Awọn ohun elo PVD (Iwadi Vapor Ti ara) jẹ awọn ilana ti a lo pupọ fun ṣiṣẹda awọn fiimu tinrin ati awọn aṣọ ibora. Lara awọn ọna ti o wọpọ, ilọkuro gbona ati sputtering jẹ awọn ilana PVD pataki meji. Eyi ni ipinpinpin ti ọkọọkan:
1. Gbona Evaporation
- Ilana:Ohun elo ti wa ni igbona ni iyẹwu igbale titi yoo fi yọ kuro tabi sublimates. Ohun elo vapored lẹhinna di sinu sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin kan.
- Ilana:
- Ohun elo orisun (irin, seramiki, ati bẹbẹ lọ) jẹ kikan, nigbagbogbo nlo alapapo resistive, tan ina elekitironi, tabi lesa.
- Ni kete ti ohun elo naa ba de aaye gbigbe rẹ, awọn ọta tabi awọn moleku lọ kuro ni orisun ati rin irin-ajo nipasẹ igbale si sobusitireti.
- Awọn ọta evaporated condens lori dada ti awọn sobusitireti, lara kan tinrin Layer.
- Awọn ohun elo:
- Wọpọ lati fi awọn irin, semikondokito, ati awọn insulators.
- Awọn ohun elo pẹlu awọn ideri opiti, awọn ipari ohun ọṣọ, ati microelectronics.
- Awọn anfani:
- Awọn oṣuwọn ifisilẹ giga.
- Rọrun ati iye owo-doko fun awọn ohun elo kan.
- Le ṣe agbejade awọn fiimu mimọ pupọ.
- Awọn alailanfani:
- Ni opin si awọn ohun elo pẹlu awọn aaye yo kekere tabi awọn igara oru giga.
- Iṣeduro igbesẹ ti ko dara lori awọn ipele ti eka.
- Iṣakoso ti o dinku lori akopọ fiimu fun awọn alloys.
2. Sita
- Ilana: Awọn ions lati pilasima kan wa ni isare si ohun elo ibi-afẹde kan, nfa awọn ọta lati jade (fita) lati ibi-afẹde, eyiti lẹhinna fi silẹ sori sobusitireti.
- Ilana:
- Ohun elo ibi-afẹde (irin, alloy, bbl) ni a gbe sinu iyẹwu, ati gaasi kan (eyiti o jẹ argon) ti ṣafihan.
- A lo foliteji giga lati ṣẹda pilasima kan, eyiti o jẹ ki gaasi ionizes.
- Awọn ions ti o gba agbara daadaa lati pilasima ti wa ni isare si ibi-afẹde ti o gba agbara ni odi, ti n yọ awọn ọta kuro ni ara lati oke.
- Awọn ọta wọnyi lẹhinna gbe sori sobusitireti, ti o ṣe fiimu tinrin.
- Awọn ohun elo:
- Ti a lo jakejado ni iṣelọpọ semikondokito, gilasi ti a bo, ati ṣiṣẹda awọn aṣọ wiwọ-sooro.
- Apẹrẹ fun ṣiṣẹda alloy, seramiki, tabi eka fiimu tinrin.
- Awọn anfani:
- Le fi ọpọlọpọ awọn ohun elo pamọ, pẹlu awọn irin, awọn ohun elo, ati awọn oxides.
- Iṣọkan fiimu ti o dara julọ ati agbegbe igbesẹ, paapaa lori awọn apẹrẹ eka.
- Iṣakoso kongẹ lori sisanra fiimu ati akopọ.
- Awọn alailanfani:
- Awọn oṣuwọn ifisilẹ lọra ni akawe si evaporation gbona.
- Diẹ gbowolori nitori idiju ohun elo ati iwulo fun agbara ti o ga julọ.
Iyatọ bọtini:
- Orisun Iṣalaye:
- Gbigbọn igbona nlo ooru lati yọ ohun elo kuro, lakoko ti sputtering nlo bombardment ion lati tu awọn ọta ti ara kuro.
- Agbara ti a beere:
- Gbigbọn igbona ni igbagbogbo nilo agbara diẹ sii ju sputtering nitori o da lori alapapo kuku ju iran pilasima lọ.
- Awọn ohun elo:
- Sputtering le ṣee lo lati beebe kan to gbooro ibiti o ti ohun elo, pẹlu awon pẹlu ga yo ojuami, eyi ti o wa soro lati evaporate.
- Didara fiimu:
- Sputtering gbogbogbo n pese iṣakoso to dara julọ lori sisanra fiimu, iṣọkan, ati akopọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-27-2024