Sputtering txheej tshuab rau txheej xim zaj sawv

Magnetron sputtering yog ib hom kev tso pa tawm ntawm lub cev. Txoj kev sputtering dav dav siv tau los pleev xim rau hlau, semiconductor, insulator thiab lwm yam khoom siv, thiab muaj cov yam ntxwv ntawm lub peev xwm thauj khoom loj, yooj yim rau kev ua haujlwm, zaj duab xis txheej yog qhov zoo heev thiab du, nrog kev nplaum zoo thiab lwm yam. Magnetron sputtering tuaj yeem ua rau kom muaj kev sib nqus ntau ntxiv los ntawm kev qhia txog lub zog sib nqus ntawm qhov chaw cathode ntawm lub hom phiaj thiab siv qhov txwv ntawm lub zog sib nqus ntawm cov khoom them kom ua rau cov plasma ceev. Lub tshuab nqus tsev magnetron sputtering tiav yog tsim los ntawm ntau qhov chaw, txhua lub kaw lus ua tiav cov haujlwm sib txawv, thiab thaum kawg ua tiav qhov txheej txheem zoo kawg. Cov khoom siv magnetron sputtering optical coating yog tsim los ntawm lub tshuab nqus tsev, lub valve, lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis, lub tshuab ntsuas nqus tsev, lub hom phiaj cathode, lub ntsuas tuab zaj duab xis, lub tshuab tswj hluav taws xob, thiab lwm yam. Lub cev tseem ceeb ntawm lub tshuab magnetron sputtering optical coater yog lub tshuab nqus tsev, qhov loj me yog txiav txim siab los ntawm qhov loj me ntawm cov khoom siv substrate thiab lub peev xwm ntawm tus neeg siv. Lub chamber yog ua los ntawm SUS304 stainless hlau, uas tsis yooj yim rau xeb, ruaj dua li cov hlau carbon thiab yooj yim rau kev txij nkawm. Lub tshuab tau txais kev siv tshuab txheej txheem nruab nrab zaus sputtering, txheej nrog cov khoom siv oxide xws li silicon oxide thiab niobium oxide thiab lwm yam, nrog rau lub ntsuas tuab zaj duab xis los ua cov yeeb yaj kiab kho kom zoo nkauj. Cov yeeb yaj kiab ua los ntawm magnetron sputtering optical txheej tshuab muaj kev nplaum zoo thiab kev ntshiab siab, thiab tuaj yeem sputtered nrog ntau yam khoom siv nrog cov khoom sib txawv tib lub sijhawm.

Cov txheej txheem ntawm kev hloov xim maj mam feem ntau yog ua los ntawm magnetron sputtering optical txheej tshuab. Tam sim no, lub hau rov qab ntawm ntau lub xov tooj ntawm tes siv PVD nqus tsev txheej txheej maj mam hloov xim txheej txheem. Tau kawg, lub tshuab txheej optical thiab lub tshuab txheej evaporation kuj tuaj yeem ua cov xim zoo sib xws xim zaj sawv xya xim, tab sis cov xim tsis yog cov gradients ib txwm muaj thiab tseem muaj qhov sib txawv hauv qhov zoo. Magnetron sputtering yog ib hom kev tso pa tawm lub cev. Txoj kev sputtering dav dav tuaj yeem siv los txheej hlau, semiconductor, insulator thiab lwm yam khoom siv, thiab muaj cov yam ntxwv ntawm lub peev xwm thauj khoom loj, yooj yim rau kev ua haujlwm, zaj duab xis txheej yog qhov zoo heev thiab du, nrog kev nplaum zoo thiab lwm yam.

Magnetron sputtering tuaj yeem ua rau kom tus nqi sputtering nce ntxiv los ntawm kev qhia txog lub zog sib nqus ntawm qhov chaw cathode ntawm lub hom phiaj thiab siv qhov kev txwv ntawm lub zog sib nqus ntawm cov khoom them kom nce qhov ceev ntawm plasma. Lub tshuab nqus tsev magnetron sputtering tiav yog tsim los ntawm ntau qhov chaw, txhua lub kaw lus ua tiav cov haujlwm sib txawv, thiab thaum kawg ua tiav qhov txheej txheem zoo kawg. Cov khoom siv magnetron sputtering optical coating yog tsim los ntawm lub tshuab nqus tsev, lub valve, lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis, lub tshuab ntsuas nqus tsev, lub hom phiaj cathode, lub ntsuas tuab zaj duab xis, lub tshuab tswj hluav taws xob-pneumatic, thiab lwm yam.

Lub cev tseem ceeb ntawm lub tshuab magnetron sputtering optical coater yog lub tshuab nqus tsev, qhov loj me yog txiav txim siab los ntawm qhov loj me ntawm cov khoom siv thiab lub peev xwm ntawm tus neeg siv. Lub chamber yog ua los ntawm SUS304 stainless hlau, uas tsis yooj yim rau xeb, ruaj dua li cov hlau carbon thiab yooj yim rau kev txij nkawm. Lub tshuab tau txais kev siv tshuab txheej txheem nruab nrab zaus sputtering, txheej nrog cov khoom siv oxide xws li silicon oxide thiab niobium oxide thiab lwm yam, nrog rau lub ntsuas tuab zaj duab xis los ua zaj duab xis kho kom zoo nkauj. Zaj duab xis ua los ntawm lub tshuab magnetron sputtering optical coating muaj kev nplaum zoo thiab huv siab, thiab tuaj yeem sputtered nrog ntau yam khoom siv nrog cov khoom sib txawv tib lub sijhawm.