Af hverju að nota ryksugu?
Að koma í veg fyrir mengun: Í lofttæmi kemur fjarvera lofts og annarra lofttegunda í veg fyrir að útfellingarefnið hvarfast við lofttegundir í andrúmsloftinu, sem gætu mengað filmuna.
Betri viðloðun: Skortur á lofti þýðir að filman festist beint við undirlagið án loftvasa eða annarra millilofttegunda sem gætu veikt viðloðunina.
Filmugæði: Lofttæmisskilyrði gera kleift að stjórna útfellingarferlinu betur, sem leiðir til einsleitari og hágæða filmu.
Lághitaútfelling: Sum efni myndu brotna niður eða hvarfast við það hitastig sem þarf til útfellingar ef þau yrðu útsett fyrir lofttegundum í andrúmsloftinu. Í lofttæmi geta þessi efni setst út við lægra hitastig.
Tegundir lofttæmingarferla
Útfelling gufu (PVD)
Varmauppgufun: Efni er hitað í lofttæmi þar til það gufar upp og þéttist síðan á undirlaginu.
Sprautun: Orkurík jónageisli sprengir markefni sem veldur því að atómum er kastað út og sett á undirlagið.
Púlsuð leysigeisli (PLD): Öflugur leysigeisli er notaður til að gufa upp efni frá skotmarki, sem síðan þéttist á undirlaginu.
Efnafræðileg gufuútfelling (CVD)
Lágþrýstings-CVD (LPCVD): Framkvæmt við lækkaðan þrýsting til að lækka hitastig og bæta filmugæði.
Plasma-styrkt CVD (PECVD): Notar plasma til að virkja efnahvörf við lægra hitastig en hefðbundin CVD.
Útfelling atómlags (ALD)
ALD er tegund af CVD sem setur filmur á eitt atómlag í einu, sem veitir framúrskarandi stjórn á þykkt og samsetningu filmunnar.
Búnaður sem notaður er í lofttæmishúðun
Lofttæmisklefi: Aðalhlutinn þar sem húðunarferlið fer fram.
Lofttæmisdælur: Til að skapa og viðhalda lofttæmisumhverfi.
Undirlagshaldari: Til að halda undirlaginu á sínum stað meðan á húðunarferlinu stendur.
Uppgufun eða spúttunarheimildir: Fer eftir því hvaða PVD aðferð er notuð.
Aflgjafar: Til að veita orku til uppgufunargjafanna eða til að framleiða plasma í PECVD.
Hitastýringarkerfi: Til að hita undirlag eða stjórna hitastigi ferlisins.
Eftirlitskerfi: Til að mæla þykkt, einsleitni og aðra eiginleika filmunnar sem sett er niður.
Notkun lofttæmishúðunar
Ljósfræðileg húðun: Fyrir endurskinsvörn, endurskinsvörn eða síuhúðun á linsum, speglum og öðrum sjónrænum íhlutum.
Skreytingarhúðun: Fyrir fjölbreytt úrval af vörum, þar á meðal skartgripi, úr og bílavarahluti.
Harð húðun: Til að bæta slitþol og endingu á skurðarverkfærum, vélaríhlutum og lækningatækjum.
Hindrunarhúðun: Til að koma í veg fyrir tæringu eða gegndræpi á undirlagi úr málmi, plasti eða gleri.
Rafrænar húðanir: Til framleiðslu á samþættum hringrásum, sólarsellum og öðrum rafeindatækjum.
Kostir lofttæmishúðunar
Nákvæmni: Lofttæmishúðun gerir kleift að stjórna þykkt og samsetningu filmunnar nákvæmlega.
Einsleitni: Hægt er að setja filmur jafnt yfir flókin form og stór svæði.
Skilvirkni: Ferlið er hægt að sjálfvirknivæða að miklu leyti og hentar vel fyrir framleiðslu í miklu magni.
Umhverfisvænni: Lofttæmishúðun notar yfirleitt færri efni og framleiðir minna úrgang en aðrar húðunaraðferðir.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 15. ágúst 2024