El proceso de recubrimiento al vacío presenta requisitos estrictos para el entorno de aplicación. En el proceso de vacío convencional, los principales requisitos de saneamiento por vacío son: ausencia de contaminación acumulada en las piezas o la superficie del equipo en vacío, superficie de la cámara de vacío lisa y libre de tejido blando, poros y esquinas, de modo que la soldadura en la máquina de vacío no afecte al vacío, y la máquina de alto vacío no utilice aceite como lubricante. El sistema de ultra alto vacío sin aceite debe evitar la influencia del vapor de aceite en la pureza, el rendimiento de trabajo o las características superficiales del medio de trabajo. El sistema de metal de ultra alto vacío suele utilizar 1Cr18Ni9Ti como material estructural. El laboratorio o taller donde se instale la máquina de recubrimiento al vacío debe mantenerse limpio e higiénico.
En el proceso de recubrimiento al vacío, la limpieza de la superficie es fundamental. Antes de cargar todos los sustratos en la cámara de vacío, estos deben someterse a un proceso de limpieza previo al recubrimiento para desengrasar, descontaminar y deshidratar la pieza.
Las principales fuentes de contaminación superficial de las piezas revestidas son: polvo, sudor, grasa, pasta de pulido, aceite, aceite lubricante y otras sustancias que se adhieren durante el procesamiento, la transmisión, el embalaje y otros procesos; gases adsorbidos y absorbidos en la superficie de las piezas del equipo; y la película de óxido que se forma en la superficie de las piezas de la máquina de recubrimiento en aire húmedo. La contaminación proveniente de estas fuentes se puede eliminar principalmente mediante desengrasado o limpieza química.
No almacene piezas de trabajo limpias a la intemperie. Para reducir la contaminación por polvo y limpiar el almacenamiento de las piezas, utilice armarios de limpieza o contenedores cerrados. El sustrato de vidrio debe almacenarse en un contenedor de aluminio recién oxidado, lo que puede reducir la adsorción de vapor de hidrocarburos. Dado que los contenedores de aluminio recién oxidados adsorben preferentemente hidrocarburos, las superficies sensibles al vapor de agua o muy inestables suelen almacenarse en un horno de secado al vacío.
Los requisitos ambientales básicos del proceso de recubrimiento al vacío incluyen principalmente: alta limpieza en la sala de vacío, ausencia de polvo en la sala de recubrimiento, etc. En algunas zonas, la humedad del aire es relativamente alta, por lo que antes del recubrimiento, no solo es necesario limpiar los componentes del sustrato y la cámara de vacío, sino también realizar el horneado y la desgasificación. Además, para evitar la entrada de aceite en la cámara de vacío, es necesario prestar atención a las medidas de retorno y bloqueo de aceite de la bomba de difusión de reabastecimiento.
Hora de publicación: 18 de febrero de 2023