Mochini o koahelang ka ho phunya ho apara mebala ea mookoli
Ho phunya ha Magnetron ke mofuta oa ho phunya ha mouoane ka 'mele. Mokhoa o akaretsang oa ho phunya o ka sebelisoa ho koahela tšepe, semiconductor, insulator le lisebelisoa tse ling, 'me o na le litšobotsi tsa bokhoni bo boholo ba ho jara, ho bonolo ho o sebetsa, filimi ea ho phunya e ntle haholo ebile e boreleli, e na le ho khomarela hantle joalo-joalo. Ho phunya ha Magnetron ho ka eketsa sekhahla sa ho phunya ka ho hlahisa matla a khoheli holim'a cathode ea sepheo le ho sebelisa thibelo ea matla a khoheli holim'a likaroloana tse tjhajisitsoeng ho eketsa bongata ba plasma. Mochini o felletseng oa ho phunya ha magnetron o entsoe ka likarolo tse ngata, sistimi ka 'ngoe e phetha mesebetsi e fapaneng, 'me qetellong e fihlella ho phunya ha boleng bo holimo. Lisebelisoa tsa ho phunya ha magnetron li entsoe ka kamore ea vacuum, valve, sistimi ea ho phunya ha vacuum, sistimi ea ho lekanya vacuum, sepheo sa cathode, gauge ea botenya ba filimi, sistimi ea taolo ea electro-pneumatic, jj. 'Mele o ka sehloohong oa coater ea optical ea magnetron ke kamore ea vacuum, boholo bo khethoa ke boholo ba substrate ea sehlahisoa le bokhoni ba mosebelisi. Kamore ena e entsoe ka tšepe e sa hloekang ea SUS304, e seng bonolo ho e rusa, e tšoarella ho feta tšepe ea carbon 'me e bonolo ho e hlokomela. Mochini o sebelisitse theknoloji ea ho roala ea maqhubu a mahareng, e koahelang ka thepa ea oxide joalo ka silicon oxide le niobium oxide jj, ka tekanyo ea botenya ba filimi ho etsa filimi ea mekhabiso ea optical. Filimi e entsoeng ke mochini oa ho roala oa optical oa magnetron sputtering e na le khokahano e matla le bohloeki bo phahameng, 'me e ka sputtering ka thepa e fapaneng e nang le likarolo tse fapaneng ka nako e le' ngoe.
Mokhoa oa ho fetola 'mala butle-butle o etsoa ke mochini oa ho roala oa magnetron sputtering optical. Hona joale, sekoahelo se ka morao sa lifono tse ngata tsa selefouno se sebelisa mokhoa oa ho fetola 'mala butle-butle oa ho roala ka vacuum PVD. Ehlile, mochini oa ho roala oa optical le mochini oa ho roala oa mouoane le tsona li ka etsa phello e tšoanang ea mebala e supileng ea mookoli, empa mebala ha se li-gradients tse tloaelehileng 'me ho ntse ho e-na le phapang ea boleng. Ho roala ha Magnetron ke mofuta oa ho beha mouoane oa' mele. Mokhoa o akaretsang oa ho roala o ka sebelisoa ho roala tšepe, semiconductor, insulator le lisebelisoa tse ling, 'me o na le litšobotsi tsa bokhoni bo boholo ba ho jara, ho bonolo ho o sebetsa, filimi ea ho roala e ntle haholo ebile e boreleli, e na le khokahano e ntle le tse ling.
Ho phunya ha Magnetron ho ka eketsa sekhahla sa ho phunya ka ho hlahisa matla a makenete holim'a cathode ea sepheo le ho sebelisa thibelo ea matla a makenete holim'a likaroloana tse tjhajisitsoeng ho eketsa bongata ba plasma. Mochini o felletseng oa ho phunya ha magnetron o entsoe ka likarolo tse ngata, sistimi ka 'ngoe e phetha mesebetsi e fapaneng, 'me qetellong e fihlella ho phunya ha boleng bo holimo. Lisebelisoa tsa ho phunya ha magnetron li entsoe ka kamore ea vacuum, valve, sistimi ea ho phunya ha vacuum, sistimi ea ho lekanya vacuum, sepheo sa cathode, gauge ea botenya ba filimi, sistimi ea taolo ea electro-pneumatic, jj.
'Mele o ka sehloohong oa magnetron sputtering optical coater ke kamore ea vacuum, boholo bo khethoa ke boholo ba substrate ea sehlahisoa le bokhoni ba mosebelisi. Kamore e entsoe ka tšepe e sa hloekang ea SUS304, e seng bonolo ho e rusa, e tšoarella ho feta tšepe ea carbon 'me e bonolo ho e hlokomela. Theknoloji ea ho roala ea sputtering ea maqhubu a mahareng e sebelisitsoeng ke mochini, e koahela ka thepa ea oxide joalo ka silicon oxide le niobium oxide jj, e nang le gauge ea botenya ba filimi ho etsa filimi ea mekhabiso ea optical. Filimi e entsoeng ke mochini oa magnetron sputtering optical coating e na le khokahano e matla le bohloeki bo phahameng, 'me e ka sputtering ka mefuta e fapaneng ea lisebelisoa tse nang le likarolo tse fapaneng ka nako e le' ngoe.




