Site na mmepe ngwa ngwa nke teknụzụ nkwakọ ngwaahịa dị elu, TGV (Site na Glass Via) na-aghọ ihe ngwọta njikọ dị mkpa maka ihe ndị dị n'ime iko. Site na iji uru ya dị ka obere mfu dielectric, nkwụsi ike okpomọkụ dị mma, nkenke igwe dị elu, na ihe mkpuchi siri ike, TGV egosila arụmọrụ pụrụ iche na nkwukọrịta anya, MEMS, sensọ, na njikọ ọsọ ọsọ, ma ugbu a na-agbasa n'ime ọnọdụ ngwa dị elu.
Agbanyeghị, mgbanwe nke usoro TGV na-ewetakwa ihe ịma aka mmepụta ọhụrụ: obere site na dayameta, geometry ndị dị mgbagwoju anya karị, na mmụba akụkụ na-aga n'ihu. Karịsịa, n'okpuru ọnọdụ nke 30 μm site na dayameta na oke akụkụ gafere 10:1, inweta otu oyi akwa mkpụrụ n'ime through-via abụrụla ihe a maara ogologo oge dị ka otu n'ime nsogbu kachasị mkpa. Ọ bụ ezie na a naghị ahụ ya anya na usoro usoro, nzọụkwụ a na-ekpebi kpọmkwem arụmọrụ eletriki ngwaọrụ na ntụkwasị obi ogologo oge.
Nke 1 Ihe ịma aka ugbu a na mkpuchi Micro-Via
Na usoro TGV na TSV, dayameta nkịtị nwere ike ịdị obere dịka 30 μm, yana ihe achọrọ maka nha akụkụ karịrị 10:1. N'okpuru ọnọdụ ndị a, ụzọ mkpuchi ọdịnala na-eche ọtụtụ mmachi ihu:
Ebe ndị nwụrụ anwụ na-etinye ihe mkpuchi: Mmetụta onyinyo siri ike site na mgbidi akụkụ na-edugakarị na fim ndị na-akwụsị akwụsị, na-emebi ike ikuku na ihe ọkụkụ.
Ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ adịghị nhata: Ọdịiche dị ukwuu dị n'etiti oghere na ala na-ebute nsogbu iguzogide mpaghara.
Enweghị ike iji ọtụtụ ihe mee ihe nke ọma: Mgbe a na-etinye ọtụtụ ihe dịka Cu, Ti, W, Ni, na Pt n'elu ihe ndị e ji iko ma ọ bụ silicon mee, ọ na-esiri ike ijide n'aka na ha na-arapara ma na-adị n'otu n'ofe akwa niile.
Nsogbu ndị a na-emetụta mmepụta ihe ozugbo, na-eme ka ihe egwu ịrụgharị ọrụ na ọnụ ahịa usoro dịkwuo elu, ma na-egbochi arụmọrụ mmepụta dị elu.
Nke 2. Ngwọta Mkpuchi Mkpuchi ZHENHUA Vacuum Deep-Via
Uru akụrụngwa:
Mkpuchi Miri-Via Kachasị Mma
Site na teknụzụ mkpuchi miri emi nke ZHENHUA, enwere ike ịnweta otu oyi akwa mkpụrụ ọbụlagodi na obere dị ka 30 μm na dayameta, yana oke akụkụ gafere 10:1—na-emeri ihe ịma aka ogologo oge na mkpuchi miri emi dị mgbagwoju anya.
Nhazi dị mkpa, Nkwado nke ihe dị iche iche
Nwere ike ịhazi nha dị iche iche nke ihe ndị e ji iko mee, gụnyere 600×600 mm, 510×515 mm, na ụdị ndị ka ibu.
Mgbanwe Usoro na Ndakọrịta Ọtụtụ Ihe
Sistemụ a na-akwado ihe nkiri dị gịrịgịrị na nke na-eduzi ma na-arụ ọrụ dịka Cu, Ti, W, Ni, na Pt, na-enye ohere ka edoziri ya maka ma ihe ndị metụtara ike eletrik na ihe ndị na-eguzogide nchara.
Arụmọrụ Ngwaọrụ Na-akwụsi Ike na Mmezi Dị Mfe
E ji sistemụ njikwa nwere ọgụgụ isi mee ihe, ngwaọrụ a na-enye ohere ịhazi paramita akpaka na nlekota oge n'ezie nke nha nhata nke ihe nkiri ahụ. Nhazi modular na-eme ka mmezi dị mfe ma belata oge ọrụ.
Oke Ngwa:
Ọ dabara na usoro nkwakọ ngwaahịa TGV/TSV/TMV dị elu, na-eme ka mkpuchi oyi akwa mkpụrụ dị n'ime usoro miri emi nke nwere oke akụkụ ruo 10:1.
Ka ahịa nkwakọ ngwaahịa dị elu na-aga n'ihu na-agbasa, ọchịchọ maka micro-vias na nhazi akụkụ dị elu ga-amụbawanye. Teknụzụ mkpuchi miri emi nke ZHENHUA Vacuum na-enye ngwọta dị mfe, nke dị njikere maka mmepụta dị ukwuu maka ihe ịma aka mkpuchi dị mkpa na TGV na usoro nkwakọ ngwaahịa ọgbọ ọzọ, na-eme ka arụmọrụ nkwakọ ngwaahịa na ịdị n'otu ngwaahịa dịkwuo mma.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Ọgọst-18-2025