ្ជាំងចំហៀង ជារឿយៗនាំឱ្យមានខ្សែភាពយន្តមិនជាប់គ្នា ដែលធ្វើឱ្យខូចចរន្តអគ្គិសនី និងភាពបិទជិត។
ភាពមិនស្មើគ្នានៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត៖ ភាពខុសគ្នាគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃអត្រាដាក់ស្រទាប់រវាងច្រកចូល និងបាតបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហារេស៊ីស្តង់ក្នុងតំបន់។
ភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈច្រើនមិនគ្រប់គ្រាន់៖ នៅពេលដាក់សម្ភារៈច្រើនដូចជា Cu, Ti, W, Ni និង Pt លើស្រទាប់កញ្ចក់ ឬស៊ីលីកុន វាពិបាកក្នុងការធានាទាំងភាពស្អិត និងឯកសណ្ឋាននៅទូទាំងស្រទាប់ទាំងអស់។
បញ្ហាទាំងនេះប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ទិន្នផល បង្កើនហានិភ័យនៃការងារឡើងវិញ និងថ្លៃដើមដំណើរការ និងរឹតត្បិតប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មក្នុងបរិមាណច្រើន។
លេខ 2. ដំណោះស្រាយថ្នាំកូតជ្រៅតាមរយៈម៉ាស៊ីនបូមធូលី ZHENHUA
គុណសម្បត្តិឧបករណ៍៖
ថ្នាំកូតជ្រៅដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង
ជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតជ្រៅដែលមានកម្មសិទ្ធិរបស់ ZHENHUA ការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជឯកសណ្ឋានអាចសម្រេចបានសូម្បីតែនៅក្នុងច្រកតូចបំផុតដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 30 μm ជាមួយនឹងសមាមាត្រទិដ្ឋភាពលើសពី 10:1—យកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមយូរអង្វែងនៅក្នុងថ្នាំកូតជ្រៅស្មុគស្មាញ។
ការប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការ ការគាំទ្រស្រទាប់ខាងក្រោមច្រើនទំហំ
មានសមត្ថភាពក្នុងការដំណើរការស្រទាប់កញ្ចក់ទំហំផ្សេងៗគ្នា រួមទាំងទំហំ 600×600 ម.ម, 510×515 ម.ម និងទ្រង់ទ្រាយធំជាងនេះ។
ភាពបត់បែននៃដំណើរការជាមួយនឹងភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈច្រើនប្រភេទ
ប្រព័ន្ធនេះគាំទ្រដល់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានសមត្ថភាពដឹកនាំ និងដំណើរការដូចជា Cu, Ti, W, Ni និង Pt ដែលអាចឱ្យមានដំណោះស្រាយដែលត្រូវបានរៀបចំឡើងសម្រាប់ទាំងតម្រូវការដឹកនាំអគ្គិសនី និងភាពធន់នឹងការច្រេះ។
ការអនុវត្តឧបករណ៍មានស្ថេរភាព និងការថែទាំងាយស្រួល
បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យឆ្លាតវៃ ឧបករណ៍នេះអាចឱ្យមានការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងនៃឯកសណ្ឋានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។ ការរចនាម៉ូឌុលធានានូវភាពងាយស្រួលនៃការថែទាំ និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។
វិសាលភាពនៃការដាក់ពាក្យ៖
អាចអនុវត្តបានចំពោះដំណើរការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់របស់ TGV/TSV/TMV ដែលអាចឱ្យមានការស្រោបស្រទាប់គ្រាប់ពូជនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធជ្រៅដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពរហូតដល់ 10:1។
ដោយសារទីផ្សារវេចខ្ចប់ទំនើបបន្តពង្រីក តម្រូវការសម្រាប់មីក្រូវ៉ាស និងរចនាសម្ព័ន្ធសមាមាត្រខ្ពស់នឹងកើនឡើងបន្ថែមទៀត។ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតជ្រៅរបស់ ZHENHUA Vacuum ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយដែលអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានបាន និងត្រៀមខ្លួនរួចជាស្រេចសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំចំពោះបញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗនៃថ្នាំកូតនៅក្នុង TGV និងដំណើរការវេចខ្ចប់ជំនាន់ក្រោយផ្សេងទៀត ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពវេចខ្ចប់ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃផលិតផល។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៥