La vakua tegaĵa procezo havas striktajn postulojn por la aplika medio. Por la konvencia vakua procezo, ĝiaj ĉefaj postuloj por vakua higieno estas: ne ekzistas akumulita poluaĵa fonto sur la partoj aŭ surfaco de la ekipaĵo en la vakuo, la surfaco de la vakua ĉambro estas glata kaj libera de mola histo, poroj kaj angulaj spacoj, do la veldaĵo en la vakua maŝino ne influos la vakuon, kaj la altvakua maŝino ne uzu oleon kiel lubrikaĵon. La senolea ultra-alta vakua sistemo devas eviti la influon de olea vaporo sur la purecon, laborfunkcion aŭ surfacajn karakterizaĵojn de la labormedio. La ultra-alta vakua metala sistemo ofte uzas 1Cr18Ni9Ti kiel la strukturan materialon. La laboratorio aŭ metiejo kie la vakua tegaĵa maŝino estas uzata devas esti tenata pura kaj higiena.
En la procezo de vakua tegado, la surfaca purigado estas tre grava. Baze, antaŭ ol ĉiuj substratoj estas ŝarĝitaj en la vakuan ĉambron de tegado, ili devas trairi la antaŭtegan purigadon por atingi la sengrasigon, malpoluadon kaj dehidratigon de la laborpeco.
La ĉefaj fontoj de surfaca poluado de tegitaj partoj estas: polvo, ŝvito, graso, polurpasto, oleo, lubrika oleo kaj aliaj substancoj, kiuj algluiĝos dum prilaborado, transporto, pakado kaj aliaj procezoj; gaso adsorbita kaj sorbita sur la surfaco de ekipaĵpartoj; la oksida filmo formita sur la surfaco de la partoj de la tegmaŝino en malseka aero. Koncerne poluadon de ĉi tiuj fontoj, plejparto de ili povas esti forigita per sengrasigado aŭ kemia purigado.
Ne konservu purigitajn laborpecojn en atmosfera medio. Por redukti polvopoluadon kaj purigi la konservejon de laborpecoj, ofte uzu purigajn ŝrankojn aŭ fermitajn ujojn por konservi la laborpecon. La vitra substrato devas esti konservata en ĵus oksidigita aluminia ujo, kio povas redukti la adsorbadon de hidrokarbona vaporo. Ĉar ĵus oksidigitaj aluminiaj ujoj prefere adsorbas hidrokarbonojn. Surfacoj sentemaj al akvovaporo aŭ tre malstabilaj estas kutime konservataj en vakua sekigilo.
La bazaj postuloj de la vakua tegaĵa procezo rilate al la medio ĉefe inkluzivas: altan purecon en la vakua ĉambro, senpolvan tegaĵan ĉambron, ktp. En iuj regionoj, la aerhumideco estas relative alta, do antaŭ tegado, oni ne nur bezonas purigi la komponantojn en la substrato kaj la vakua ĉambro, sed ankaŭ fari la bakadon kaj sengasigadon. Krome, por malhelpi, ke oleo eniru la vakuan ĉambron, necesas ankaŭ atenti la oleorevenajn kaj oleoblokajn mezurojn de la benzinuma difuza pumpilo.
Afiŝtempo: 18-a de februaro 2023