עם ההתפתחות המהירה של טכנולוגיות אריזה מתקדמות, TGV (Through Glass Via) הופך בהדרגה לפתרון חיבור מרכזי עבור מצעי זכוכית. TGV, הממנפת את יתרונותיה של הפסדים דיאלקטריים נמוכים, יציבות תרמית מעולה, דיוק עיבוד גבוה ותכונות בידוד חזקות, הראה ביצועים יוצאי דופן בתקשורת אופטית, MEMS, חיישנים וחיבורים במהירות גבוהה, וכעת מתרחב לתרחישי יישומים מתקדמים יותר.
עם זאת, התפתחות מבני ה-TGV מביאה גם אתגרי ייצור חדשים: קוטר ויה קטן יותר, גיאומטריות מורכבות יותר ויחסי גובה-רוחב הולכים וגדלים. בפרט, בתנאים של קוטר ויה של 30 מיקרון ויחסי גובה-רוחב העולים על 10:1, השגת שקיעת שכבת זרעים אחידה בתוך ה-thurn-via הוכרה זה מכבר כאחד מצווארי הבקבוק הקריטיים ביותר. למרות שפחות גלוי בשרשרת התהליך, שלב זה קובע ישירות את הביצועים החשמליים של המכשיר ואת האמינות ארוכת הטווח.
האתגרים הנוכחיים מספר 1 בציפוי מיקרו-ויה
בתהליכי TGV ו-TSV, קוטר הוויה האופייני יכול להיות קטן עד 30 מיקרון, עם דרישות יחס גובה-רוחב של יותר מ-10:1. בתנאים אלה, שיטות ציפוי קונבנציונליות מתמודדות עם מספר מגבלות:
אזורים מתים של שקיעה: אפקטים חזקים של צל לאורך דפנות הצד מובילים לעיתים קרובות לשכבות לא רציפות, הפוגעות במוליכות ובאטימות.
חוסר אחידות בעובי השכבה: הבדלים משמעותיים בקצב השקיעה בין פתחי הוויה לתחתיתם גורמים לבעיות התנגדות מקומיות.
תאימות מרובת חומרים לא מספקת: בעת הפקדת חומרים מרובים כגון נחושת, טיטניום, מתכת, ניקל ו-Pt על גבי מצעים של זכוכית או סיליקון, קשה להבטיח הידבקות ואחידות בכל השכבות.
בעיות אלו משפיעות ישירות על התפוקה, מגדילות את הסיכון לעיבוד חוזר ואת עלות התהליך, ומגבילות את יעילות הייצור בנפח גבוה.
מספר 2. תמיסת ציפוי עמוק בוואקום ZHENHUA
יתרונות הציוד:
ציפוי עמוק-ויה אופטימלי
בעזרת טכנולוגיית ציפוי ה-deep-via הקניינית של ZHENHUA, ניתן להשיג שקיעת שכבת זרעים אחידה אפילו ב-vias בקוטר של עד 30 מיקרון, עם יחסי גובה-רוחב העולים על 10:1 - ובכך להתגבר על אתגרים ארוכי שנים בציפוי Deep-via מורכב.
התאמה אישית לפי דרישה, תמיכה במצעים בגדלים מרובים
מסוגל לעבד גדלים שונים של מצעי זכוכית, כולל 600×600 מ"מ, 510×515 מ"מ ופורמטים גדולים יותר.
גמישות בתהליך עם תאימות לחומרים מרובים
המערכת תומכת בשכבות דקות מוליכות ופונקציונליות כגון נחושת, טיטניום, מתכת, ניקל ו-Pt, ומאפשרת פתרונות מותאמים אישית הן לדרישות מוליכות חשמלית והן לדרישות עמידות בפני קורוזיה.
ביצועי ציוד יציבים ותחזוקה קלה
הציוד, המצויד במערכת בקרה חכמה, מאפשר כוונון פרמטרים אוטומטי וניטור בזמן אמת של אחידות עובי הסרט. תכנון מודולרי מבטיח תחזוקה קלה ומפחית את זמן ההשבתה.
היקף היישום:
ניתן ליישום בתהליכי אריזה מתקדמים של TGV/TSV/TMV, המאפשרים ציפוי שכבת זרעים במבנים בעלי יחס גובה-רוחב של עד 10:1.
ככל ששוק האריזות המתקדמות ממשיך להתרחב, הביקוש למיקרו-ויא ומבנים בעלי יחס גובה-רוחב גבוה יגדל עוד יותר. טכנולוגיית ציפוי ה-deep-via של ZHENHUA Vacuum מספקת פתרון ניתן להרחבה ומוכן לייצור המוני לאתגרי הציפוי הקריטיים ב-TGV ובתהליכי אריזה אחרים מהדור הבא, ומשפרת את יעילות האריזה ועקביות המוצר.
—מאמר זה פורסם על ידי ציוד ציפוי ואקום יצרן Zhenhua Vacuum
זמן פרסום: 18 באוגוסט 2025