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Sputterbeschichtungsanlage zum Beschichten von Regenbogenfarben

Artikelquelle: Zhenhua Vacuum
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Veröffentlicht: 22.11.2007

Magnetron-Sputtern ist ein physikalisches Dampfabscheidungsverfahren. Es eignet sich zur Beschichtung von Metallen, Halbleitern, Isolatoren und anderen Materialien und zeichnet sich durch hohe Beladungskapazität, einfache Handhabung, feine und glatte Beschichtungsschichten mit guter Haftung aus. Durch Anlegen eines Magnetfelds an die Kathodenoberfläche des Targets und die Nutzung der Magnetfeldwirkung auf die geladenen Teilchen lässt sich die Sputterrate beim Magnetron-Sputtern erhöhen, wodurch die Plasmadichte gesteigert wird. Eine komplette Magnetron-Sputteranlage besteht aus mehreren Komponenten, die jeweils unterschiedliche Funktionen erfüllen und letztendlich eine hochwertige Beschichtung gewährleisten. Die optische Beschichtungsanlage für Magnetron-Sputtern umfasst Vakuumkammer, Ventil, Vakuumpumpensystem, Vakuummesssystem, Kathodentarget, Schichtdickenmessgerät, elektropneumatisches Steuerungssystem usw. Kernstück der Anlage ist die Vakuumkammer, deren Größe von der Größe des Substrats und den Anforderungen des Anwenders abhängt. Die Kammer besteht aus Edelstahl SUS304, der rostbeständig, langlebiger als Kohlenstoffstahl und wartungsfreundlicher ist. Die Maschine nutzt Mittelfrequenz-Sputtertechnologie zur Beschichtung mit Oxidmaterialien wie Siliziumdioxid und Nioboxid. Mithilfe eines Schichtdickenmessers wird ein optischer Dekorfilm erzeugt. Der mit dieser Magnetron-Sputteranlage hergestellte Film zeichnet sich durch starke Haftung und hohe Reinheit aus und kann gleichzeitig mit verschiedenen Materialien unterschiedlicher Zusammensetzung beschichtet werden.

Der Prozess des allmählichen Farbwechsels wird üblicherweise mittels Magnetron-Sputtern in optischen Beschichtungsanlagen realisiert. Aktuell wird die Rückseite vieler Mobiltelefone mit einem PVD-Vakuumbeschichtungsverfahren versehen, das ebenfalls einen allmählichen Farbwechsel erzeugt. Zwar lassen sich auch mit optischen Beschichtungsanlagen und Aufdampfanlagen ähnliche Regenbogeneffekte erzielen, jedoch sind die Farbverläufe nicht gleichmäßig und es bestehen Qualitätsunterschiede. Magnetron-Sputtern ist eine Form der physikalischen Gasphasenabscheidung. Dieses Sputterverfahren eignet sich zur Beschichtung von Metallen, Halbleitern, Isolatoren und anderen Materialien und zeichnet sich durch hohe Beladungskapazität, einfache Handhabung, sehr feine und glatte Beschichtungsschichten mit guter Haftung aus.

Durch Magnetron-Sputtern lässt sich die Sputterrate steigern, indem ein Magnetfeld an der Kathodenoberfläche des Targets angelegt und die Plasmadichte durch die Einwirkung des Magnetfelds auf die geladenen Teilchen erhöht wird. Eine komplette Magnetron-Sputteranlage zur Vakuumbeschichtung besteht aus vielen Komponenten, die jeweils unterschiedliche Funktionen erfüllen und letztendlich eine hochwertige Beschichtung ermöglichen. Die optische Beschichtungsanlage für Magnetron-Sputtern umfasst unter anderem eine Vakuumkammer, Ventile, ein Vakuumpumpensystem, ein Vakuummesssystem, ein Kathodentarget, ein Schichtdickenmessgerät und ein elektropneumatisches Steuerungssystem.

Das Hauptteil der Magnetron-Sputteranlage für optische Beschichtungen besteht aus einer Vakuumkammer, deren Größe sich nach der Größe des Produktsubstrats und den Anforderungen des Anwenders richtet. Die Kammer ist aus rostfreiem Edelstahl SUS304 gefertigt, der langlebiger als Kohlenstoffstahl und wartungsfreundlicher ist. Die Anlage arbeitet mit Mittelfrequenz-Sputtertechnologie und beschichtet mit Oxidmaterialien wie Siliziumdioxid und Nioboxid. Mithilfe eines Schichtdickenmessers wird ein optischer Dekorfilm erzeugt. Der mit dieser Anlage hergestellte Film zeichnet sich durch starke Haftung und hohe Reinheit aus und kann gleichzeitig mit verschiedenen Materialien unterschiedlicher Zusammensetzung beschichtet werden.