ហេតុអ្វីត្រូវប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលី?
ការការពារការចម្លងរោគ៖ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ អវត្តមាននៃខ្យល់ និងឧស្ម័នផ្សេងទៀត រារាំងសម្ភារៈដែលបន្សល់ទុកពីប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នបរិយាកាស ដែលអាចបំពុលខ្សែភាពយន្ត។
ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតជាប់៖ ការខ្វះខ្យល់មានន័យថា ខ្សែភាពយន្តនេះប្រកាន់ខ្ជាប់ដោយផ្ទាល់ទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមដោយមិនមានហោប៉ៅខ្យល់ ឬឧស្ម័នអន្តរកម្មផ្សេងទៀត ដែលអាចធ្វើឱ្យទំនាក់ទំនងចុះខ្សោយ។
គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត៖ លក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងកាន់តែប្រសើរឡើងលើដំណើរការនៃការបញ្ចេញចោល ដែលនាំឱ្យខ្សែភាពយន្តមានឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពខ្ពស់ជាងមុន។
ការធ្លាក់ចុះនៅសីតុណ្ហភាពទាប៖ វត្ថុធាតុមួយចំនួននឹងរលួយ ឬមានប្រតិកម្មនៅសីតុណ្ហភាពដែលតម្រូវឱ្យមានការធ្លាក់ចុះ ប្រសិនបើវាប៉ះនឹងឧស្ម័នបរិយាកាស។ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ សម្ភារៈទាំងនេះអាចដាក់នៅសីតុណ្ហភាពទាប។
ប្រភេទនៃដំណើរការបូមធូលី
ការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD)
ការហួតដោយកំដៅ៖ វត្ថុធាតុត្រូវបានកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេររហូតដល់វាហួត ហើយបន្ទាប់មក condenses នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
Sputtering៖ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់បំផ្ទុះសម្ភារៈគោលដៅ បណ្តាលឱ្យអាតូមត្រូវបានច្រានចេញ និងដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
Pulsed Laser Deposition (PLD)៖ កាំរស្មីឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីបំភាយវត្ថុចេញពីគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មក condenses នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD)
សម្ពាធទាប CVD (LPCVD)៖ អនុវត្តនៅសម្ពាធកាត់បន្ថយដល់សីតុណ្ហភាពទាប និងធ្វើឲ្យគុណភាពខ្សែភាពយន្តប្រសើរឡើង។
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): ប្រើប្លាស្មាដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិកម្មគីមីសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពទាបជាង CVD ប្រពៃណី។
ការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALD)
ALD គឺជាប្រភេទ CVD ដែលដាក់ស្រទាប់អាតូមិកមួយក្នុងពេលតែមួយ ដោយផ្តល់នូវការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះលើកម្រាស់ និងសមាសធាតុនៃខ្សែភាពយន្ត។
បរិក្ខារដែលប្រើក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
Vacuum Chamber: សមាសធាតុសំខាន់ដែលដំណើរការថ្នាំកូតកើតឡើង។
ម៉ាស៊ីនបូមធូលី៖ ដើម្បីបង្កើត និងថែរក្សាបរិយាកាសបូមធូលី។
Substrate Holder: ដើម្បីកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមនៅនឹងកន្លែងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូត។
ប្រភពនៃការហួត ឬការហៀរសំបោរ៖ អាស្រ័យលើវិធីសាស្ត្រ PVD ដែលបានប្រើ។
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល៖ សម្រាប់ប្រើប្រាស់ថាមពលទៅកាន់ប្រភពហួត ឬសម្រាប់បង្កើតប្លាស្មានៅក្នុង PECVD។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព៖ សម្រាប់កំដៅស្រទាប់ខាងក្រោម ឬគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដំណើរការ។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ៖ ដើម្បីវាស់កម្រាស់ ឯកសណ្ឋាន និងលក្ខណៈសម្បត្តិផ្សេងទៀតនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។
ការអនុវត្តថ្នាំកូត Vacuum
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ សម្រាប់ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះ ឆ្លុះបញ្ចាំង ឬតម្រងនៅលើកញ្ចក់ កញ្ចក់ និងសមាសធាតុអុបទិកផ្សេងទៀត។
ថ្នាំកូតតុបតែង៖ សម្រាប់ផលិតផលជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងគ្រឿងអលង្ការ នាឡិកា និងគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត។
ថ្នាំកូតរឹង៖ ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពធន់លើឧបករណ៍កាត់ សមាសធាតុម៉ាស៊ីន និងឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ។
របាំងការពារ៖ ដើម្បីការពារការច្រេះ ឬការជ្រាបចូលទៅក្នុងស្រទាប់ដែក ប្លាស្ទិក ឬកញ្ចក់។
ថ្នាំកូតអេឡិចត្រូនិច៖ សម្រាប់ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា កោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្សេងទៀត។
គុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូត Vacuum
ភាពជាក់លាក់៖ ការស្រោបដោយសុញ្ញកាសអនុញ្ញាតឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងច្បាស់លាស់លើកម្រាស់ និងសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។
ឯកសណ្ឋាន៖ ខ្សែភាពយន្តអាចដាក់បានស្មើៗគ្នាលើទម្រង់ស្មុគស្មាញ និងផ្ទៃធំ។
ប្រសិទ្ធភាព៖ ដំណើរការអាចមានលក្ខណៈស្វ័យប្រវត្តិខ្ពស់ និងស័ក្តិសមសម្រាប់ការផលិតក្នុងបរិមាណខ្ពស់។
ភាពស្និទ្ធស្នាលផ្នែកបរិស្ថាន៖ ថ្នាំកូតបូមធូលីជាធម្មតាប្រើសារធាតុគីមីតិចជាងមុន និងបង្កើតកាកសំណល់តិចជាងវិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ១៥-សីហា-២០២៤