ម៉ាស៊ីនស្រោបថ្នាំ Sputtering ដើម្បីស្រោបពណ៌ឥន្ទធនូ

ការបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុងគឺជាប្រភេទនៃការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត។ វិធីសាស្ត្របាញ់ថ្នាំទូទៅអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីស្រោបលោហៈ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អ៊ីសូឡង់ និងសម្ភារៈផ្សេងៗទៀត ហើយមានលក្ខណៈនៃសមត្ថភាពផ្ទុកធំ ងាយស្រួលប្រតិបត្តិការ ស្រទាប់ថ្នាំកូតគឺល្អ និងរលោង ជាមួយនឹងការស្អិតល្អជាដើម។ ការបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុងអាចបង្កើនអត្រាបាញ់ថ្នាំដោយណែនាំដែនម៉ាញ៉េទិចនៅលើផ្ទៃកាតូតនៃគោលដៅ និងប្រើការរឹតបន្តឹងនៃដែនម៉ាញ៉េទិចលើភាគល្អិតដែលមានបន្ទុកដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មា។ ម៉ាស៊ីនស្រោបសុញ្ញាកាសម៉ាញ៉េត្រុងពេញលេញត្រូវបានផ្សំឡើងពីផ្នែកជាច្រើន ប្រព័ន្ធនីមួយៗបំពេញមុខងារផ្សេងៗគ្នា ហើយទីបំផុតសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ ឧបករណ៍ស្រោបអុបទិកបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុងត្រូវបានផ្សំឡើងពីបន្ទប់សុញ្ញកាស សន្ទះបិទបើក ប្រព័ន្ធបូមសុញ្ញកាស ប្រព័ន្ធវាស់សុញ្ញកាស គោលដៅកាតូត រង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអេឡិចត្រូ-ខ្យល់។ល។ តួសំខាន់នៃឧបករណ៍ស្រោបអុបទិកបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុងគឺជាបន្ទប់សុញ្ញកាស ទំហំត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំនៃស្រទាប់ខាងក្រោមផលិតផល និងសមត្ថភាពរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។ បន្ទប់នេះត្រូវបានផលិតពីដែកអ៊ីណុក SUS304 ដែលមិនងាយច្រេះ ប្រើប្រាស់បានយូរជាងដែកថែបកាបូន និងងាយស្រួលថែទាំ។ ម៉ាស៊ីនបានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering ប្រេកង់មធ្យម ថ្នាំកូតជាមួយវត្ថុធាតុអុកស៊ីដដូចជាស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ និងនីអូប៊ីញ៉ូមអុកស៊ីដជាដើម ជាមួយនឹងរង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តតុបតែងអុបទិក។ ខ្សែភាពយន្តដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក sputtering magnetron មានភាពស្អិតខ្លាំង និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយអាចត្រូវបាន sputtering ជាមួយវត្ថុធាតុជាច្រើនប្រភេទដែលមានសមាសធាតុផ្សេងៗគ្នាក្នុងពេលតែមួយ។

ដំណើរការនៃការផ្លាស់ប្តូរពណ៌បន្តិចម្តងៗជាទូទៅត្រូវបានធ្វើឡើងដោយម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក sputtering magnetron ។ បច្ចុប្បន្ននេះ គម្របខាងក្រោយនៃទូរស័ព្ទដៃជាច្រើនប្រើប្រាស់ដំណើរការផ្លាស់ប្តូរពណ៌បន្តិចម្តងៗនៃថ្នាំកូត PVD vacuum ។ ជាការពិតណាស់ ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក និងម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតហួតក៏អាចបង្កើតឥទ្ធិពលពណ៌ឥន្ទធនូស្រដៀងគ្នានេះដែរ ប៉ុន្តែពណ៌មិនមែនជាជម្រាលធម្មតាទេ ហើយនៅតែមានភាពខុសគ្នានៃគុណភាព។ sputtering magnetron គឺជាប្រភេទនៃការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត។ វិធីសាស្ត្រ sputtering ទូទៅអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីថ្នាំកូតលោហៈ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អ៊ីសូឡង់ និងសម្ភារៈផ្សេងទៀត ហើយមានលក្ខណៈនៃសមត្ថភាពផ្ទុកធំ ងាយស្រួលប្រតិបត្តិការ ខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតគឺល្អ និងរលោង ជាមួយនឹងការស្អិតល្អ និងដូច្នេះនៅលើ។

ការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុងអាចបង្កើនអត្រាបាញ់ដោយបញ្ចូលដែនម៉ាញ៉េទិចនៅលើផ្ទៃកាតូតនៃគោលដៅ និងប្រើប្រាស់ការរឹតបន្តឹងនៃដែនម៉ាញ៉េទិចលើភាគល្អិតដែលមានបន្ទុក ដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មា។ ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាញ៉េត្រុងពេញលេញត្រូវបានផ្សំឡើងពីផ្នែកជាច្រើន ប្រព័ន្ធនីមួយៗបំពេញមុខងារផ្សេងៗគ្នា ហើយទីបំផុតសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ចុងក្រោយ។ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតអុបទិកបូមម៉ាញ៉េត្រុងត្រូវបានផ្សំឡើងពីបន្ទប់បូមធូលី សន្ទះបិទបើក ប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់បូមធូលី គោលដៅកាតូត រង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអេឡិចត្រូ-ខ្យល់។ល។

តួសំខាន់នៃម៉ាស៊ីនស្រោបស្រទាប់ម៉ាញ៉េត្រុងអុបទិកគឺជាបន្ទប់បូមធូលី ទំហំត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំនៃស្រទាប់ផលិតផល និងសមត្ថភាពរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។ បន្ទប់នេះត្រូវបានផលិតពីដែកអ៊ីណុក SUS304 ដែលមិនងាយច្រេះ ប្រើប្រាស់បានយូរជាងដែកថែបកាបូន និងងាយស្រួលថែទាំ។ ម៉ាស៊ីនបានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាស្រោបស្រទាប់ប្រេកង់មធ្យម ស្រោបជាមួយវត្ថុធាតុអុកស៊ីដដូចជាអុកស៊ីដស៊ីលីកុន និងអុកស៊ីដនីអូប៊ីញ៉ូមជាដើម ជាមួយនឹងរង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តតុបតែងអុបទិក។ ខ្សែភាពយន្តដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនស្រោបស្រទាប់ម៉ាញ៉េត្រុងអុបទិកមានភាពស្អិតខ្លាំង និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយអាចត្រូវបានស្រោបជាមួយវត្ថុធាតុជាច្រើនប្រភេទដែលមានសមាសធាតុផ្សេងៗគ្នាក្នុងពេលតែមួយ។