เครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์สำหรับเคลือบสีรุ้ง
การสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนเป็นการเคลือบด้วยไอระเหยชนิดหนึ่ง โดยทั่วไปแล้ววิธีการสปัตเตอร์สามารถใช้เคลือบโลหะ สารกึ่งตัวนำ ฉนวน และวัสดุอื่นๆ ได้ มีคุณสมบัติเด่นคือ รับน้ำหนักได้มาก ใช้งานง่าย ฟิล์มเคลือบละเอียดและเรียบเนียน มีการยึดเกาะที่ดี เป็นต้น การสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนสามารถเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ได้โดยการใช้สนามแม่เหล็กบนพื้นผิวแคโทดของเป้าหมาย และใช้ข้อจำกัดของสนามแม่เหล็กต่ออนุภาคที่มีประจุเพื่อเพิ่มความหนาแน่นของพลาสมา เครื่องเคลือบสุญญากาศแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนที่สมบูรณ์ประกอบด้วยชิ้นส่วนหลายชิ้น แต่ละระบบทำหน้าที่แตกต่างกัน และสุดท้ายเพื่อให้ได้การเคลือบคุณภาพสูง อุปกรณ์เคลือบแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนประกอบด้วยห้องสุญญากาศ วาล์ว ระบบปั๊มสุญญากาศ ระบบวัดสุญญากาศ เป้าหมายแคโทด เกจวัดความหนาฟิล์ม ระบบควบคุมไฟฟ้าและลม เป็นต้น ส่วนประกอบหลักของเครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนคือห้องสุญญากาศ ขนาดของห้องสุญญากาศจะขึ้นอยู่กับขนาดของวัสดุที่ต้องการเคลือบและกำลังการผลิตของผู้ใช้ ตัวเครื่องทำจากสแตนเลส SUS304 ซึ่งไม่เป็นสนิมง่าย ทนทานกว่าเหล็กกล้าคาร์บอน และบำรุงรักษาง่าย เครื่องจักรใช้เทคโนโลยีการเคลือบแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลาง โดยเคลือบด้วยวัสดุออกไซด์ เช่น ซิลิคอนออกไซด์และไนโอเบียมออกไซด์ เป็นต้น พร้อมมาตรวัดความหนาของฟิล์มเพื่อสร้างฟิล์มตกแต่งทางแสง ฟิล์มที่ผลิตโดยเครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์แมกเนตรอนมีคุณสมบัติการยึดเกาะที่แข็งแรงและความบริสุทธิ์สูง และสามารถสปัตเตอร์ด้วยวัสดุหลากหลายชนิดที่มีส่วนประกอบต่างกันได้พร้อมกัน
โดยทั่วไปแล้ว กระบวนการเปลี่ยนสีแบบค่อยเป็นค่อยไปจะทำโดยเครื่องเคลือบผิวแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอน ปัจจุบัน ฝาหลังของโทรศัพท์มือถือหลายรุ่นใช้กระบวนการเคลือบผิวแบบ PVD สุญญากาศเพื่อให้ได้สีที่ค่อยเป็นค่อยไป แน่นอนว่า เครื่องเคลือบผิวแบบออปติคอลและเครื่องเคลือบผิวแบบระเหยก็สามารถสร้างเอฟเฟกต์สีรุ้งเจ็ดสีที่คล้ายกันได้เช่นกัน แต่สีจะไม่ไล่ระดับอย่างสม่ำเสมอและคุณภาพก็ยังมีความแตกต่างกันอยู่ การสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนเป็นวิธีการตกตะกอนไอระเหยทางกายภาพชนิดหนึ่ง วิธีการสปัตเตอร์โดยทั่วไปสามารถใช้เคลือบโลหะ สารกึ่งตัวนำ ฉนวน และวัสดุอื่นๆ ได้ และมีคุณสมบัติเด่นคือ มีความสามารถในการรับน้ำหนักสูง ใช้งานง่าย ฟิล์มเคลือบมีความละเอียดและเรียบเนียนมาก มีการยึดเกาะที่ดี และอื่นๆ
การสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนสามารถเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ได้โดยการใช้สนามแม่เหล็กบนพื้นผิวแคโทดของเป้าหมาย และใช้ข้อจำกัดของสนามแม่เหล็กต่ออนุภาคที่มีประจุเพื่อเพิ่มความหนาแน่นของพลาสมา เครื่องเคลือบผิวแบบสุญญากาศด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนที่สมบูรณ์ประกอบด้วยชิ้นส่วนหลายชิ้น แต่ละระบบทำหน้าที่แตกต่างกัน และในที่สุดก็จะได้การเคลือบผิวที่มีคุณภาพสูง อุปกรณ์เคลือบผิวแบบออปติคอลด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนประกอบด้วยห้องสุญญากาศ วาล์ว ระบบปั๊มสุญญากาศ ระบบวัดสุญญากาศ เป้าหมายแคโทด เครื่องวัดความหนาฟิล์ม ระบบควบคุมไฟฟ้าและลม เป็นต้น
ส่วนประกอบหลักของเครื่องเคลือบผิวแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนคือห้องสุญญากาศ ขนาดของห้องจะถูกกำหนดโดยขนาดของวัสดุตั้งต้นและกำลังการผลิตของผู้ใช้งาน ห้องทำจากสแตนเลส SUS304 ซึ่งไม่เป็นสนิมง่าย ทนทานกว่าเหล็กกล้าคาร์บอน และบำรุงรักษาง่าย เครื่องใช้เทคโนโลยีการเคลือบแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลาง เคลือบด้วยวัสดุออกไซด์ เช่น ซิลิคอนออกไซด์และไนโอเบียมออกไซด์ เป็นต้น โดยมีมาตรวัดความหนาของฟิล์มเพื่อสร้างฟิล์มตกแต่งทางแสง ฟิล์มที่ผลิตโดยเครื่องเคลือบผิวแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนมีคุณสมบัติการยึดเกาะที่แข็งแรงและมีความบริสุทธิ์สูง และสามารถเคลือบด้วยวัสดุหลากหลายชนิดที่มีส่วนประกอบต่างกันได้พร้อมกัน




