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虹色をコーティングするスパッタリングコーティング装置

記事出典:振華真空
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公開日:2007年11月22日

マグネトロンスパッタリングは、物理蒸着の一種です。一般的なスパッタリング法は、金属、半導体、絶縁体などの材料のコーティングに使用でき、大きな負荷容量、操作の容易さ、コーティング膜が非常に薄く滑らかで密着性が良いなどの特徴があります。マグネトロンスパッタリングは、ターゲットの陰極表面に磁場を導入し、磁場による荷電粒子の拘束を利用してプラズマ密度を高めることで、スパッタリング速度を向上させることができます。完全なマグネトロンスパッタリング真空コーティング装置は多くの部品で構成されており、各システムが異なる機能を果たし、最終的に高品質のコーティングを実現します。マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置は、真空チャンバー、バルブ、真空ポンプシステム、真空測定システム、陰極ターゲット、膜厚計、電気空気圧制御システムなどで構成されています。マグネトロンスパッタリング光学コーターの本体は真空チャンバーであり、そのサイズは製品基板のサイズとユーザーの容量によって決まります。チャンバーはSUS304ステンレス鋼で作られており、錆びにくく、炭素鋼よりも耐久性があり、メンテナンスが容易です。本装置は中周波スパッタリングコーティング技術を採用し、酸化ケイ素や酸化ニオブなどの酸化物材料を用いて膜厚計で光学装飾膜を成膜します。マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置で製造された膜は、密着性が高く純度も高く、異なる成分の様々な材料を同時にスパッタリングすることが可能です。

グラデーションカラーのプロセスは、一般的にマグネトロンスパッタリング光学コーティング装置によって行われます。現在、多くの携帯電話の背面カバーは、PVD真空コーティングのグラデーションカラープロセスを採用しています。もちろん、光学コーティング装置や蒸着コーティング装置でも同様の虹色の7色効果を実現できますが、色は規則的なグラデーションではなく、品質に違いがあります。マグネトロンスパッタリングは、物理蒸着の一種です。一般的なスパッタリング法は、金属、半導体、絶縁体などの材料のコーティングに使用でき、大きな負荷容量、操作の容易さ、コーティング膜が非常に細かく滑らかで、密着性が良いなどの特徴があります。

マグネトロンスパッタリングは、ターゲットの陰極表面に磁場を導入し、磁場による荷電粒子への拘束を利用してプラズマ密度を高めることで、スパッタリング速度を向上させることができます。完全なマグネトロンスパッタリング真空コーティング装置は多くの部品で構成されており、各システムは異なる機能を果たし、最終的に高品質のコーティングを実現します。マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置は、真空チャンバー、バルブ、真空ポンプシステム、真空測定システム、陰極ターゲット、膜厚計、電気空気圧制御システムなどで構成されています。

マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置の本体は真空チャンバーであり、そのサイズは製品基板のサイズとユーザーの生産能力によって決定されます。チャンバーはSUS304ステンレス鋼製で、錆びにくく、炭素鋼よりも耐久性が高く、メンテナンスも容易です。本装置は中周波スパッタリングコーティング技術を採用し、酸化ケイ素や酸化ニオブなどの酸化物材料を用いて膜厚計で光学装飾膜をコーティングします。マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置で製造された膜は、密着性が高く純度も高く、異なる成分の様々な材料を同時にスパッタリングすることができます。