የ30 μm ማይክሮ-ቪያ ሽፋን ፈተናን ማሸነፍ — ZHENHUA vacuum TGV Deep-Via Coating Solution

በተራቀቁ የማሸጊያ ቴክኖሎጂዎች ፈጣን እድገት፣ TGV (በመስታወት ቪያ በኩል) ቀስ በቀስ ለመስታወት ንጣፎች ቁልፍ የግንኙነት መፍትሄ እየሆነ መጥቷል። ዝቅተኛ ዳይኤሌክትሪክ ኪሳራ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት፣ ከፍተኛ የማሽን ትክክለኛነት እና ጠንካራ የኢንሱሌሽን ባህሪያትን በመጠቀም፣ TGV በኦፕቲካል ኮሙኒኬሽን፣ በMEMS፣ በዳሳሾች እና በከፍተኛ ፍጥነት ግንኙነቶች ውስጥ አስደናቂ አፈፃፀም አሳይቷል፣ እና አሁን ወደ ከፍተኛ ደረጃ አፕሊኬሽን ሁኔታዎች እየሰፋ ነው።

ይሁን እንጂ የTGV መዋቅሮች ዝግመተ ለውጥ አዳዲስ የማምረቻ ተግዳሮቶችንም ያመጣል፡ በዲያሜትሮች ያነሱ፣ የበለጠ ውስብስብ ጂኦሜትሪዎች እና ቀጣይነት ባለው የገጽታ ጥምርታዎች እየጨመሩ ይሄዳሉ። በተለይም፣ በ30 μm በኩል ዲያሜትር እና ከ10፡1 በላይ በሆኑ የገጽታ ጥምርታዎች ሁኔታዎች ውስጥ፣ በመተላለፊያው ውስጥ ወጥ የሆነ የዘር ንብርብር ክምችት ማግኘት ከረጅም ጊዜ በፊት በጣም ወሳኝ ከሆኑ ማነቆዎች አንዱ እንደሆነ ይታወቃል። ምንም እንኳን በሂደቱ ሰንሰለት ውስጥ ብዙም የማይታይ ቢሆንም፣ ይህ እርምጃ በቀጥታ የመሳሪያውን የኤሌክትሪክ አፈጻጸም እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ይወስናል።

በማይክሮ-ቪያ ሽፋን ውስጥ ያሉ የአሁኑ ተግዳሮቶች ቁጥር 1

በTGV እና TSV ሂደቶች ውስጥ፣ በዲያሜትር በኩል የተለመዱት እስከ 30 μm ድረስ ትንሽ ሊሆኑ ይችላሉ፣ ከ10፡1 በላይ የገጽታ ጥምርታ መስፈርቶች አሉ። በእነዚህ ሁኔታዎች ውስጥ፣ ባህላዊ የሽፋን ዘዴዎች በርካታ ገደቦች ያጋጥሟቸዋል፡

የሞቱ ዞኖችን አቀማመጥ፡- በጎን ግድግዳዎች በኩል ጠንካራ የጥላ ውጤቶች ብዙውን ጊዜ ወደ የማያቋርጥ ፊልሞች ይመራሉ፣ ይህም ኮንዳክሽን እና ሄርሜቲቲስን ያዳክማል።

የፊልም ውፍረት አለመመጣጠን፡- በመክፈቻዎች እና በታችኛው በኩል ባለው ክፍተት መካከል ጉልህ የሆነ የማስቀመጫ ፍጥነት ልዩነት የአካባቢ የመቋቋም ችግርን ያስከትላል።

በቂ ያልሆነ ባለብዙ-ቁሳቁስ ተኳሃኝነት፡- እንደ Cu፣ Ti፣ W፣ Ni እና Pt ያሉ በርካታ ቁሳቁሶችን በመስታወት ወይም በሲሊኮን ንጣፎች ላይ ሲያስቀምጡ፣ በሁሉም ንብርብሮች ላይ ማጣበቂያ እና ወጥነት ማረጋገጥ አስቸጋሪ ነው።

እነዚህ ችግሮች በቀጥታ የምርት ውጤትን ይነካል፣ የመልሶ ሥራ አደጋን እና የሂደቱን ወጪ ይጨምራሉ፣ እና ከፍተኛ መጠን ያለው የማኑፋክቸሪንግ ቅልጥፍናን ይገድባሉ።

ቁጥር 2. የዜንሁዋ ቫክዩም ጥልቅ-ቫይስ ሽፋን መፍትሄ

የመሳሪያ ጥቅሞች፡

የተሻሻለ ጥልቅ-ቫይስ ሽፋን
በZHENHUA የባለቤትነት መብት ባለው የጥልቅ ሽፋን ቴክኖሎጂ፣ ወጥ የሆነ የዘር ንብርብር ክምችት እስከ 30 μm ዲያሜትር ባለው አነስተኛ ቪያዎች እንኳን ሊከናወን ይችላል፣ የገጽታ ሬሾው ከ10፡1 በላይ ሲሆን - ውስብስብ በሆነ ጥልቅ ሽፋን ውስጥ ለረጅም ጊዜ የቆዩ ተግዳሮቶችን ማሸነፍ።

በፍላጎት ላይ ማበጀት፣ ባለብዙ መጠን የንዑስ ክፍል ድጋፍ
የተለያዩ የመስታወት ንጣፎችን መጠን፣ 600×600 ሚሜ፣ 510×515 ሚሜ እና ትላልቅ ቅርጸቶችን ጨምሮ የማስኬድ ችሎታ።

ባለብዙ-ቁሳቁስ ተኳሃኝነት ያለው የሂደት ተለዋዋጭነት
ስርዓቱ እንደ Cu፣ Ti፣ W፣ Ni እና Pt ያሉ ኮንዳክቲቭ እና ተግባራዊ ቀጭን ፊልሞችን ይደግፋል፣ ይህም ለኤሌክትሪክ ኮንዳክሽን እና ለዝገት መቋቋም መስፈርቶች የተበጁ መፍትሄዎችን ያስችላል።

የተረጋጋ የመሳሪያ አፈፃፀም እና ቀላል ጥገና
መሳሪያው ብልህ የቁጥጥር ስርዓት ያለው ሲሆን አውቶማቲክ የፓራሜትር ማስተካከያ እና የፊልም ውፍረት ወጥነት በእውነተኛ ጊዜ ክትትል ያስችላል። ሞዱላር ዲዛይን የጥገና ቀላልነትን ያረጋግጣል እና የስራ ማቆም ጊዜን ይቀንሳል።

የማመልከቻ ወሰን፡
እስከ 10፡1 የሚደርስ የገጽታ ጥምርታ ባላቸው ጥልቅ-በይነገጽታዎች ውስጥ የዘር ንብርብር ሽፋንን በመፍቀድ ለ TGV/TSV/TMV የላቁ የማሸጊያ ሂደቶች ተፈጻሚ ይሆናል።

የላቀ የማሸጊያ ገበያ መስፋፋቱን ሲቀጥል፣ የማይክሮ-ቪያዎች እና ከፍተኛ ገጽታ ያላቸው መዋቅሮች ፍላጎት የበለጠ ይጨምራል። የZHENHUA Vacuum ጥልቅ-በይነገጽ ሽፋን ቴክኖሎጂ በTGV እና በሌሎች ቀጣይ ትውልድ የማሸጊያ ሂደቶች ውስጥ ለሚገኙ ወሳኝ የሽፋን ተግዳሮቶች ሰፊ፣ በጅምላ-ምርት-ዝግጁ መፍትሄ ይሰጣል፣ የማሸጊያ ቅልጥፍናን እና የምርት ወጥነትን ያሻሽላል።

—ይህ ጽሑፍ የታተመው በ የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች አምራች ዜንሁዋ ቫክዩም