Avadanlıq Üstünlüyü
1.Scalable Funksional Konfiqurasiya
Modul memarlıq dizaynından istifadə edərək, o, funksional kameraların tez əlavə edilməsinə, çıxarılmasına və yenidən təşkilinə imkan verən kütləvi sürətli istehsal rejimlərini dəstəkləyir. İstehsal xəttinin sxemi istehsal ehtiyaclarına uyğun olaraq çevik şəkildə tənzimlənə bilər.
2.Precision Kaplama Texnologiyası Həlli
Delikli strukturların səmərəli doldurulmasına nail olmaq üçün optimallaşdırılmış maqnit sahəsi həlli ilə birlikdə kiçik bucaqlı fırlanan hədəf püskürtmə texnologiyasından innovativ şəkildə istifadə edilir.
3. Fırlanan Hədəf Strukturunun Qəbul Edilməsi
Bu struktur örtük materialının itkisinə qənaət edir və məqsədli materialdan istifadəni yaxşılaşdırır. O, həmçinin hədəf dəyişdirmə dövrünü azaldır və bununla da istehsal səmərəliliyini artırır.
4.Prosesə Nəzarət Üstünlükləri
Magnetron püskürtmə parametrlərinin optimallaşdırılması və ikitərəfli sinxron çökmə texnologiyası sayəsində mürəkkəb struktur komponentlərinin örtük səmərəliliyi əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırılır, material itkisi dərəcəsi azalır.
Ərizə:Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni və s. kimi müxtəlif tək elementli metal plyonka təbəqələrini hazırlamağa qadirdir. Yarımkeçirici elektron komponentlərdə, məsələn, DPC keramika substratlarında, keramik kondansatörlərdə, termistorlarda, LED keramika mötərizələrində və s.