Vakuumbelægningsprocessen har strenge krav til anvendelsesmiljøet. For den konventionelle vakuumproces er dens vigtigste krav til vakuumsanering: der er ingen akkumuleret forureningskilde på dele eller overflader af udstyret i vakuumet, overfladen af vakuumkammeret er glat og fri for blødt væv, porer og hjørnerum, så svejsningen i vakuummaskinen ikke vil påvirke vakuumet, og højvakuummaskinen må ikke bruge olie som smøremiddel. Det oliefri ultrahøjvakuumsystem bør undgå påvirkning af oliedamp på renheden, arbejdsydelsen eller overfladeegenskaberne af arbejdsmediet. Ultrahøjvakuummetalsystemet bruger ofte 1Cr18Ni9Ti som strukturmateriale. Laboratoriet eller værkstedet, hvor vakuumbelægningsmaskinen anvendes, skal holdes rent og hygiejnisk.
I forbindelse med vakuumbelægning er overfladebehandlingen meget vigtig. Grundlæggende set skal alle substrater, før de fyldes i vakuumkammeret, gennemgå en forbehandlingsrensning for at opnå affedtning, dekontaminering og dehydrering af emnet.
De vigtigste kilder til overfladeforurening af belagte dele er: støv, sved, fedt, polerpasta, olie, smøreolie og andre stoffer, der klæber til under forarbejdning, transmission, emballering og andre processer; gas, der adsorberes og absorberes på overfladen af udstyrsdele; oxidfilm, der dannes på overfladen af dele i belægningsmaskinen i våd luft. Forurening fra disse kilder kan fjernes ved affedtning eller kemisk rengøring.
Opbevar ikke rengjorte emner i atmosfærisk miljø. For at reducere støvforurening og rengøre opbevaringen af emner, skal der ofte anvendes rengøringsskabe eller lukkede beholdere til opbevaring af emnet. Glassubstratet skal opbevares i en frisk oxideret aluminiumsbeholder, hvilket kan reducere adsorptionen af kulbrintedamp. Da frisk oxiderede aluminiumsbeholdere fortrinsvis vil adsorbere kulbrinter. Overflader, der er følsomme over for vanddamp eller meget ustabile, opbevares normalt i en vakuumtørreovn.
De grundlæggende krav til miljøet i vakuumbelægningsprocessen omfatter primært: høj renlighed i vakuumrummet, støvfrit belægningsrum osv. I nogle områder er luftfugtigheden relativt høj, så inden belægning skal man ikke kun rengøre komponenterne i substratet og vakuumkammeret, men også udføre bagning og afgasning. For at forhindre olie i at trænge ind i vakuumkammeret er det også nødvendigt at være opmærksom på olieretur- og olieblokeringsforanstaltningerne i påfyldningsdiffusionspumpen for at forhindre olie i at trænge ind i vakuumkammeret.
Opslagstidspunkt: 18. feb. 2023