Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí afẹ́fẹ́, a lè pín àwọn fíìmù tín-tín sí àwọn ìbòrí irin àti àwọn ìbòrí tí kìí ṣe irin, ó sinmi lórí ohun èlò ìbòrí náà. Àwọn ẹ̀ka méjì yìí yàtọ̀ síra ní pàtàkì ní àwọn ọ̀nà ìbòrí, àwọn ànímọ́ fíìmù, àti àwọn agbègbè ìlò. Lílóye ìyàtọ̀ wọn ń ran àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ iṣẹ́ lọ́wọ́ láti yan àwọn ohun èlò àti àwọn pàrámítà tí ó yẹ fún iṣẹ́.
I. Àwọn Ànímọ́ àti Ìlànà ti Àwọn Ohun Ìbòrí Irin
Ìbòrí irin túmọ̀ sí fífi àwọn ibi-afẹ́fẹ́ irin sí orí àwọn ohun èlò ìṣàn omi nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà bíi ìtújáde ooru tàbí ìfọ́ magnetron.
Awọn ohun elo ti o wọpọ: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr, ati bẹbẹ lọ.
Ọ̀nà Ìfipamọ́: Àwọn átọ̀mù irin, lẹ́yìn tí wọ́n bá ti tú jáde tàbí tí wọ́n bá ti tú jáde nínú afẹ́fẹ́, wọn kò ní ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà tó pọ̀ tó, wọ́n sì máa ń dìpọ̀ mọ́ ara wọn.
Àwọn Ohun Ànímọ́ Pàtàkì:
Agbara itanna giga ga
Ifihan imọlẹ to dara julọ, ti a lo jakejado ninu awọn digi opitika
Adhesion to lagbara ati ductility to dara
Àwọn Ohun Èlò Tó Wọ́pọ̀:
Awọn fẹlẹfẹlẹ elekitirodu ninu awọn ẹrọ semikondokito
Awọn ideri opitika ti o ni imọlẹ
Awọn aṣọ ibora ọṣọ
II. Àwọn Àbùdá àti Ìlànà Àwọn Àwọ̀ Tí Kì í Ṣe Irin
Àwọn ìbòrí tí kìí ṣe irin ní pàtàkì nínú àwọn oxides, nitrides, àti carbide, tí a sábà máa ń fi sínú rẹ̀ nípasẹ̀ ìfàsẹ́yìn sputtering tàbí ion plating.
Àwọn Ohun Èlò Tó Wà Púpọ̀: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Dáyámọ́ǹdì Bíi Èròjà), àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ọ̀nà Ìfipamọ́: Àwọn ibi-afẹ́fẹ́ irin máa ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ (fún àpẹẹrẹ, O₂, N₂, CH₄), wọ́n á sì máa ṣe àwọn ẹ̀yà onírúurú tí wọ́n máa ń wọ́ sí orí ilẹ̀.
Àwọn Ohun Ànímọ́ Pàtàkì:
Agbara giga ati resistance yiya
Àwọn ohun-ìní opitika tó dára jùlọ, bíi kí a lè mọ̀ dáadáa tàbí kí a má ṣe fi ojú hàn dáadáa
Idabobo ina to lagbara
Àwọn Ohun Èlò Tó Wọ́pọ̀:
Àwọn ìbòrí ojú (fún àpẹẹrẹ, àwọn fíìmù AR, àwọn ìbòrí àlẹ̀mọ́)
Àwọn ìpele ààbò (fún àpẹẹrẹ, àwọn fíìmù DLC tí ó lòdì sí ìfọ́)
Awọn fẹlẹfẹlẹ Dielectric ninu awọn ẹrọ itanna
III. Awọn iyatọ pataki laarin awọn ibora irin ati ti kii ṣe irin
Àwọn Ohun Èlò Fíìmù:
Àwọn ìbòrí irin máa ń tẹnu mọ́ ìṣiṣẹ́ àti ìṣàfihàn, èyí sì máa ń mú kí wọ́n dára fún àwọn ohun èlò iná mànàmáná àti ohun ọ̀ṣọ́.
Àwọn ìbòrí tí kìí ṣe irin ni a máa ń fi ṣe àkóso ìṣàkóṣo ojú, ìdábòbò, àti agbára ẹ̀rọ.
Awọn ilana Ifisilẹ:
Àwọn ìbòrí irin ni a sábà máa ń kó sínú rẹ̀ nípasẹ̀ ìdènà ìgbóná ara (PVD) pẹ̀lú àwọn iṣẹ́ tí ó rọrùn.
Àwọn ìbòrí tí kì í ṣe irin nílò àwọn gáàsì tí ń ṣiṣẹ́, èyí tí ó ń yọrí sí àwọn fèrèsé ìlànà tí ó dínkù àti ìṣàkóso paramita tí ó le koko.
Àwọn Ààyè Ìlò:
Àwọn ìbòrí irin: àwọn àyíká ẹ̀rọ itanna, àwọn dígí tí ń tànmọ́lẹ̀, àwọn fíìmù ohun ọ̀ṣọ́.
Àwọn ìbòrí tí kìí ṣe irin: àwọn lẹ́ńsì opitika, àwọn páànẹ́lì ìfọwọ́kàn, àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ààbò.
IV. Awọn ipa afikun ninu Awọn ohun elo ile-iṣẹ
Ní ìṣe, àwọn ohun tí a fi irin àti èyí tí kìí ṣe irin ṣe ni a sábà máa ń so pọ̀:
Àwọn fíìmù amúgbálẹ́gbẹ̀ẹ́ tí ó hàn gbangba ti ITO ní àwọn ohun èlò oxide (àwọn ànímọ́ tí kìí ṣe irin) nígbàtí wọ́n tún ń pèsè amúgbálẹ́gbẹ̀ẹ́ iná (ìwà bíi irin).
Nínú àwọn ìbòrí ohun ọ̀ṣọ́, a sábà máa ń kọ́kọ́ gbé ìpele irin kan (fún àpẹẹrẹ, Ti tàbí Cr) sí iwájú, lẹ́yìn náà ni ìpele tí kì í ṣe ti irin (fún àpẹẹrẹ, TiN tàbí TiCN), èyí tí ó ń ṣẹ̀dá àwọn fíìmù oníṣọ̀kan tí ó ń so ìrísí ohun ọ̀ṣọ́ pọ̀ mọ́ ìdènà ìfàmọ́ra.
Àwọn ìbòrí irin àti èyí tí kìí ṣe irin kọ̀ọ̀kan ní àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ ní ìlànà àti ìṣe. Àwọn ìbòrí irin tẹnu mọ́ agbára ìṣàfihàn àti ìyípadà, nígbà tí àwọn ìbòrí tí kìí ṣe irin tayọ ní iṣẹ́ opitika, ìdènà, àti ààbò. Nínú àwọn ohun èlò ìbòrí afẹ́fẹ́, yíyan àpapọ̀ fíìmù tó yẹ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí ọjà béèrè fún ṣe pàtàkì láti mú kí iṣẹ́ àti ìdíje ọjà pọ̀ sí i.
—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-18-2025
