Le procédé de revêtement sous vide impose des exigences strictes en matière d'environnement d'application. Pour le procédé sous vide conventionnel, les principales exigences en matière d'assainissement sont les suivantes : absence de toute source de pollution accumulée sur les pièces ou la surface de l'équipement sous vide ; surface de la chambre à vide lisse et exempte de tissus mous, de pores et d'espaces d'angle ; les soudures de la machine à vide n'affecteront pas le vide ; et la machine à vide poussé ne doit pas utiliser d'huile comme lubrifiant. Le système ultravide sans huile doit éviter l'influence des vapeurs d'huile sur la pureté, les performances ou les caractéristiques de surface du fluide de travail. Le système métallique ultravide utilise souvent du 1Cr18Ni9Ti comme matériau de structure. Le laboratoire ou l'atelier où se trouve la machine de revêtement sous vide doit être maintenu propre et hygiénique.
Lors du processus de revêtement sous vide, le nettoyage de surface est essentiel. Avant d'être chargés dans la chambre de revêtement sous vide, les substrats doivent subir un nettoyage préalable au placage afin de dégraisser, décontaminer et déshydrater la pièce.
Les principales sources de pollution de surface des pièces plaquées sont : la poussière, la sueur, la graisse, la pâte à polir, l'huile, l'huile lubrifiante et d'autres substances qui adhèrent lors du traitement, du transport, de l'emballage et d'autres processus ; les gaz adsorbés et absorbés à la surface des pièces d'équipement ; le film d'oxyde formé à la surface des pièces de la machine de revêtement en présence d'air humide. La plupart des pollutions provenant de ces sources peuvent être éliminées par dégraissage ou nettoyage chimique.
Ne stockez pas les pièces nettoyées à l'air libre. Afin de réduire la contamination par la poussière et de nettoyer le stockage des pièces, utilisez souvent des armoires de nettoyage ou des conteneurs fermés. Le substrat en verre doit être stocké dans un conteneur en aluminium fraîchement oxydé, ce qui peut réduire l'adsorption des vapeurs d'hydrocarbures. En effet, les conteneurs en aluminium fraîchement oxydés adsorbent préférentiellement les hydrocarbures. Les surfaces sensibles à la vapeur d'eau ou très instables sont généralement stockées dans une étuve sous vide.
Les exigences environnementales fondamentales du procédé de revêtement sous vide sont principalement : une propreté irréprochable de la chambre à vide et une absence de poussière. Dans certaines zones, l'humidité de l'air est relativement élevée. Par conséquent, avant le placage, il est nécessaire de nettoyer non seulement les composants du substrat et de la chambre à vide, mais aussi de procéder à la cuisson et au dégazage. De plus, afin d'éviter toute pénétration d'huile dans la chambre à vide, il est nécessaire de veiller au retour d'huile et aux mesures de blocage de la pompe à diffusion de ravitaillement.
Date de publication : 18 février 2023