מבוא לציפוי בוואקום

למה להשתמש בשואב אבק?
מניעת זיהום: בוואקום, היעדר אוויר וגזים אחרים מונע מחומר השיקוע להגיב עם גזים אטמוספריים, אשר עלולים לזהם את הסרט.
הידבקות משופרת: היעדר אוויר פירושו שהסרט נדבק ישירות למצע ללא כיסי אוויר או גזים ביניים אחרים שעלולים להחליש את הקשר.
איכות הסרט: תנאי ואקום מאפשרים שליטה טובה יותר על תהליך ההפקדה, וכתוצאה מכך סרטים אחידים ואיכותיים יותר.
שקיעה בטמפרטורה נמוכה: חומרים מסוימים יתפרקו או יגיבו בטמפרטורות הנדרשות לשקיעה אם היו נחשפים לגזים אטמוספריים. בוואקום, חומרים אלה יכולים להישקע בטמפרטורות נמוכות יותר.
סוגי תהליכי ציפוי ואקום
שקיעת אדים פיזית (PVD)
אידוי תרמי: החומר מחומם בוואקום עד שהוא מתאדה ולאחר מכן מתעבה על המצע.
התזה: קרן יונים בעלת אנרגיה גבוהה מפגיזה חומר מטרה, וגורמת לאטומים להיפלט ולהשקע על המצע.
שקיעת לייזר פועמת (PLD): קרן לייזר בעלת עוצמה גבוהה משמשת לאידוי חומר ממטרה, אשר לאחר מכן מתעבה על המצע.
שקיעת אדים כימית (CVD)
CVD בלחץ נמוך (LPCVD): מבוצע בלחץ מופחת כדי להוריד טמפרטורות ולשפר את איכות הסרט.
CVD משופר בפלזמה (PECVD): משתמש בפלזמה כדי להפעיל תגובות כימיות בטמפרטורות נמוכות יותר מאשר CVD מסורתי.
שקיעת שכבות אטומיות (ALD)
ALD הוא סוג של CVD אשר מפקיד סרטים שכבה אטומית אחת בכל פעם, ומספק שליטה מצוינת על עובי הסרט וההרכב שלו.

ציוד המשמש בציפוי ואקום
תא ואקום: הרכיב העיקרי בו מתרחש תהליך הציפוי.
משאבות ואקום: ליצירת ותחזוקה של סביבת ואקום.
מחזיק מצע: להחזקת המצע במקומו במהלך תהליך הציפוי.
מקורות אידוי או התזה: בהתאם לשיטת ה-PVD בה נעשה שימוש.
ספקי כוח: להפעלת אנרגיה למקורות האידוי או ליצירת פלזמה ב-PECVD.
מערכות בקרת טמפרטורה: לחימום מצעים או לשליטה בטמפרטורת התהליך.
מערכות ניטור: למדידת עובי, אחידות ותכונות אחרות של הסרט המופקד.
יישומים של ציפוי ואקום
ציפויים אופטיים: לציפויים נוגדי השתקפות, מחזירי אור או מסננים על עדשות, מראות ורכיבים אופטיים אחרים.
ציפויים דקורטיביים: למגוון רחב של מוצרים, כולל תכשיטים, שעונים וחלקי רכב.
ציפויים קשים: לשיפור עמידות בפני שחיקה ועמידות של כלי חיתוך, רכיבי מנוע ומכשירים רפואיים.
ציפויי מחסום: למניעת קורוזיה או חלחול על גבי מצעים של מתכת, פלסטיק או זכוכית.
ציפויים אלקטרוניים: לייצור מעגלים משולבים, תאים סולאריים ומכשירים אלקטרוניים אחרים.
יתרונות ציפוי ואקום
דיוק: ציפוי בוואקום מאפשר שליטה מדויקת על עובי והרכב השכבה.
אחידות: ניתן להניח סרטים באופן שווה על צורות מורכבות ועל שטחים גדולים.
יעילות: התהליך יכול להיות אוטומטי מאוד והוא מתאים לייצור בנפח גבוה.
ידידותיות לסביבה: ציפוי בוואקום בדרך כלל משתמש בפחות כימיקלים ומייצר פחות פסולת בהשוואה לשיטות ציפוי אחרות.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה