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真空コーティング機における機械式ポンプの使用

記事出典:Zhenhuavacuum
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公開日:2007年11月22日

機械式ポンプは前段ポンプとも呼ばれ、最も広く使用されている低真空ポンプの一つです。オイルシールを使用し、ポンプ内の吸引キャビティの容積を機械的な方法で連続的に変化させることで、ポンプ内のガス容積を連続的に膨張させ、真空状態を実現します。機械式ポンプには多くの種類があり、一般的なものとしては、スライドバルブ式、ピストン往復動式、固定ベーン式、回転ベーン式などがあります。

機械式ポンプの部品
機械式ポンプは乾燥した空気を汲み出すのによく使われますが、高酸素含有量、爆発性、腐食性のガスを汲み出すことはできません。機械式ポンプは一般に永久ガスを汲み出すのに使われますが、水とガスに良い影響を与えないので、水とガスを汲み出すことはできません。ロータリーベーンポンプの主な部品は、ステーター、ローター、破片などです。ローターはステーターの内側にありますが、ステーターとは異なる軸を持ち、2つの内側の接線円のようです。ローターのスロットには2つの破片が装備されており、2つの破片の真ん中には、破片がステーターの内壁にしっかりと取り付けられるようにスプリングが装備されています。
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機械式ポンプの動作原理
2つの破片は交互に2つの役割を果たします。1つは入口からガスを吸い込み、もう1つは吸い込んだガスを圧縮してポンプからガスを排出します。ローターが1回転するごとに、ポンプは2回の吸入と2回の減圧を行います。
ポンプが時計回りに連続回転すると、ロータリーベーンポンプは入口からガスを連続的に吸入し、排気口からガスを排出することで、容器内のポンプ目的を達成します。ポンプの到達真空度を向上させるため、ポンプステーターはオイルに浸漬され、各箇所の隙間や有害空間に十分なオイルが保持されます。オイルは潤滑油としての役割を担うと同時に、隙間や有害空間を密閉・遮断し、ガス分子が様々な経路を通って低圧空間へ逆流するのを防ぐ役割を果たします。
機械式ポンプの収縮効果は、モーター速度とベルトの張りにも関連しています。モーターベルトが比較的緩んでいる場合、モーター速度が非常に遅く、機械式ポンプの収縮効果も悪化するため、頻繁にメンテナンス、スポットチェックを行う必要があります。機械式ポンプのオイルシール効果も頻繁にスポットチェックする必要があります。オイルが少なすぎるとシール効果に達しず、ポンプが漏れ、オイルが多すぎると吸入穴が詰まり、空気を吸い込んで排出できません。一般的に、オイルレベルはラインより0.5cm下になります。。

前段ポンプとして機械式ポンプを備えたルーツポンプ
ルーツポンプ:一対の二葉または多葉ローターが同期して高速回転する機械式ポンプです。動作原理はルーツブロワーと同じであるため、ルーツ真空ポンプとも呼ばれ、100~1Paの圧力範囲で大きな排気速度を発揮します。この圧力範囲では、機械式ポンプの減圧能力が不十分であるという欠点を補います。このポンプは空気から始動することも、直接空気を排出することもできません。その役割は、吸気口と排気口の圧力差を高めることだけです。残りの機能は機械式ポンプの完成に必要なため、前段ポンプとして機械式ポンプを装備する必要があります。

機械式ポンプの注意事項とメンテナンス

機械式ポンプの使用中は、以下の点に注意する必要があります。
1、機械式ポンプは清潔で乾燥した場所に設置する必要があります。
2、ポンプは清潔で乾燥した状態に保つ必要があります。ポンプ内のオイルはシール効果と潤滑効果があるため、指定された量に従って追加する必要があります。
3、ポンプオイルを定期的に交換します。交換する際は、前回の廃油を先に排出し、少なくとも3ヶ月から6ヶ月に1回交換するサイクルです。
4. 指示に従ってワイヤーを接続します。
5、機械式ポンプは動作を停止する前に空気入口バルブを閉じ、その後電源をオフにして空気バルブを開き、空気が空気入口を通ってポンプ内に入り込む必要があります。
6、ポンプが作動しているとき、オイルの温度は 75℃ を超えてはいけません。そうでないと、オイルの粘度により温度が低くなりすぎて、密閉性が悪くなります。
7、機械式ポンプのベルトの締まり具合、モーターの速度、ルーツポンプモーターの速度、シールリングのシール効果を定期的に点検してください。

–この記事は、真空コーティング装置メーカーであるGuangdong Zhenhua Technologyによって公開されています。


投稿日時: 2022年11月7日