Hvorfor bruge en støvsuger?
Forebyggelse af kontaminering: I et vakuum forhindrer fraværet af luft og andre gasser, at aflejringsmaterialet reagerer med atmosfæriske gasser, hvilket kan forurene filmen.
Forbedret vedhæftning: Manglen på luft betyder, at filmen klæber direkte til underlaget uden luftlommer eller andre interstitielle gasser, der kan svække bindingen.
Filmkvalitet: Vakuumforhold giver bedre kontrol over aflejringsprocessen, hvilket resulterer i mere ensartede film af højere kvalitet.
Lavtemperaturaflejring: Nogle materialer ville nedbrydes eller reagere ved de temperaturer, der kræves til aflejring, hvis de blev udsat for atmosfæriske gasser. I vakuum kan disse materialer aflejres ved lavere temperaturer.
Typer af vakuumbelægningsprocesser
Fysisk dampaflejring (PVD)
Termisk fordampning: Materialet opvarmes i vakuum, indtil det fordamper og derefter kondenserer på underlaget.
Sputtering: En højenergisk ionstråle bombarderer et målmateriale, hvilket får atomer til at blive udstødt og aflejret på substratet.
Pulseret laseraflejring (PLD): En højtydende laserstråle bruges til at fordampe materiale fra et mål, som derefter kondenserer på substratet.
Kemisk dampaflejring (CVD)
Lavtryks-CVD (LPCVD): Udføres ved reduceret tryk for at sænke temperaturerne og forbedre filmkvaliteten.
Plasmaforstærket CVD (PECVD): Bruger plasma til at aktivere kemiske reaktioner ved lavere temperaturer end traditionel CVD.
Atomlagsaflejring (ALD)
ALD er en type CVD, der aflejrer film ét atomlag ad gangen, hvilket giver fremragende kontrol over filmtykkelse og sammensætning.
Udstyr brugt i vakuumbelægning
Vakuumkammer: Hovedkomponenten, hvor belægningsprocessen finder sted.
Vakuumpumper: Til at skabe og opretholde et vakuummiljø.
Substratholder: Til at holde substratet på plads under belægningsprocessen.
Fordampning eller sputteringskilder: Afhængigt af den anvendte PVD-metode.
Strømforsyninger: Til at tilføre energi til fordampningskilderne eller til at generere plasma i PECVD.
Temperaturstyringssystemer: Til opvarmning af substrater eller styring af procestemperaturen.
Overvågningssystemer: Til måling af tykkelse, ensartethed og andre egenskaber ved den aflejrede film.
Anvendelser af vakuumbelægning
Optiske belægninger: Til antireflekterende, reflekterende eller filterbelægninger på linser, spejle og andre optiske komponenter.
Dekorative belægninger: Til en bred vifte af produkter, herunder smykker, ure og bildele.
Hårde belægninger: Forbedre slidstyrke og holdbarhed på skæreværktøjer, motorkomponenter og medicinsk udstyr.
Barrierebelægninger: Forhindrer korrosion eller gennemtrængning på metal-, plast- eller glasunderlag.
Elektroniske belægninger: Til produktion af integrerede kredsløb, solceller og andre elektroniske enheder.
Fordele ved vakuumbelægning
Præcision: Vakuumbelægning giver mulighed for præcis kontrol over filmtykkelse og sammensætning.
Ensartethed: Film kan påføres jævnt over komplekse former og store områder.
Effektivitet: Processen kan automatiseres i høj grad og er velegnet til produktion i store mængder.
Miljøvenlighed: Vakuumbelægning bruger typisk færre kemikalier og producerer mindre affald end andre belægningsmetoder.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 15. august 2024