Miks kasutada tolmuimejat?
Saastumise vältimine: Vaakumis takistab õhu ja muude gaaside puudumine sadestusmaterjali reageerimist atmosfäärigaasidega, mis võivad kilet saastata.
Parem nakkuvus: Õhu puudumine tähendab, et kile kleepub otse aluspinnale ilma õhutaskute või muude vahepealsete gaasideta, mis võiksid nakkuvust nõrgendada.
Kile kvaliteet: vaakumtingimused võimaldavad sadestamisprotsessi paremini kontrollida, mille tulemuseks on ühtlasemad ja kvaliteetsemad kiled.
Madala temperatuuriga sadestamine: Mõned materjalid laguneksid või reageeriksid sadestamiseks vajalikel temperatuuridel, kui need puutuksid kokku atmosfäärigaasidega. Vaakumis saab neid materjale sadestada madalamatel temperatuuridel.
Vaakumkatmisprotsesside tüübid
Füüsikaline aurustamine-sadestamine (PVD)
Termiline aurustamine: materjali kuumutatakse vaakumis, kuni see aurustub ja seejärel kondenseerub aluspinnale.
Pihustamine: suure energiaga ioonkiir pommitab sihtmärkmaterjali, põhjustades aatomite väljapaiskumise ja sadestumise aluspinnale.
Impulsslasersadestamine (PLD): Suure võimsusega laserkiirt kasutatakse materjali aurustamiseks sihtmärgist, mis seejärel kondenseerub aluspinnale.
Keemiline aurustamine-sadestamine (CVD)
Madalrõhu CVD (LPCVD): teostatakse alandatud rõhul temperatuuri alandamiseks ja kile kvaliteedi parandamiseks.
Plasma abil võimendatud CVD (PECVD): Kasutab plasmat keemiliste reaktsioonide aktiveerimiseks madalamatel temperatuuridel kui traditsioonilises CVD-s.
Aatomkihtide sadestamine (ALD)
ALD on CVD tüüp, mis sadestab kilesid ühe aatomikihi kaupa, pakkudes suurepärast kontrolli kile paksuse ja koostise üle.
Vaakumkatmisel kasutatavad seadmed
Vaakumkamber: peamine komponent, kus toimub katmisprotsess.
Vaakumpumbad: Vaakumkeskkonna loomiseks ja säilitamiseks.
Aluspinna hoidik: Aluspinna paigalhoidmiseks katmisprotsessi ajal.
Aurustumis- või pihustusallikad: sõltuvalt kasutatavast PVD-meetodist.
Toiteallikad: Aurustumisallikatele energia andmiseks või plasma genereerimiseks PECVD-s.
Temperatuuri reguleerimissüsteemid: Aluspindade kuumutamiseks või protsessi temperatuuri reguleerimiseks.
Jälgimissüsteemid: Ladestatud kile paksuse, ühtluse ja muude omaduste mõõtmiseks.
Vaakumkatte rakendused
Optilised katted: peegeldusvastaste, peegeldavate või filtrikatete jaoks läätsedele, peeglitele ja muudele optilistele komponentidele.
Dekoratiivkatted: laiale tootevalikule, sealhulgas ehetele, kelladele ja autoosadele.
Kõvad katted: lõikeriistade, mootorikomponentide ja meditsiiniseadmete kulumiskindluse ja vastupidavuse parandamiseks.
Kaitsekatted: Metallist, plastist või klaasist pindade korrosiooni või läbitungimise vältimiseks.
Elektroonilised katted: integraallülituste, päikesepatareide ja muude elektroonikaseadmete tootmiseks.
Vaakumkatte eelised
Täpsus: vaakumkatmine võimaldab täpset kontrolli kile paksuse ja koostise üle.
Ühtlus: Kilesid saab ühtlaselt sadestada keerukate kujundite ja suurte pindade peale.
Tõhusus: Protsessi saab automatiseerida ja see sobib suuremahuliseks tootmiseks.
Keskkonnasõbralikkus: Vaakumkatmine kasutab tavaliselt vähem kemikaale ja tekitab vähem jäätmeid kui teised katmismeetodid.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 15. august 2024