Mashiinka dahaadhka Sputtering si loogu dahaadho midabada qaanso roobaadka
Kala-baxa Magnetron waa nooc ka mid ah dhigista uumiga jirka. Habka guud ee kala-baxa waxaa loo isticmaali karaa in lagu dahaadho birta, semiconductor, insulator iyo agab kale, waxayna leedahay astaamo awood rarid oo weyn, si fudud loo shaqayn karo, filimka dahaarka waa mid aad u fiican oo siman, oo leh isku-dhejin wanaagsan iyo wixii la mid ah. Kala-baxa Magnetron wuxuu kordhin karaa heerka kala-baxa isagoo soo bandhigaya goob birlab ah oo ku taal dusha sare ee bartilmaameedka iyo isticmaalka xaddidaadda goobta birlabka ee walxaha la dallacay si loo kordhiyo cufnaanta balaasmaha. Mashiinka dahaarka faakuumka ee kala-baxa magnetron oo dhammaystiran wuxuu ka kooban yahay qaybo badan, nidaam kastaa wuxuu dhammaystiraa shaqooyin kala duwan, ugu dambayntiina wuxuu gaaraa dahaarka tayada sare leh ee ugu dambeeya. Qalabka dahaarka indhaha ee kala-baxa magnetron wuxuu ka kooban yahay qol faakuum ah, waalka, nidaamka bamgareynta faakuumka, nidaamka cabbiraadda faakuumka, bartilmaameedka cathode, cabbirka dhumucda filimka, nidaamka xakamaynta electro-pneumatic, iwm. Jidhka ugu weyn ee dahaarka indhaha ee kala-baxa magnetron waa qol faakuum ah, cabbirka waxaa lagu go'aamiyaa cabbirka substrate-ka badeecada iyo awoodda isticmaalaha. Qolku wuxuu ka samaysan yahay birta aan miridhku lahayn ee SUS304, kaas oo aan si fudud loo miridhsan karin, ka waara birta kaarboonka ah, waana mid si fudud loo dayactiri karo. Mashiinku wuxuu qaatay tignoolajiyada dahaarka ee soo noqnoqda ee dhexdhexaadka ah, isagoo ku dahaadhay walxo oksaydh ah sida silicon oxide iyo niobium oxide iwm, oo leh cabbir dhumucda filimka si loo sameeyo filim qurxin oo indhaha ah. Filimka uu sameeyay mashiinka dahaarka indhaha ee magnetron sputtering wuxuu leeyahay dhejis xooggan iyo daahirnimo sare, waxaana lagu shubi karaa walxo kala duwan oo leh qaybo kala duwan isla waqtigaas.
Habka isbeddelka tartiib tartiib ah ee midabka waxaa guud ahaan sameeya mashiinka dahaarka indhaha ee magnetron sputtering. Waqtigan xaadirka ah, daboolka dambe ee taleefannada gacanta badan wuxuu qaataa dahaarka faakuumka ee PVD habka isbeddelka tartiib tartiib ah ee midabka. Dabcan, mashiinka dahaarka indhaha iyo mashiinka dahaarka uumiga ayaa sidoo kale samayn kara saameyn midab oo isku mid ah oo qaanso roobaadka ah, laakiin midabyadu ma aha kuwo isku mid ah oo weli waxaa jira kala duwanaansho tayada. Duufinta Magnetron waa nooc ka mid ah dhigista uumiga jirka. Habka guud ee dahaarka waxaa loo isticmaali karaa in lagu dahaadho birta, semiconductor, insulator iyo agab kale, waxayna leedahay astaamaha awoodda rarista oo weyn, si fudud loo shaqayn karo, filimka dahaarka waa mid aad u fiican oo siman, oo leh dhejis wanaagsan iwm.
Kala-baxa magnetron wuxuu kordhin karaa heerka kala-baxa isagoo soo bandhigaya goob birlab ah oo ku taal dusha sare ee bartilmaameedka iyo isticmaalka xaddidaadda goobta birlabka ee walxaha la dallacay si loo kordhiyo cufnaanta balaasmaha. Mashiinka dahaarka faakuumka ee magnetron oo dhammaystiran wuxuu ka kooban yahay qaybo badan, nidaam kastaa wuxuu dhammaystiraa shaqooyin kala duwan, ugu dambayntiina wuxuu gaaraa dahaarka tayada sare leh ee ugu dambeeya. Qalabka dahaarka indhaha ee magnetron-ka wuxuu ka kooban yahay qol faakuum ah, waalka, nidaamka bamgareynta faakuumka, nidaamka cabbirka faakuumka, bartilmaameedka cathode, cabbirka dhumucda filimka, nidaamka xakamaynta electro-pneumatic, iwm.
Qaybta ugu weyn ee dahaarka indhaha ee magnetron sputtering waa qol faaruq ah, cabbirka waxaa lagu go'aamiyaa cabbirka substrate-ka badeecada iyo awoodda isticmaalaha. Qolku wuxuu ka samaysan yahay bir aan miridhku karin oo SUS304 ah, kaas oo aan si fudud loo miridhku u fududayn, ka waara birta kaarboonka ah oo si fudud loo dayactiri karo. Mashiinka ayaa qaatay tignoolajiyada dahaarka ee sputtering ee soo noqnoqda dhexdhexaadka ah, iyadoo lagu dahaadhay walxo oksaydh ah sida silicon oxide iyo niobium oxide iwm, oo leh cabbirka dhumucda filimka si loo sameeyo filim qurxin indhaha ah. Filimka uu sameeyay mashiinka dahaarka indhaha ee magnetron sputtering wuxuu leeyahay dhejis xooggan iyo daahirnimo sare, waxaana lagu shubi karaa walxo kala duwan oo leh qaybo kala duwan isla waqtigaas.




